Sic Cantilevervever

Ⅰ.Мынды пайдалану

SIC Cantilevervevers Жанғыштар негізінен жартылай өткізгіштік жабдықтарда, вафлиді қолдау және тарату компоненттері ретінде қолданылады. Оның негізгі функциясы кремнийдің, тұрақты және тиімді өндіріс процесін қамтамасыз ететін жоғары температура және жоғары коррозия сияқты төтенше процесс жағдайындағы кремнийдің вафлиді дәл өңдейді.

SIC материалдарының шарттары мен сипаттамалары

СИК - бұл жетілдірілген керамикалық материал, оның керемет физикалық қасиеттері оны жартылай өткізгіш өрісте теңдесі жоқ артықшылықты береді. Төменде SIC Cantilever-ге қатысты негізгі физикалық параметрлер бар:

● Жоғары тазалық: Жоғары сапалы SIC материалын қолдану процестің ластануын азайтуға және өнімнің шығымдылығын арттыруға мүмкіндік береді.

● Жоғары температураның керемет төзімділігі: SIC-те 2830 ° C-қа дейін балқытылған нүкте бар, бұл плазмалық өңдеу және жоғары температуралы температуралық техникада құрылымдық тұтастыққа ие болуға мүмкіндік береді, ал жоғары температурада тазартады және ұзақ мерзімді жұмыс температурасы 1000 ° C-тан асады.

● Жоғары қаттылық пен тозу кедергісі: Мохтар қаттылығы 9-9,5, тек алмазға дейін, тек гауһарға дейін.

● Тамаша жылу өткізгіштік: SIC керамикасының жылу өткізгіштігі 120-250 Вт / (Мықты) (әдеттегі), ол жылуды тез арада таратып, вафлиге зиян тигізуі мүмкін жергілікті қызып кетуіне жол бермейді.

● Төмен термиялық кеңейту коэффициенті: Жылуларды кеңейту коэффициенті (шамамен 4,0 × 10⁻⁶ / k) өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді, егер температура өзгерген кезде өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді, жылу кеңеюі мен жиырылудан туындаған стресстен аулақ болады және осылайша вафли зақымдану қаупін азайтады.

Ⅲ. SIC Cantilever жастықшаларының қолданбалы сценарийлері

SIC Cantilever жастықшаларының бірегей қасиеттері жартылай өткізгіш өндірісінің бірнеше сілтемелерінде негізгі рөлді ойнауға мүмкіндік береді:

● Жабдық плазмалық.

● Жұқа пленкалармен тұндыру жабдықтары (CVD / PVD): Химиялық будың тұндыру процесінде (CVD) және физикалық будың тұндыру процесінде (PVD), SIC Cantilever Weadles вафлиді қолдау үшін қолданылады. Олардың жоғары температураға төзімділігі және жылу өткізгіштігі Вафлиді біркелкі қыздыруға көмектеседі және жұқа пленкалармен тұндыру процесінде пайда болған бөлшектердің ластануын болдырмайды.

● вафлиді беру жүйесі: Автоматтандырылған вафлиді беру жүйесінде SIC Cantilever жастықшалары жоғары жиілікті механикалық қозғалысқа төтеп бере алады, олардың қаттылығы мен тозуға төзімділігі, әр түрлі технологиялық палаталар арасында вафлидің дәл және жылдам тасымалдануын қамтамасыз етеді, вафлидің зақымдануы мен ластану қаупін азайту.

● Жоғары температуралы тазарту процесі.

Ветексемикон өнімнің сапасына арналған жартылай өткізгіш процестердің қатаң талаптарын жақсы біледі. Сондықтан біз жеке қызметтерді қолдаймыз және нақты жабдықтар мен технологиялық талаптарға сәйкес SIC Cantelever Cantelever дизайны мен өндірісін қамтамасыз ете аламыз. Сондай-ақ, біз әр өнімнің сапалы тексерулерден өту үшін қатаң сапаны бақылауды бақылаймыз, бұл сапалы сапаны инспекцияға ұшырату үшін оның ең жоғары салалық стандарттарға сәйкестігін қамтамасыз ету үшін.

Ең бастысы, Ветек Жартылай өткізгіштің техникалық тобы сізге техникалық кеңес беру және өнімнің кешенді шешімдерін ұсынады. Біздің SIC Cantilever-ді таңдау дегеніміз - жоғары өндіріс тиімділігін, жабдықтың ұзағырақ өмірі және өнімнің жақсырақ өнімділігін таңдау. Сіздің одан әрі кеңесіңізді күтеміз.