Тотығу және диффузиялық пеш

Тотығу және диффузиялық пештер әртүрлі өрістерде жартылай өткізгіш құрылғылар, дискретті құрылғылар, оптоэлектрондық құрылғылар, электронды құрылғылар, күн батареялары және кең ауқымды интегралды тізбектелген өндіріс. Олар процестер үшін пайдаланылады, оның ішінде диффузия, тотығу, тазарту, легирлеу және вафлиді біріктіру.

Ветек жартылайдюсторы - бұл жоғары тазалық графит, кремний карбиді және кварцтың тотығу және диффузиялық пештерде мамандандырылған жетекші өндіруші. Біз жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өндірістер үшін жоғары сапалы пештің компоненттерін ұсынуға міндеттіміз және квд-СИК, CVD-TAC, PIROcarbon және т.б. сияқты беттік жабын технологиясының алдыңғы қатарында.

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбид компоненттерінің артықшылықтары:

● Жоғары температураға төзімділік (1600 ℃ дейін)

● Тамаша жылу өткізгіштік және жылу тұрақтылығы

● Жақсы химиялық коррозияға төзімділік

● Жылу кеңеюінің төмен коэффициенті

● Жоғары күш пен қаттылық

● ұзақ қызмет ету мерзімі

Жоғары температуралы және коррозиялық газдардың болуына байланысты тотығу және диффузиялық пештерде көптеген компоненттер жоғары температуралы және коррозияға төзімді материалдарды қолдануды талап етеді, олардың ішінде кремний карбиді (SIC) жиі қолданылатын таңдау болып табылады. Тотығу пештерінде және диффузиялық пештерде кездесетін жалпы кремний карбиді компоненттері бар:

● вафли қайық

Силикон Карбид Вафли Кофер - бұл жоғары температураға төтеп бере алатын және кремний вафкестеріне әсер ете алатын кремнийді төгетін контейнер.

● Пеш түтігі

Пештің түтігі - кремнийді вафлиді орналастыру және реакция ортасын басқару үшін қолданылатын диффузиялық пештің негізгі компоненті болып табылады. Кремний карбиди пештік түтіктері жоғары температуралы және коррозияға төзімділігі бар.

● табақша

Пеш ішіндегі ауа ағынын және температураның таралуын реттеу үшін қолданылады

● Термопара қорғау түтігі

Температураны өлшеу үшін термопараларды коррозиялық газдармен тікелей байланыстырудан қорғау үшін қолданылады.

● Cantilevere

Силикон Карбид-Карбидтер асханалар жоғары температураға және коррозияға төзімді және кремнийдік вафлиді кремнийді вафлиді таратылатын кремнийді қайықтарды тарату үшін қолданылады.

● Газ инжекторы

Пешке реакция газын енгізу үшін қолданылады, ол жоғары температура мен коррозияға төзімді болуы керек.

● Қайық тасымалдаушы

Кремний карбид вафли-вафли тасымалы кремнийді вафлиді жөндеу және қолдау үшін қолданылады, олар жоғары беріктігі, коррозияға төзімділік және жақсы құрылымдық тұрақтылық сияқты артықшылықтары бар кремнийді вафлиді бекіту және қолдау үшін қолданылады.

● Пеш есігі

Кремний карбиді жабындары немесе компоненттері пеш есігінің ішкі жағында да қолданылуы мүмкін.

● Қыздыру элементі

Кремний карбид қыздыру элементтері жоғары температураға, жоғары қуатқа, жоғары қуатқа жарамды және температураны 1000-нан асады.

● SIC LINER

Пеш түтіктерінің ішкі қабырғасын қорғау үшін қолданылады, ол жылу энергиясының жоғалуын азайтуға және жоғары температура мен жоғары қысым сияқты қатал ортаға төтеп бере алады.

View as

SiC вафельді қайық

SiC пластинкасының қайығы вафлиді тасымалдау үшін, негізінен тотығу және диффузия процесінде температураның пластинаның бетіне біркелкі таралуын қамтамасыз ету үшін қолданылады. SiC материалдарының жоғары температура тұрақтылығы мен жоғары жылу өткізгіштігі жартылай өткізгіштерді тиімді және сенімді өңдеуді қамтамасыз етеді. Vetek жартылай өткізгіші бәсекеге қабілетті бағамен сапалы өнімдерді ұсынуға міндеттенеді.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

SiC процесс түтігі

Ветек жартылай өткізгіш жартылай өткізгіш өндірісіне арналған жоғары сапалы техникалық түтіктерді ұсынады. Біздің SIC технологиялық түтіктері тотығу, диффузиялық процестерде Excel. Жоғары сапалы және қолөнермен, бұл түтіктер жартылай өткізгішті тиімді өңдеу үшін жоғары температуралық тұрақтылық пен жылу өткізгіштік ұсынады. Біз бәсекеге қабілетті баға ұсынамыз және сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуға ұмтыламыз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

SiC Консольдық қалақ

VeTek Semiconductor компаниясының SiC Консоль қалақшасы вафельді қайықтарды өңдеу және қолдау үшін термиялық өңдеу пештерінде қолданылады. SiC материалының жоғары температура тұрақтылығы мен жоғары жылу өткізгіштігі жартылай өткізгішті өңдеу процесінде жоғары тиімділік пен сенімділікті қамтамасыз етеді. Біз бәсекеге қабілетті бағамен жоғары сапалы өнімді ұсынуға дайынбыз және сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Көлденең пешке арналған кремний карбидті вафельді қайық

SiC пластинкасының қайығы материалдың тазалығына жоғары талап қояды. Vetek жартылай өткізгіші осы өнімге SiC тазалығын ＞99,96% қайта кристалданған SiC береді. VeTek Semiconductor - бұл Қытайдағы көлденең пешке арналған кремний карбиді пластинкасының кәсіби өндірушісі және жеткізушісі, ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстарда көп жылдық тәжірибесі бар. өндіру, сапаны жақсы бақылай алады және бәсекеге қабілетті баға ұсына алады. Көлденең пешке арналған кремний карбидті вафельді қайықты бізден сатып алуға сенімді бола аласыз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

SiC қапталған кремний карбидті вафельді қайық

SiC қапталған кремний карбидті вафельді қайық пластиналарды тасымалдауға арналған 165 слотпен жасалған. VeTek жартылай өткізгіші - Қытайдағы SiC жабыны бар кремний карбидті вафельді қайық үшін кәсіби өндіруші және жеткізуші, ҒЗТКЖ және өндірісте көп жылдық тәжірибесі бар, сапаны жақсы бақылай алады және бәсекеге қабілетті өнім ұсына алады. бағасы. Біздің зауытқа келуге қош келдіңіз және ынтымақтастық туралы одан әрі талқылау.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Кремний карбиді Cantileverve

Ветек Жартылай өткізгіштің кремний көмірсутегі Candilever Cantelevere Семейдегі жастық, әсіресе жартылай өткізгішті өндіру процесінде маңызды компонент, әсіресе диффузиялық пештер немесе LPCVD пештері, мысалы, диффузия және RTP. Біздің кремний карбидіміздің жастықшамыз жоғары температуралы төзімділік пен механикалық беріктікпен жасалған, сонымен қатар диструций және РТП сияқты жоғары температуралы процестер үшін процестер түтігіне вафлиді қауіпсіз және сенімді түрде тасымалдай алады және сенімді және сенімді және сенімді түрде тасымалданады. Біз Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды күтеміз. Бізді сұрай алмаймыз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Кәсіби Тотығу және диффузиялық пеш өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
anny@veteksemi.com
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

Веб-мәзір

Өнім іздеу

Тіл

Мәзірден шығу

Тотығу және диффузиялық пеш

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбид компоненттерінің артықшылықтары:

SiC вафельді қайық

SiC процесс түтігі

SiC Консольдық қалақ

Көлденең пешке арналған кремний карбидті вафельді қайық

SiC қапталған кремний карбидті вафельді қайық

Кремний карбиді Cantileverve

Сұрау жіберу

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон

Факс

Электрондық пошта

Мекенжай