Қатты SIC фокустық сақинасы

6. Қолдану өрістері

7. Ветексеми қатты сиктік фокустық сақинаның негізгі артықшылықтары

Тамаша плазмалық коррозияға төзімділік

Жоғары коррозиялық, тығыздығы жоғары, тығыздығы жоғары, мысалы, CF4, O2 және CL2, кәдімгі материалдар, шартты материалдар тез тозу мен бөлшектердің ластануына сезімтал. Біздің қатты эфирлік сақина кварц немесе Глиноз сияқты коррозияға ұшырайтын, коррозияға қарсы тұрақтылықты көрсетеді. Бұл уақыт өте келе тегіс бетті ұстап тұрады, бұл компонентті тозу мен жыртылу қаупін едәуір азайтады, бұл компонентті тозу мен жыртылу, үздіксіз және тұрақты жаппай өндірісті қамтамасыз етеді.

Жоғары температураның жақсы тұрақтылығы және термиялық басқару өнімділігі

Жартылай өткізгіштік процесті өңдеу процесі маңызды жылуды тудырады, камералық компоненттердің температураның драмалық ауытқуын бастауға себеп болады. Біздің фокустық сақиналарымызда жылу кеңеюінің өте төмен коэффициенті бар, өтпелі температураны 1600 ° C-қа дейін кемсітуге немесе деформациясыз алуға қабілетті. Сонымен қатар, олардың жоғары термиялық өткізгіштігі жылуды біркелкі және тез таратуға көмектеседі, бұл вафли жиегінде температураны тиімді жақсартуға көмектеседі, осылайша EnhanciН.Г. біртектілікті және барлық вафли арқылы сыни өлшемдердің дәйектілігін алу.

Кезектен тыс материалдық тазалық және құрылымдық тығыздық

Біз кремний карбид шикізатының тазалығын қатаң түрде бақылап отырдық (≥99.999%) және алдын-ала тазалауды бақылау үшін алдыңғы өндіріс процестерінің қатаңдық талаптарына жауап беру үшін металл ластануын қатаң түрде басқарамыз. Жоғары температуралы спуттер арқылы пайда болған тығыз құрылым өте төмен кеуектілікке ие, технологиялық газдар мен жанама өнімдердің енуіне толығымен жабылған. Бұл ішкі материалдық деградациядан туындаған өнімділік пен бөлшектердің өсуіне жол бермейді, бұл таза технологиялық камералық орталық жағдайын қамтамасыз етеді.

Тұрақты механикалық өмір және жан-жақты экономикалық тиімділік

Жиі ауыстыруды қажет ететін шартты шығындармен салыстырғанда, Veteksemi қатты SIC фокустық сақиналары ерекше беріктікті ұсынады. Олар өз қызмет ету мерзімінде тұрақты өнімділікті сақтайды, ауыстыру циклдарын бірнеше рет ұзартады. Бұл тек қосалқы бөлшектің сатып алу шығындарын тікелей ғана емес, сонымен қатар машинаны пайдалануды азайтып қана қоймайды, сонымен қатар машиналарды пайдалану үшін жұмысты азайтуды едәуір жақсартады, нәтижесінде тұтынушылар үшін шығындардың жалпы артықшылығы бар.

Нақты өлшемді басқару және икемді теңшеу қызметтері

Біз шығын материалдарының әртүрлі машиналары мен процестерінің нақты талаптарын түсінеміз. Әр фокустық сақина ± 0.05мм ішінде критикалық лшемге төзімділікті қамтамасыз ету үшін дәл өңдеу және қатаң тексеруден өтеді. Сондай-ақ, біз сонымен қатар, жеке қызметтерді, оның ішінде жеке өлшемдерді, беттік әрлеуді (жылтырату ≤ 0.2 мкм), сонымен қатар нақты технологиялық талаптарға және қолданудың сценарийлеріне сәйкес келетін өткізгіштік түзетулер ұсынамыз.

Толық техникалық сипаттамалар, ақ қағаздар немесе сынамалық тестілеу шаралары үшін Ветексеми сіздің процессіңіздің тиімділігін арттыру үшін техникалық қолдау тобына хабарласыңыз.