MOCVD үшін жоғары таза мөлдір кварцты қалқан және жапқыш

1. Техникалық сипаттамалар

Жабдықтың нақты үлгілерімен тамаша сәйкестікті қамтамасыз ету үшін техникалық сызбаларыңыздың негізінде жоғары дәлдікті өңдеуді қамтамасыз етеміз.

2. Негізгі қолданба өрістері

● MOCVD процесін қорғау: Реакция ортасын қорғау үшін маңызды ішкі қалқандар/лайнерлер ретінде қызмет етеді.

● Жартылай өткізгіш эпитаксиясы: Жұқа қабықшаның өсуі кезінде ағынды және температураны тұрақтандыру үшін жоғары дәлдіктегі жапқыштар ретінде пайдаланылады.

● Кең жолақты жартылай өткізгіштерді өндіру: GaN және басқа жетілдірілген материалдар үшін жоғары сұранысқа ие орталармен үйлесімді.

3. Неліктен VETEK кварц шешімдерін таңдау керек?

● Жоғары термиялық сәулеленуді басқару: Біздің сүтті ақ кварцымызда жоғары температуралық термиялық сәулеленуді (>1000°C) тиімді шашыратып, блоктайтын микро көпіршіктердің жоғары тығыздығы бар. Ол қыздыру элементтерінен көрінетін және жақын инфрақызыл сәулелерді сіңіреді және оны жоғары біркелкі қыздыруды қамтамасыз ете отырып, алыс инфрақызыл сәулеленуге айналдырады.
● Ластануды бақылау және оңай техникалық қызмет көрсету: Құрбандық немесе ауыстырылатын ішкі лайнер ретінде Кварц қалқаны қымбат камера қабырғалары мен жылытқыштарда жанама өнімдердің тұнбасын болдырмау арқылы реакция камерасын таза ұстайды. Бұл бөліктерді дымқыл тазалау арқылы қалпына келтіруге болады (мысалы, SPM+DHF ерітінділері) немесе пластинаның жоғары өнімділігін қамтамасыз ету үшін оңай ауыстырылады.
● Төтенше химиялық төзімділік: VETEK кварцы жиі термиялық циклге төтеп беру және металл органикалықтары (мысалы, TMGa) мен гидридтерден (AsH₃ сияқты) коррозияға қарсы тұру үшін жасалған.
● Дәл процесті басқару: Біздің кварц жапқыштар инфрақызыл немесе жіпті қыздыру кезінде жоғары өлшемді тұрақтылықты сақтайды. Олардың төмен жылу инерциясы жылдам механикалық жауап беруге мүмкіндік береді, дәл «атомдық деңгейде» өсуді бақылауға мүмкіндік береді және көп вафельді немесе көп процесті ауыстыру кезінде айқаспалы ластануды болдырмайды.
● үнемді балама: Қатаң бюджет талаптары бар жобалар үшін біздің кварц өнімдеріміз MOCVD жүйелері үшін маңызды қорғаныс пен функционалдылықты ұсына отырып, қапталған графитпен салыстырғанда сенімді кіру нүктесін қамтамасыз етеді.