CVD тантал карбиді (TaC) қапталған қабылдағыш

Негізгі мүмкіндіктер

Қолданбалар

Типтік қолданбаларға мыналар жатады:

• SiC эпитаксистік өсу

• GaN MOCVD эпитаксисі

• AlN эпитаксиалды өсу

• Үшінші буын жартылай өткізгіштер өндірісі

• Жоғары қуатты электроника

• РЖ құрылғылары

• MicroLED өндірісі

• Зерттеу және тәжірибелік өндіріс жүйелері

Үйлесімді жабдық

Үйлесімді платформаларға мыналар кіреді:

• Aixtron

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• Пайдаланушы CVD және MOCVD реакторлары

Сондай-ақ қол жетімді:

• Вафельді тасымалдаушылар

• Планетарлық қабылдағыштар

• Бөшкелердің қабылдағыштары

• Айналу дискілері

• Жарты ай бөліктері

• Қақпақ тақталары

• Графит құрастырулары

• Пайдаланушы жылу өрісі құрамдастары

Техникалық сипаттамалар

Жиі қойылатын сұрақтар

1. CVD TaC қапталған сусептор дегеніміз не?

Эпитаксиалды өсу кезінде пластинаны тасымалдаушы ретінде пайдаланылатын тығыз CVD TaC жабынымен қорғалған жоғары таза графит компоненті.

2. Неліктен TaC coa пайдалану керек?SiC жабынының орнына?

TaC жоғары температураға төзімділікті, жоғары химиялық тұрақтылықты және ұзақ қызмет ету мерзімін ұсынады.

3.Қандай жартылай өткізгіш процестерде TaC-c қолданыладысұлы сезгіштер?

SiC эпитаксисі, GaN MOCVD, AlN эпитаксисі және басқа да жоғары температурадағы кристалдардың өсу процестері.

4. VETEK бейімделген қабылдағыштарды шығара ала ма?

Иә. Біз тұтынушы сызбалары мен технологиялық талаптарға негізделген теңшелген дизайнды ұсынамыз.

5. Қандай реактор брендтеріне қолдау көрсетіледі?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare және басқа негізгі жүйелер.