Эпитакси үшін SIC жабылған жабынды сақина

Ⅰ. SIC жабылған тығыздағыш сақина дегеніміз не?

SIC жабылған тығыздағыш сақинасы (кремний карбиделі тығыздағыш сақинасы) - бұл жоғары температураға арналған дәл тығыздайтын компонент, жоғары коррозиялық жартылай өткізгіштік технологиялық орталар. Оның өзегі химиялық бумен тұндыру (CVD) немесе физикалық бумен тұндыру (PVD), графит немесе көміртекті композициялық материал субстрат арқылы жоғары, графит немесе көміртекті материалы, жоғары тазалық кремний карбидінің қабаты, субстраттың механикалық беріктігінің және жоғары өнімді тығыздау қасиеттерінің жабыны.  

Ⅱ. Өнім құрамы және негізгі технология  

1. Субстрат материалдары:

Графит немесе көміртекті-көміртекті композициялық материал: Негізгі материал жоғары ыстыққа төзімділігінің артықшылығы бар (2000-нан астам ℃-ге төтеп бере алады) және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті, осылайша жоғары температура сияқты экстремалды тұрақтылықты қамтамасыз етеді.  

Нақты өңдеу құрылымы: Дәлпе-ринг дизайнында жартылай өткізгіш жабдықтардың қуысына жақсы бейімделуі мүмкін, осылайша герметикалық беттің тегістеуі және ауа өткізбейтіндігімен қамтамасыз етіледі.  

2. Функционалды жабын:  

Жоғары тазалық SIC жабыны (тазалық ≥99.99%): Жалаудың қалыңдығы, әдетте, CVD процесі арқылы, керуективті емес беттік құрылым қабатын қалыптастыру, тығыздағыш сақинаның бетіне керемет химиялық инерзалық және механикалық қасиеттерін беру үшін 10-50 мкм құрайды.

Ⅲ. Негізгі физикалық қасиеттер мен артықшылықтар

Ветексемиконның SIC жабылған герметикалық сақиналары жартылай өткізгіш эпитакси процестеріне өте ыңғайлы, өйткені олар төтенше жағдайлар кезінде керемет жұмысына байланысты. Төменде өнімнің нақты физикалық қасиеттері келтірілген:

Iv. Жартылай өткізгіштің эпитаксиді өңдеудегі негізгі қосымшалар  

SIC жабылған герметикалық сақина негізінен Mocvd (металл органикалық буынды тұндыру) және MBE (молекулалық сәуле эпитаксиясы) және басқа да технологиялық жабдықтар, нақты функцияларға мыналар кіреді:  

1. Жартылай өткізгіш жабдық реакциясы камерасы Әуе мықтабын қорғау

Біздің SIC жабылған герметикалық сақиналарымыз жабдық камерасы бар лшемдік төзімділердің (әдетте ± 0,01 мм шегінде) (мысалы, фланец, негізгі білік) сақиналық құрылымды теңшеу арқылы мүмкіндігінше аз. 

Сонымен бірге, герметикалық сақина конькимен жабдықталған CNC станоктарын қолданып, конькимен байланыс бетінің айналасында, микроскопиялық олқылықтарды жоюды қамтамасыз етеді. Бұл технологиялық газдардың ағып кетуіне (E.G. H₂, NH₃) ақырын алдын алады, эпитаксиальды қабаттың өсу ортасының тазалығын қамтамасыз етеді және вафлиді жақсартады.  

Екінші жағынан, газдың тығыздығы сыртқы ластағыштардың (O₂, H₂o) кіруін бұғаттай алады, осылайша эпитаксиальды қабаттағы ақаулардан (мысалы, дислокация, қоспалардың біркелкі емес допинг) ақауларынан аулақ бола алады.  

2. Жоғары температурада динамикалық герметикалық қолдау  

Субстрат жабыны-жабыны-жабындыққа қарсы синергетикалық-деформация принципін қолдану: графиттік субстраттың (CTE ≈ 4.5 × 10-⁶ / ° C / ° C / ° C / ° C) және жоғары температурада (> 1000 ℃) кеңейту (> 1000 ℃). SIC жабынының ультра жоғары қаттылығымен біріктірілген (HV2500 немесе одан да көп), ол механикалық дірілмен немесе бөлшектердің әсерінен және микроскопиялық тегістікке әсер ететін герметикалық бетке сызаттарға әсер етуі мүмкін.

V. Техникалық қызмет көрсету бойынша ұсыныстар

1.Мен толып жатқан жердің тозуын тексеру (тоқсандық оптикалық микроскопты тексеру ұсынылады) кенеттен сәтсіздікке жол бермеу үшін.  

2. Депозиттерді кетіру үшін арнайы тазартқыштарды (мысалы, сусыз этанол) алып, механикалық тегістеуге тыйым салу, машина жабынының зақымдалуын болдырмау үшін.