Кеуекті танталға арналған карбид

Ветек жартылай өткізгіш кеуекті тантал Карбиді (TAC) - бұл тантал мен көміртектің қасиеттерін біріктіретін жоғары сапалы керамика материалы. Кеуекті құрылымы жоғары температурада және экстремалды ортада нақты қосымшалар үшін өте қолайлы. TAC жартылай өткізгіштерді өңдеуде өте жақсы қаттылықты, жылу тұрақтылық пен химиялық тұрақтылықты үйлестіреді.

Кеуекті тантал карбиді (TA) тантал (та) және көміртегі (C) -дан тұрады, онда тантал көміртек атомдарымен күшті химиялық байланыстырады, бұл материалды өте жоғары беріктігі мен тозуға төзімді береді. Кеуекті ТАК кеуекті құрылымы материалды өндіру процесінде құрылады, ал кеуектікке белгілі бір өтінімге сәйкес бақылауға болады. Бұл өнім әдетте шығарыладыХимиялық будың тұнбасы (CVD)оның тегінің мөлшерін және таралуын дәл бақылауды қамтамасыз ету әдісі.

Тантал карбидінің молекулалық құрылымы

Vetek жартылай өткізгіш кеуекті Тантал Карбид (TAC) өнімнің келесі мүмкіндіктеріне ие

Бірыңқұм: Кеуекті құрылым оған белгілі бір қосымшалар сценарийлерінде, соның ішінде газ тарату, сүзгілеу, сүзу немесе бақыланатын жылу бөлу.

● Жоғары балқу нүктесі: Тантал Карбидінде өте жоғары балқыту нүктесі бар, ол шамамен 3 880 ° C-та, ол өте жоғары температура орталарына жарамды.

● Керемет қаттылық: Кеуекті TAC Diamond-ге ұқсас қаттылық шкаласында шамамен 9-10 шамасында өте жоғары. , және төтенше жағдайлар кезінде механикалық тозуға қарсы тұра алады.

● Жылу тұрақтылығы: Tantalum Carbide (TAC) материалы жоғары температуралы ортада тұрақты болып қалады және жоғары температуралық ортада оның дәйекті жұмысын қамтамасыз ететін күшті жылу тұрақтылығы бар.

● Жоғары термиялық өткізгіштік: Кеуейтсектіге қарамастан, кеуекті тантал карбиді жылу энергиясының тиімді берілуін қамтамасыз ете отырып, жақсы жылу өткізгіштік сақтайды.

● Төмен термиялық кеңейту коэффициенті: Тантал карбидінің (TAC) жылу кеңею коэффициенті материалдың температураның едәуір ауытқуымен тұрақты тұруға көмектеседі және жылу кернеуінің әсерін азайтады.

TAC жабынының физикалық қасиеттері

Жартылай өткізгіштерде, кеуекті танталға арналған карбид (TAC) келесі нақты негізгі рөлді ойнайдыs

Сияқты жоғары температуралы процестердеплазмалық игеружәне CVD, Ветек жартылай өткізгіш кеуекті тантал Карбиді көбінесе технологиялық жабдыққа арналған қорғаныс жабыны ретінде қолданылады. Бұл қатты коррозияға төзімділігіне байланыстыTAC жабыныжәне оның жоғары температуралық тұрақтылығы. Бұл қасиеттер реактивті газдармен немесе экстремалды температураларға ұшырайтын беттерді тиімді қорғайды, олар жоғары температуралы процестердің қалыпты реакциясын қамтамасыз етеді.

Диффузиялық процестерде, кеуекті танталқа арналған карбидтер жоғары температуралы процестерде материалдардың араласуын болдырмау үшін тиімді диффузиялық тосқауыл бола алады. Бұл мүмкіндік көбінесе иондық имплантация және жартылай өткізгіш вафлидің тазалық бақылауы сияқты процестердегі доптанттардың диффузиясын бақылау үшін қолданылады.

Ветек жартылай өткізгіштің кеуекті құрылымы Таналы тантал Карбидінің кеуекті газбен өткізгішті өңдеу орталарына өте қолайлы, бұл газ шығынын бақылау немесе сүзуді қажет ететін жартылай өткізгішті өңдеу орталарына өте қолайлы. Бұл процесте кеуекті TAC негізінен газ сүзуінің және таралу рөлін ойнайды. Оның химиялық инерстері сүзу кезінде ластаушы заттардың енгізілмейтінін қамтамасыз етеді. Бұл өңделген өнімнің тазалығына тиімді кепілдік береді.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбид (TAC) жабыны