Тотығу және диффузиялық пеш

Тотығу және диффузиялық пештер жартылай өткізгіш құрылғылар, дискретті құрылғылар, оптоэлектрондық құрылғылар, қуатты электронды құрылғылар, күн батареялары және кең ауқымды интегралды схемалар өндірісі сияқты әртүрлі салаларда қолданылады. Олар пластиналарды диффузия, тотығу, күйдіру, легірлеу және агломерациялау сияқты процестер үшін қолданылады.

VeTek Semiconductor – тотығу және диффузиялық пештерде тазалығы жоғары графит, кремний карбиді және кварц компоненттерін өндіруге маманданған жетекші өндіруші. Біз жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсіптер үшін жоғары сапалы пеш компоненттерін қамтамасыз етуге міндеттенеміз және CVD-SiC, CVD-TaC, пирокарбон және т.б. сияқты бетті жабу технологиясының алдыңғы қатарындамыз.

VeTek Semiconductor кремний карбиді компоненттерінің артықшылықтары:

Жоғары температураға төзімділік (1600 ℃ дейін)

Тамаша жылу өткізгіштік және термиялық тұрақтылық

Жақсы химиялық коррозияға төзімділік

Термиялық кеңеюдің төмен коэффициенті

Жоғары беріктік пен қаттылық

Ұзақ қызмет ету мерзімі

Тотығу және диффузиялық пештерде жоғары температура мен коррозиялық газдардың болуына байланысты көптеген компоненттер жоғары температураға және коррозияға төзімді материалдарды пайдалануды талап етеді, олардың арасында кремний карбиді (SiC) жиі қолданылатын таңдау болып табылады. Төменде тотығу пештерінде және диффузиялық пештерде кездесетін кремний карбидінің жалпы компоненттері берілген:

Вафельді қайық

Кремний карбидті вафельді қайық кремний пластинкаларын тасымалдауға арналған контейнер болып табылады, ол жоғары температураға төтеп бере алады және кремний пластиналарымен әрекеттеспейді.

Пеш түтігі

Пеш түтігі диффузиялық пештің негізгі құрамдас бөлігі болып табылады, кремний пластинкаларын орналастыру және реакция ортасын басқару үшін қолданылады. Кремний карбидті пеш түтіктері тамаша жоғары температураға және коррозияға төзімділікке ие.

Бөтелке тақтасы

Пеш ішіндегі ауа ағыны мен температураның таралуын реттеу үшін қолданылады

Термопараны қорғау түтігі

Температураны өлшейтін термопарларды коррозиялық газдармен тікелей жанасудан қорғау үшін қолданылады.

Консольдық қалақ

Кремний карбиді консоль қалақтары жоғары температураға және коррозияға төзімді және кремнийді қайықтарды немесе кремний пластиналары бар кварцты қайықтарды диффузиялық пеш түтіктеріне тасымалдау үшін қолданылады.

Газ инжекторы

Реакциялық газды пешке енгізу үшін қолданылады, ол жоғары температураға және коррозияға төзімді болуы керек.

Қайық тасымалдаушы

Кремний карбидті вафлиді қайық тасымалдаушы кремний пластинкаларын бекіту және қолдау үшін пайдаланылады, олардың жоғары беріктігі, коррозияға төзімділігі және жақсы құрылымдық тұрақтылығы сияқты артықшылықтары бар.

Пештің есігі

Сондай-ақ, пеш есігінің ішкі жағында кремний карбиді жабындары немесе компоненттер қолданылуы мүмкін.

Жылыту элементі

Кремний карбидті қыздыру элементтері жоғары температураға, жоғары қуатқа жарамды және температураны 1000℃-тан жоғары жылдам көтере алады.

SiC лайнер

Пеш түтіктерінің ішкі қабырғасын қорғау үшін пайдаланылады, ол жылу энергиясының жоғалуын азайтуға және жоғары температура мен жоғары қысым сияқты қатал орталарға төтеп беруге көмектеседі.