Тантал карбиді жабыны

VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксия процесі кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.

Негізгі өнімдер болып табыладыTaC қапталған бағыттаушы сақина, CVD TaC қапталған үш жапырақты бағыттаушы сақина, Тантал карбиді TaC қапталған жарты ай, CVD TaC жабыны планеталық SiC эпитаксиалды сезімтал, Тантал карбиді қаптама сақинасы, Тантал карбидімен қапталған кеуекті графит, TaC жабынының айналу сенсоры, Тантал карбиді сақинасы, TaC жабынының айналмалы тақтасы, TaC қапталған вафельді сенсор, TaC қапталған дефлектор сақинасы, CVD TaC жабыны, TaC қапталған патронт.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.

TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:

Excellent properties of TaC coating graphite

Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.

Негізгі мүмкіндіктер:

●Температураның тұрақтылығы

●Ультра жоғары тазалық

●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі

●Жылу қорына төзімділік

●Графитке күшті адгезия

●Конформды жабу

● Диаметрі 750 мм-ге дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)

Қолданбалар:

●Вафельді тасымалдаушы

● Индуктивті қыздыру қабылдағыш

● Резистивті қыздыру элементі

●Спутниктік диск

●Душ басы

●Бағыттаушы сақина

●LED Epi қабылдағыш

●Инъекцияға арналған саптама

●Маска сақинасы

● Жылу қалқаны

Микроскопиялық көлденең қимадағы тантал карбиді (TaC) жабыны:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы	14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия	0.3
Термиялық кеңею коэффициенті	6.3 10^-6/Қ
Қаттылық (HK)	2000 HK
Қарсылық	1×10^-5Ом*см
Термиялық тұрақтылық	<2500℃
Графит өлшемі өзгереді	-10~-20ум
Қаптау қалыңдығы	≥20um типтік мән (35um±10um)

TaC жабыны EDX деректері：

EDX data of TaC coating

TaC жабынының кристалдық құрылымының деректері:

Элемент	Атомдық пайыз
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Орташа
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
М	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC жабатын патрон TaC қаптамасы планеталық диск
TaC қапталған пластина TaC жабынының айналмалы тақтасы TaC жабу қабылдағыш CVD TaC жабыны CVD TaC жабу сақинасы TaC жабын плитасы

View as

Карбид-сақина тантал

Қытайда дамыған өндіруші және тантал карбидінің сақинасы ретінде, Ветек Жартылай өткізгіш тантал көмірсуларымен тантал сақинасы өте жоғары қаттылыққа, тозуға төзімділікке, жоғары температураға төзімділікке және химиялық тұрақтылыққа ие және жартылай өткізгіш өндіріс алаңында кеңінен қолданылады. Әсіресе, CVD, PVD, Ион имплантация процесінде, процессте және вафлиді өңдеу және вафлиді өңдеу және тасымалдау, бұл жартылай өткізгіштерді өңдеу және өндіріске арналған ажырамас өнім. Сіздің одан әрі кеңесіңізді күтеміз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Тантал көмірсулар жабыны

Карбио Карбидті жабын ретінде Қытайда өнім өндірушісі және зауыты ретінде, ветек Жартылай өткізгіш Тантал көмірсуларының жабыны әдетте жартылай өткізгіш жабдықтардың беттік жабыны немесе тірек компоненттері үшін, әсіресе CVD және PVD дискілеріндегі негізгі жабдықтар компоненттерін қорғау үшін қолданылады. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Тантал Карбид-бағыттағыш сақина

Ветек жартылайдюсторы - бұл Қытайда кәсіби өндіруші және тантал көлігінің бағыттаушы ринг өнімдерінің жетекшісі. Біздің тантал карбиді (TAC) бағыттаушы сақинасы - бұл көбінесе жартылай өткізгіш технологиялық қондырғыларда, әсіресе CVD, PVD, игеру және диффузия сияқты жоғары температуралы және жоғары коррозиялық ортада қолданылатын танталға арналған карбидден жасалған. Ветек Жартылай өткізгіш жартылай өткізгіш өнеркәсіптің озық технологиялары мен шешімдерін ұсынуға, сонымен қатар сіздің қосымша сұрақтарыңызды қолдайды.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

TAC жабыны ротациясы Сусептор

Кәсіби өндіруші ретінде, Қытайдағы TAC жабынының инноваторы және көшбасшысы. Ветек жартылай өткізгіш TAC жабынының айналуы, әдетте, химиялық бумен тұндыру (CVD) және молекулалық сәулелер эпитаваторияларында орнатылады және вафлиді бірыңғай материалды тұндыру мен тиімді реакцияны қамтамасыз етеді. Бұл жартылай өткізгіштерді өңдеудің негізгі компоненті болып табылады. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

CVD TAC жабыны

Ветек жартылайдюсторы - бұл Кәсіби өндіруші және Қытайда өткен TAC жабынының күрделі өнімдерінің жетекшісі. CVD TAC жабыны Айқынға қарсы күрделі көміртегі (TAC) жабынына негізделген. Тантал көміртекті жабыны оның жылу кедергісін және коррозияға төзімділігін арттыру үшін химиялық будың тұндыру (CVD) арқылы өте жақсы жабылған. Бұл жоғары температурада экстремалды ортада қолданылатын материалдық құрал. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

CVD TAC жабыны вафли

Кәсіби CVD-дің кәсіби CVD-мен вафлиі ретінде Қытайда вафли және зауыт ретінде Ветек Жартылай өткізгіш CVD-де ветчинация вафли-тасымалдаушысы - жартылай өткізгіш өндірісінде жоғары температура мен коррозиялық орталар үшін арнайы жасалған вафли. және CVD TAC жабыны вафли-тасымалдаушысының жоғары механикалық беріктігі, тамаша коррозияға төзімділігі және жылу тұрақтылығы, жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруге қажетті кепілдік береді. Сіздің одан әрі сұраныстарыңыз құпталады.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Кәсіби Тантал карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон
+86-15988690905
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
anny@veteksemi.com
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

Веб-мәзір

Өнім іздеу

Тіл

Мәзірден шығу

Тантал карбиді жабыны

Негізгі мүмкіндіктер:

Қолданбалар:

Микроскопиялық көлденең қимадағы тантал карбиді (TaC) жабыны:

VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:

TaC жабыны EDX деректері：

TaC жабынының кристалдық құрылымының деректері:

Карбид-сақина тантал

Тантал көмірсулар жабыны

Тантал Карбид-бағыттағыш сақина

TAC жабыны ротациясы Сусептор

CVD TAC жабыны

CVD TAC жабыны вафли

Сұрау жіберу

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон

Факс

Электрондық пошта

Мекенжай