ASM үшін SiC қапталған графит сенсоры

Өнім туралы жалпы ақпарат

Өнімнің бизнес шарттары

✔ Өтініш: Veteksemicon SiC қапталған графит субстраты ASM сериялы эпитаксиалды жабдық үшін негізгі шығын материалы болып табылады. Ол пластинаны тікелей қолдайды және жоғары температуралы эпитаксия кезінде біркелкі және тұрақты жылу өрісін қамтамасыз етеді, бұл оны GaN және SiC сияқты озық жартылай өткізгіш материалдардың жоғары сапалы өсуін қамтамасыз етудің негізгі құрамдас бөлігі етеді.

✔ Көрсетілуі мүмкін қызметтер: тұтынушы қолданбасының сценарийін талдау, сәйкес материалдар, техникалық мәселелерді шешу. 

✔ Компанияның профилі：Veteksemicon компаниясының 2 зертханасы, 20 жылдық материалдық тәжірибесі бар, ҒЗТКЖ және өндіру, сынау және тексеру мүмкіндіктері бар сарапшылар тобы бар.

Техникалық параметрлер

ASM негізгі артықшылықтары үшін Veteksemicon SiC қапталған графит сенсоры

1. Өте тазалық және ақаулардың төмен деңгейі

Біздің қатаң бақыланатын химиялық бу тұндыру (CVD) жабын процесімен үйлесетін жоғары таза, ұсақ бөлшектері бар арнайы графиттік субстратты пайдалана отырып, біз жабынның тығыз, саңылаусыз және қоспасыз болуын қамтамасыз етеміз. Бұл эпитаксиалды процесс кезінде бөлшектердің ластану қаупін айтарлықтай төмендетеді, жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттардың өсуі үшін таза субстрат ортасын қамтамасыз етеді.

2. Коррозияға және тозуға тамаша төзімділік

Пиролитикалық кремний карбиді жабыны жоғары температурада кремний көздерінің (мысалы, SiH4, SiHCl3), көміртегі көздерінің (C3H8 сияқты) және қышқыл газдарының (мысалы, HCl, H2) эрозиясына тиімді қарсы тұратын өте жоғары қаттылық пен химиялық инерттілікке ие. Бұл негізге техникалық қызмет көрсету циклін едәуір ұзартады және құрамдас бөліктерді ауыстырудан туындаған машинаның тоқтап қалуын азайтады.

3. Тамаша термиялық біркелкі және тұрақтылық

Біз субстрат құрылымын дәл жобалау және жабын қалыңдығын бақылау арқылы жұмыс температурасының диапазонында жылу өрісінің таралуын оңтайландырдық. Бұл эпитаксиалды пластинаның тамаша қалыңдығы мен кедергісінің біркелкілігін тікелей аударады, бұл чип өндірісінің өнімділігін арттыруға ықпал етеді.

4. Жабынның адгезиясының тамаша беріктігі

Бірегей бетті алдын ала өңдеу және градиентті жабу технологиясы кремний карбиді жабынына графит негізімен берік байланыстырушы қабат құруға мүмкіндік береді, бұл жабынның қабыршақтануын, қабыршақтануын немесе ұзақ мерзімді термиялық цикл кезінде пайда болуы мүмкін крекинг мәселелерін тиімді болдырмайды.

5. Нақты өлшем және құрылымдық репликация

Бізде CNC өңдеу және сынау мүмкіндіктері жетілген, бұл бізге күрделі геометрияны, қуыс өлшемдерін және бастапқы негіздің орнату интерфейстерін толығымен көшіруге мүмкіндік береді, тұтынушының платформасымен тамаша сәйкестендіру және қосу және ойнату функционалдығын қамтамасыз етеді.

6. Экологиялық тізбекті растау

ASM экологиялық тізбегін тексеруге арналған Veteksemicon SiC қапталған графит сенсоры өндіріске шикізатты қамтиды, халықаралық стандартты сертификаттаудан өтті және жартылай өткізгіштер мен жаңа энергетикалық салаларда оның сенімділігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін бірқатар патенттелген технологияларға ие.

Егжей-тегжейлі техникалық сипаттамаларды, ақ қағаздарды немесе сынақ үлгілерін алу үшін, Veteksemicon процесіңіздің тиімділігін қалай арттыратынын білу үшін техникалық қолдау көрсету тобына хабарласыңыз.

Негізгі қолданбалы өрістер

Ветексемикон өнімдері дүкені