Тотығу және диффузиялық пеш

Тотығу және диффузиялық пештер әртүрлі өрістерде жартылай өткізгіш құрылғылар, дискретті құрылғылар, оптоэлектрондық құрылғылар, электронды құрылғылар, күн батареялары және кең ауқымды интегралды тізбектелген өндіріс. Олар процестер үшін пайдаланылады, оның ішінде диффузия, тотығу, тазарту, легирлеу және вафлиді біріктіру.

Ветек жартылайдюсторы - бұл жоғары тазалық графит, кремний карбиді және кварцтың тотығу және диффузиялық пештерде мамандандырылған жетекші өндіруші. Біз жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өндірістер үшін жоғары сапалы пештің компоненттерін ұсынуға міндеттіміз және квд-СИК, CVD-TAC, PIROcarbon және т.б. сияқты беттік жабын технологиясының алдыңғы қатарында.

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбид компоненттерінің артықшылықтары:

● Жоғары температураға төзімділік (1600 ℃ дейін)

● Тамаша жылу өткізгіштік және жылу тұрақтылығы

● Жақсы химиялық коррозияға төзімділік

● Жылу кеңеюінің төмен коэффициенті

● Жоғары күш пен қаттылық

● ұзақ қызмет ету мерзімі

Жоғары температуралы және коррозиялық газдардың болуына байланысты тотығу және диффузиялық пештерде көптеген компоненттер жоғары температуралы және коррозияға төзімді материалдарды қолдануды талап етеді, олардың ішінде кремний карбиді (SIC) жиі қолданылатын таңдау болып табылады. Тотығу пештерінде және диффузиялық пештерде кездесетін жалпы кремний карбиді компоненттері бар:

● вафли қайық

Силикон Карбид Вафли Кофер - бұл жоғары температураға төтеп бере алатын және кремний вафкестеріне әсер ете алатын кремнийді төгетін контейнер.

● Пеш түтігі

Пештің түтігі - кремнийді вафлиді орналастыру және реакция ортасын басқару үшін қолданылатын диффузиялық пештің негізгі компоненті болып табылады. Кремний карбиди пештік түтіктері жоғары температуралы және коррозияға төзімділігі бар.

● табақша

Пеш ішіндегі ауа ағынын және температураның таралуын реттеу үшін қолданылады

● Термопара қорғау түтігі

Температураны өлшеу үшін термопараларды коррозиялық газдармен тікелей байланыстырудан қорғау үшін қолданылады.

● Cantilevere

Силикон Карбид-Карбидтер асханалар жоғары температураға және коррозияға төзімді және кремнийдік вафлиді кремнийді вафлиді таратылатын кремнийді қайықтарды тарату үшін қолданылады.

● Газ инжекторы

Пешке реакция газын енгізу үшін қолданылады, ол жоғары температура мен коррозияға төзімді болуы керек.

● Қайық тасымалдаушы

Кремний карбид вафли-вафли тасымалы кремнийді вафлиді жөндеу және қолдау үшін қолданылады, олар жоғары беріктігі, коррозияға төзімділік және жақсы құрылымдық тұрақтылық сияқты артықшылықтары бар кремнийді вафлиді бекіту және қолдау үшін қолданылады.

● Пеш есігі

Кремний карбиді жабындары немесе компоненттері пеш есігінің ішкі жағында да қолданылуы мүмкін.

● Қыздыру элементі

Кремний карбид қыздыру элементтері жоғары температураға, жоғары қуатқа, жоғары қуатқа жарамды және температураны 1000-нан асады.

● SIC LINER

Пеш түтіктерінің ішкі қабырғасын қорғау үшін қолданылады, ол жылу энергиясының жоғалуын азайтуға және жоғары температура мен жоғары қысым сияқты қатал ортаға төтеп бере алады.

View as

SIC диффузиялық пеш түтігі

Қытайдағы жетекші өндіруші және жеткізуші ретінде Ветек жартылай өткізгіштері ретінде, ветек жартылай өткізгіш SIC Diffious Driface Tube иіліп, тотығуға, коррозияға төзімділікке, жоғары токтың төзімділігіне және жоғары температуралы механикалық қасиеттерге ие. Оны диффузиялық пештің қосымшаларында таптырмайтын жабдық материалын жасау. Ветек жартылайдюсторы жоғары сапалы SIC диффузиялық пештің түтікшесін жасауға және жеткізуге дайын және сіздің қосымша сұрақтарыңызды қолдайды.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Жоғары тазалық SIC вафлиді қайық тасымалдаушысы

Ветек жартылайдюсторы жоғары тазалыққа арналған жоғары сапалы SIC вафлиді ұсынады. Жоғары тазалық кремний карбидінен жасалған, ол вафлиді ұстап тұрып, оны өңдеу кезінде сырғып кетуіне жол бермейді. Қажет болса, CVD SIC жабыны да қол жетімді. Кәсіби және күшті жартылай өткізгіш өндіруші және жеткізуші ретінде Ветек жартылай өткізгіштің жоғары тазалығы ретінде ӘЖК вафли-вафли-тасымалдаушысы - бұл баға бәсекеге қабілетті және жоғары сапа. Ветек жартылайдюсторы Қытайда ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Жоғары тазалық SIC Cantileverever

Ветек жартылайдюсторы - бұл Қытайдағы ең жоғары тазалық өндіруші және жоғары тазалық өндіруші және жеткізуші. Жоғары тазалық SIC Cantilevereversevers Жартылай өткізгіш пештерде таратылады, бұл вафлиді ауыстыру немесе жүктеу платформаларында қолданылады.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Тік баған вафлиді қайық және тұғыр

Ветек жартылай өткізгіштің тік бағаны вафли қайық және тұғыр жоғары температуралы кварц немесе кремний көміртекті керамиктен, химиялық тұрақтылық пен механикалық беріктігі бар және жартылай өткізгіштік өндіріс процесінде маңызды негізгі компонент болып табылады. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Қатаң вафли қайық

Ветек жартылай өткізгіштің іріктегі көлігі - бұл жартылай өткізгіштерді өңдеуге арналған озық жабдық. Өнім құрылымы дәлдік вафлиді тиімді өңдеуді және өндіруді қамтамасыз ету үшін мұқият жасалған. VetekSemi теңшелген өнімнің шешімдерін қолдайды және сіздің кеңесіңізді күтеді.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Көлденең SIC вафли тасымалы

Ветек жартылай өткізгіш - бұл TAC қапталған бағытталған сақинаның, көлденең SIC вафлиді тасымалдаушы және SIC жабылған SICECEPTS компаниясы. Біз жартылай өткізгіш индустрия үшін тамаша техникалық қолдауды және түпкілікті техникалық қолдауды ұсынамыз. Бізбен хабарласыңыз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Кәсіби Тотығу және диффузиялық пеш өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
anny@veteksemi.com
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

Веб-мәзір

Өнім іздеу

Тіл

Мәзірден шығу

Тотығу және диффузиялық пеш

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбид компоненттерінің артықшылықтары:

SIC диффузиялық пеш түтігі

Жоғары тазалық SIC вафлиді қайық тасымалдаушысы

Жоғары тазалық SIC Cantileverever

Тік баған вафлиді қайық және тұғыр

Қатаң вафли қайық

Көлденең SIC вафли тасымалы

Сұрау жіберу

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон

Факс

Электрондық пошта

Мекенжай