TAC жабыны сақиналары

TAC жабыны бағыттаушы сақиналары:

Газ шығынын дәл басқару::TAC жабыны бағыттаушы қоңыраугаз айдау жүйесінде стратегиялық тұрғыдан орналастырылғанMocvd реакторы. Оның негізгі қызметі - прекурсорлық газдардың ағынын бағыттау және олардың субстрат вафли бетіне біркелкі таралуын қамтамасыз ету. Газ ағындарының динамикасын дәл бақылаудың нақты бақылауы бірыңғай эпитаксиалды қабаттың өсуіне және қажетті материалдық қасиеттерге жету үшін қажет.

Жылуды басқару: TAC жабыны бағыттаушы сақиналары көбінесе қыздырылған сезімтал және субстратқа жақын аралық температурада жұмыс істейді. TAC керемет жылу өткізгіштігі жылуды таратуға көмектеседі, бұл қызып кетудің алдын алу және реакция аймағында тұрақты температура профилін сақтауға көмектеседі.

MOCVD-де TAC артықшылықтары:

Төтенше температураның төзімділігі: TAC барлық материалдар арасындағы ең жоғары балқыту нүктелерінің бірі, 3800 ° C-тан асады.

Көрнекті химиялық инерстік: TAC аммиак, силейн және түрлі металл-органикалық қосылыстар сияқты MOCVD-де қолданылатын реактивті презензорлы газдардан коррозияға және химиялық шабуылға ерекше қарсылық көрсетеді.

Физикалық қасиеттеріTAC жабыны:

Mocvd жұмысының артықшылықтары:

Mocvd жабдықтарындағы Vetek жартылай өткізгіш та-жабындысы сақинасын қолдану айтарлықтай қосылады:

Жабдықтың жоғарылауы: TAC жабыны бағыттаушы бағыттағыштың беріктігі және ұзартылған қызмет мерзімі Сұрақ жиі ауыстыру қажеттілігін төмендетеді, техникалық қызмет көрсету уақытын азайтады және MOCVD жүйесінің жұмыс тиімділігін барынша азайту.

Өңдеудің жетілдірілген тұрақтылығы: TAC жылу тұрақтылығы және химиялық инерстері MOCVD камерасындағы тұрақты және басқарылатын реакция ортасына, процестердің өзгеруін азайту және репродукцияны жақсартуға ықпал етеді.

Эпитаксиальды қабаттың біркелкілігін жақсартқан.Эпитаксиальды қабаттың өсуідәйекті қалыңдығы мен құрамымен.

Тантал Карбид (TAC) жабыныМикроскопиялық көлденең қимада: