Көлденең SIC вафли тасымалы

VeTek жартылай өткізгіштерКөлденең SIC вафли тасымалы/ Қаймақ өте жоғары балқытатын нүктесі бар (шамамен 2700 ° C), бұл сізге мүмкіндік бередіКөлденең SIC вафли тасымалы/ Кеме деформациясыз немесе деградациясыз жоғары температура ортасында тұрақты жұмыс істеуі керек. Бұл мүмкіндік, әсіресе жартылай өткізгішті өндіріс процесінде, әсіресе жоғары температуралы және химиялық бумен тұндыру (CVD) сияқты процестерде өте маңызды.

ТаКөлденең SIC вафли тасымалы/ Қаймақ вафли тасымалдаушыларды тасымалдау процесінде келесі рөлдерді ойнатады:

Кремний вафлиі және қолдау: Көлденең SiC вафли қайығы негізінен жартылай өткізгішті өндіру кезінде кремний пластинкаларын тасымалдау және қолдау үшін пайдаланылады. Ол бірнеше кремний пластинкаларын біріктіріп, олардың бүкіл өңдеу процесінде жақсы күйде және тұрақтылықта қалуын қамтамасыз ете алады.

Біркелкі жылыту және салқындату: SiC жоғары жылу өткізгіштігінің арқасында вафли қайық барлық кремний пластинкаларына жылуды біркелкі тарата алады. Бұл жоғары температурада өңдеу кезінде кремний пластинкаларын біркелкі қыздыруға немесе салқындатуға қол жеткізуге көмектеседі, өңдеу процесінің дәйектілігі мен сенімділігін қамтамасыз етеді.

Ластанудың алдын алу: SiC химиялық тұрақтылығы оның жоғары температурада және коррозиялық газ орталарында жақсы жұмыс істеуіне мүмкіндік береді, осылайша кремний пластинкаларының ықтимал ластаушы заттардың немесе реактивтердің әсерін азайтады, кремний пластинкаларының тазалығы мен сапасын қамтамасыз етеді.

Шын мәнінде, көлденең SiC вафельді қайық өзінің бірегей өнім сипаттамаларына байланысты жоғарыда аталған рөлді атқара алады:

Тамаша химиялық тұрақтылық: SIC материалы әртүрлі химиялық бұқаралық ақпарат құралдарына өте жақсы коррозияға төзімді. Коррозиялық газдарды немесе сұйықтықтарды өңдеу процесінде, SIC вафли қайығы химиялық коррозияға және кремнийді вафлиді ластанудан немесе зақымдан қорғауға мүмкіндік береді.

Жоғары термиялық өткізгіштік: SiC жоғары жылу өткізгіштігі жылуды тасымалдау процесінде біркелкі бөлуге және жылу жинақталуын азайтуға көмектеседі. Бұл дәл өңдеу кезінде температураны бақылаудың дәлдігін жақсартады және кремний пластинкаларын біркелкі қыздыруды немесе салқындатуды қамтамасыз етеді.

Төмен термиялық кеңею коэффициенті: SiC материалының төмен жылулық кеңею коэффициенті температураның өзгеруі кезінде SiC Wafer Boat өлшемдік өзгерісінің өте аз екенін білдіреді. Бұл жоғары температурада өңдеу кезінде өлшемдік тұрақтылықты сақтауға көмектеседі және термиялық кеңеюден туындаған кремний пластинкаларының деформациясын немесе позициялық жылжуын болдырмайды.

Көлденең SIC вафли-тасымалдаушысының негізгі физикалық қасиеттері:

Жартылай өткізгіш өндіріс дүкенін салыстырыңыз:

Жартылай өткізгіш чипке шолу Epitaxy Industry: