Қатты кремний карбиді

VeTek жартылай өткізгіш қатты кремний карбиді - бұл плазмалық өңдеу жабдығындағы маңызды керамикалық компонент, қатты кремний карбиді(CVD кремний карбиді) ою жабдығындағы бөлшектер жатадыфокустау сақиналары, газ душ бастиегі, науа, жиек сақиналары және т.б. Қатты кремний карбидінің (CVD кремний карбиді) хлор және құрамында фтор бар қышқыл газдарға реакциясы мен өткізгіштігі төмен болғандықтан, бұл сақиналар мен басқаларды фокустау үшін плазмалық ою жабдығы үшін тамаша материал болып табылады. құрамдас бөліктер.

Мысалы, фокус сақинасы сақина арқылы өтетін плазманы фокустау үшін сақинаға кернеу беру арқылы пластинаның сыртында орналастырылған және пластинкамен тікелей байланыста болатын маңызды бөлік болып табылады, осылайша плазманың біркелкілігін жақсарту үшін пластинаға фокусталады. өңдеу. Дәстүрлі фокус сақинасы кремнийден немесекварц, жалпы фокус сақина материал ретінде өткізгіш кремний, ол кремний пластиналар өткізгіштік дерлік жақын болып табылады, бірақ тапшылығы фтор бар плазмада нашар қышқыл төзімділігі болып табылады, жиі уақыт кезеңі үшін пайдаланылатын машина бөліктерін материалдарын ою, елеулі болады. коррозия құбылысы, оның өндірістік тиімділігін айтарлықтай төмендетеді.

Sескі SiC фокус сақинасыЖұмыс принципі：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Және негізіндегі фокустау сақинасы мен CVD SiC фокустау сақинасын салыстыру:

Және негізіндегі фокустау сақинасы мен CVD SiC фокустау сақинасын салыстыру
Элемент	Және	CVD SiC
Тығыздығы (г/см³)	2.33	3.21
Жолақ аралығы (эВ)	1.12	2.3
Жылу өткізгіштік (Вт/см℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Серпімділік модулі (GPa)	150	440
Қаттылық (GPa)	11.4	24.5
Тозуға және коррозияға төзімділік	Кедей	Өте жақсы

VeTek Semiconductor жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған SiC фокустау сақиналары сияқты жетілдірілген қатты кремний карбиді (CVD кремний карбиді) бөлшектерін ұсынады. Біздің қатты кремний карбиді фокустау сақиналары дәстүрлі кремнийден механикалық беріктік, химиялық төзімділік, жылу өткізгіштік, жоғары температураға төзімділік және иондарды өңдеуге төзімділік бойынша асып түседі.

Біздің SiC фокустау сақиналарының негізгі ерекшеліктеріне жатады:

Төмендеу жылдамдығы үшін жоғары тығыздық.

Жоғары жолақпен тамаша оқшаулау.

Жоғары жылу өткізгіштік және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті.

Жоғары механикалық әсерге төзімділік пен серпімділік.

Жоғары қаттылық, тозуға төзімділік және коррозияға төзімділік.

Қолдану арқылы өндірілгенплазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD)техникасы бойынша, біздің SiC фокустау сақиналары жартылай өткізгіш өндірісіндегі ою процестерінің өсіп келе жатқан талаптарын қанағаттандырады. Олар жоғары плазмалық қуат пен энергияға төтеп беруге арналғансыйымдылықпен байланысқан плазма (CCP)жүйелер.

VeTek Semiconductor компаниясының SiC фокустау сақиналары жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде ерекше өнімділік пен сенімділікті қамтамасыз етеді. Жоғары сапа мен тиімділік үшін SiC құрамдастарын таңдаңыз.

View as

Қатты SiC Эттинг фокустау сақинасы

Қатты SIC фокустау сақинасы - вафлиді бекіту процесін, плазманы бекіту және вафлиді жақсартуда рөл атқаратын, вафлидің негізгі компоненттерінің бірі. Қытайда «Ветек» рингтік өндірушісінің жетекшісі ретінде Ветек Жартылай өткізгіште алдыңғы қатарлы технологиялар мен жетілген процестер бар, сондықтан тұтынушылардың қажеттіліктеріне сәйкес түпкілікті клиенттердің қажеттіліктеріне толық жауап береді. Біз сіздің сұрағыңызды күтеміз және бір-біріміздің ұзақ мерзімді серіктес болуын күтеміз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Кәсіби Қатты кремний карбиді өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
anny@veteksemi.com
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

Веб-мәзір

Өнім іздеу

Тіл

Мәзірден шығу

Қатты кремний карбиді

Біздің SiC фокустау сақиналарының негізгі ерекшеліктеріне жатады:

Қатты SiC Эттинг фокустау сақинасы

Сұрау жіберу

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон

Факс

Электрондық пошта

Мекенжай