Тотығу және диффузиялық пеш

Тотығу және диффузиялық пештер әртүрлі өрістерде жартылай өткізгіш құрылғылар, дискретті құрылғылар, оптоэлектрондық құрылғылар, электронды құрылғылар, күн батареялары және кең ауқымды интегралды тізбектелген өндіріс. Олар процестер үшін пайдаланылады, оның ішінде диффузия, тотығу, тазарту, легирлеу және вафлиді біріктіру.

Ветек жартылайдюсторы - бұл жоғары тазалық графит, кремний карбиді және кварцтың тотығу және диффузиялық пештерде мамандандырылған жетекші өндіруші. Біз жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өндірістер үшін жоғары сапалы пештің компоненттерін ұсынуға міндеттіміз және квд-СИК, CVD-TAC, PIROcarbon және т.б. сияқты беттік жабын технологиясының алдыңғы қатарында.

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбид компоненттерінің артықшылықтары:

● Жоғары температураға төзімділік (1600 ℃ дейін)

● Тамаша жылу өткізгіштік және жылу тұрақтылығы

● Жақсы химиялық коррозияға төзімділік

● Жылу кеңеюінің төмен коэффициенті

● Жоғары күш пен қаттылық

● ұзақ қызмет ету мерзімі

Жоғары температуралы және коррозиялық газдардың болуына байланысты тотығу және диффузиялық пештерде көптеген компоненттер жоғары температуралы және коррозияға төзімді материалдарды қолдануды талап етеді, олардың ішінде кремний карбиді (SIC) жиі қолданылатын таңдау болып табылады. Тотығу пештерінде және диффузиялық пештерде кездесетін жалпы кремний карбиді компоненттері бар:

● вафли қайық

Силикон Карбид Вафли Кофер - бұл жоғары температураға төтеп бере алатын және кремний вафкестеріне әсер ете алатын кремнийді төгетін контейнер.

● Пеш түтігі

Пештің түтігі - кремнийді вафлиді орналастыру және реакция ортасын басқару үшін қолданылатын диффузиялық пештің негізгі компоненті болып табылады. Кремний карбиди пештік түтіктері жоғары температуралы және коррозияға төзімділігі бар.

● табақша

Пеш ішіндегі ауа ағынын және температураның таралуын реттеу үшін қолданылады

● Термопара қорғау түтігі

Температураны өлшеу үшін термопараларды коррозиялық газдармен тікелей байланыстырудан қорғау үшін қолданылады.

● Cantilevere

Силикон Карбид-Карбидтер асханалар жоғары температураға және коррозияға төзімді және кремнийдік вафлиді кремнийді вафлиді таратылатын кремнийді қайықтарды тарату үшін қолданылады.

● Газ инжекторы

Пешке реакция газын енгізу үшін қолданылады, ол жоғары температура мен коррозияға төзімді болуы керек.

● Қайық тасымалдаушы

Кремний карбид вафли-вафли тасымалы кремнийді вафлиді жөндеу және қолдау үшін қолданылады, олар жоғары беріктігі, коррозияға төзімділік және жақсы құрылымдық тұрақтылық сияқты артықшылықтары бар кремнийді вафлиді бекіту және қолдау үшін қолданылады.

● Пеш есігі

Кремний карбиді жабындары немесе компоненттері пеш есігінің ішкі жағында да қолданылуы мүмкін.

● Қыздыру элементі

Кремний карбид қыздыру элементтері жоғары температураға, жоғары қуатқа, жоғары қуатқа жарамды және температураны 1000-нан асады.

● SIC LINER

Пеш түтіктерінің ішкі қабырғасын қорғау үшін қолданылады, ол жылу энергиясының жоғалуын азайтуға және жоғары температура мен жоғары қысым сияқты қатал ортаға төтеп бере алады.

View as

Кремний карбиді керамикалық вафельді қайық

VeTek Semiconductor әртүрлі жартылай өткізгіш процесінің талаптарын қанағаттандыру үшін тік/бағаналық және көлденең конфигурациялардағы жоғары сапалы вафли қайықтарын, тұғырларды және таңдамалы пластиналарды тасымалдауға маманданған. Кремний карбидті жабын пленкаларының жетекші өндірушісі және жеткізушісі ретінде біздің кремний карбидті керамикалық вафли қайығымыз еуропалық және американдық нарықтарда жоғары үнемділігі мен тамаша сапасы үшін ұнайды және жартылай өткізгіштерді өндірудің озық процестерінде кеңінен қолданылады. VeTek Semiconductor компаниясы жаһандық тұтынушылармен ұзақ мерзімді және тұрақты ынтымақтастық қарым-қатынастарын орнатуға ұмтылады және әсіресе Қытайдағы жартылай өткізгіш процесінің сенімді серіктесі болуға үміттенеді.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Кремний карбид (SIC) Cantilever Cantelever

Жартылай өткізгіш өнеркәсіптегі Canticon Carbide (SIC) рөлі - вафлиді қолдау және тасымалдау. Диффузиялық және тотығу сияқты жоғары температуралы процестерде, мысалы, SIC Cantilevere-дің жастықшасы вафлиді және вафлиді жоғары температурада де, процестің үздіксіз өсуін қамтамасыз етеді. Диффузия, тотығу және басқа процестер жасау вафлидің дәйектілігі мен кірістілігін арттыру үшін өте маңызды. Ветек Жартылай өткізгіш зұлымдардың ластанбауын қамтамасыз ету үшін жоғары тазалық кремний карбидімен SIC Cantikon Carbide-ді салу үшін алдыңғы қатарлы технологияларды қолданады. Vetek жартылай өткізгіш сіздермен силикон Карбидінде (SIC) Cantilever Candele өнімдері бойынша ұзақ мерзімді ынтымақтастықты асыға күтеді.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Кварц тигель

Ветек жартылайдюсторы - кварцтың жетекші жеткізушісі және Қытайдағы өндіруші. Біз өндіретін кварц крестілері негізінен жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өрістерде қолданылады. Олардың тазалығы мен температуралық кедергісі бар. Біздің кварцтың жартылай өткізгіштері үшін кремді өзектер шығаратын өндірістік процестер, полисиликон шикізатын өндіру, тиеу және түсіру, жартылай өткізгіштің вафли-өндіріс процесінде және кремний вафли өндірісінің негізгі шығын материалдары болып табылады. Ветек жартылай өткізгіш Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Кремний карбид вафли-тасымалдаушысы

Карбио Карбидінің Карбид-карбидінің вафли-тасымалдаушысы ретінде Ветек жартылайдюсторы - жартылай өткізгіш вафлиді өңдеуге және өңдеуге арналған құрал, олар жартылай өткізгіш вафли процесінде маңызды рөл атқарады. Әрі қарай консультацияға қош келдіңіз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Кремний тұғыр

VeTek жартылай өткізгіш кремний тұғыры жартылай өткізгіштердің диффузиясы мен тотығу процестерінің негізгі компоненті болып табылады. Жоғары температуралы пештерде кремний қайықтарын тасымалдауға арналған арнайы платформа ретінде Силикон тұғырының жақсартылған температура біркелкілігі, оңтайландырылған пластинаның сапасы және жартылай өткізгіш құрылғылардың жақсартылған өнімділігі сияқты көптеген бірегей артықшылықтары бар. Өнім туралы қосымша ақпарат алу үшін бізге хабарласыңыз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Сиктік керамикалық тығыздағыш сақина

Қытайда SIC керамикалық пломба өнімдерінің зауыты ретінде, Ветек жартылай өткізгіштері ретінде, Ветек жартылай өткізгіштері, chicer cheramic valek гермотолығына, оның керемет термиялық және коррозияға төзімділігі мен жоғары беріктігі мен қаттылығы арқасында өнеркәсіп саласында көптеген өтініштер бар. Әрі қарайғы сұрағыңызбен құттықтаймыз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Кәсіби Тотығу және диффузиялық пеш өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
anny@veteksemi.com
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

Веб-мәзір

Өнім іздеу

Тіл

Мәзірден шығу

Тотығу және диффузиялық пеш

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбид компоненттерінің артықшылықтары:

Кремний карбиді керамикалық вафельді қайық

Кремний карбид (SIC) Cantilever Cantelever

Кварц тигель

Кремний карбид вафли-тасымалдаушысы

Кремний тұғыр

Сиктік керамикалық тығыздағыш сақина

Сұрау жіберу

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон

Факс

Электрондық пошта

Мекенжай