Веб-мәзір

Өнім іздеу

Тіл

Өнімдер

Тантал карбиді жабыны

VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксия процесі кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.


Негізгі өнімдер болып табыладыTaC қапталған бағыттаушы сақина, CVD TaC қапталған үш жапырақты бағыттаушы сақина, Тантал карбиді TaC қапталған жарты ай, CVD TaC жабыны планеталық SiC эпитаксиалды сезімтал, Тантал карбиді қаптама сақинасы, Тантал карбидімен қапталған кеуекті графит, TaC жабынының айналу сенсоры, Тантал карбиді сақинасы, TaC жабынының айналмалы тақтасы, TaC қапталған вафельді сенсор, TaC қапталған дефлектор сақинасы, CVD TaC жабыны, TaC қапталған патронт.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.


TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:


Excellent properties of TaC coating graphite


Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.


Негізгі мүмкіндіктер:

 ●Температураның тұрақтылығы

 ●Ультра жоғары тазалық

 ●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі

 ●Жылу қорына төзімділік

 ●Графитке күшті адгезия

 ●Конформды жабу

 ● Диаметрі 750 мм-ге дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)


Қолданбалар:

 ●Вафельді тасымалдаушы

 ● Индуктивті қыздыру қабылдағыш

 ● Резистивті қыздыру элементі

 ●Спутниктік диск

 ●Душ басы

 ●Бағыттаушы сақина

 ●LED Epi қабылдағыш

 ●Инъекцияға арналған саптама

 ●Маска сақинасы

 ● Жылу қалқаны


Микроскопиялық көлденең қимадағы тантал карбиді (TaC) жабыны:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы 14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия 0.3
Термиялық кеңею коэффициенті 6.3 10-6/Қ
Қаттылық (HK) 2000 HK
Қарсылық 1×10-5Ом*см
Термиялық тұрақтылық <2500℃
Графит өлшемі өзгереді -10~-20ум
Қаптау қалыңдығы ≥20um типтік мән (35um±10um)


TaC жабыны EDX деректері：

EDX data of TaC coating


TaC жабынының кристалдық құрылымының деректері:

Элемент Атомдық пайыз
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Орташа
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Тантал карбиді Кабиналы графит

Тантал карбиді Кабиналы графит

Тантал көмірсутегі қапталған кеуекті графит - жартылай өткізгішті өңдеу процесінде, әсіресе SIC Crystal өсу процесінде ажырамас емес өнім. Үздіксіз ғылыми-зерттеу және технологияны жаңартудан кейін, Ветек жартылай өткізгіштің TAC қапталған, кеуекті графит өнімдерінің сапасы еуропалық және американдық тұтынушылардан жоғары мақтауға ие болды. Әрі қарай консультацияға қош келдіңіз.
Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>
CVD TaC жабыны планеталық SiC эпитаксиалды сезімтал

CVD TaC жабыны планеталық SiC эпитаксиалды сезімтал

CVD TAC жабыны планетарлық SIC Epitaxial Supitaxial Suckceptor - бұл MOCVD планетарлық реакторының негізгі компоненттерінің бірі. Planetary SIC EPITAXIAL SICEPSPEPTOR арқылы CVD TAC жабыны арқылы, үлкен дискілер мен кішкене диск айналады, ал көлденең ағын моделі көп чип машиналарына, сонымен қатар жоғары сапалы эпитаксилі де, біртектің біркелкілігін басқару және бірыңғай -Хип-чиптер мен өндіріс шығындарының артықшылықтары. Егер сіз AixTron сияқты планетарлық MOCVD пештерін жасағыңыз келсе, бізге келіңіз!
Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>
TAC қапталған сақина

TAC қапталған сақина

Қытайда TAC жабық сақиналы өнімдерінің жетекші өндірушісі және жеткізушісі ретінде Ветек жартылай өткізгіш ғылыми-зерттеу жұмыстарына назар аударды және түрлі TAC жабыны өнімдерін шығаруға бағытталған. TAC жабыны өнімдерінің негізгі тұтынушылары ретінде еуропалық және американдық өндірушілер біздің жабық өнімдерімізге жоғары мадақ берді. Әрі қарай консультацияға қош келдіңіз.
Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>
Ган эпитакси

Ган эпитакси

Ветек жартылайдюсторы - бұл қытайлық компания, ол әлемдік деңгейдегі өндіруші және ган эпитакси сезімін өндіруші. Біз жартылай өткізгіш өнеркәсіпте, мысалы, кремний карбид-жабындары және ган эпитакси сезімін озық. Біз сізге керемет өнімдермен және қолайлы бағамен бере аламыз. Ветек жартылайдюсторы сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуыңызды асыға күтеді.
Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>
Tac қапталған вафли Сусептор

Tac қапталған вафли Сусептор

Vetek жартылай өткізгіш TAC ҚОСЫМША ҚОСЫМША ҚОСЫМША ҚОСЫМША СУСПОРТОР - бұл вафлидің сапасы мен өнімділігін жақсарту үшін силикон карбидсиалды өсіруге арналған графит науасы. Ветек өзінің кеңейтілген жабыны технологиясына және SIC EPITAXIY нәтижелеріне және ұзақ уақытқа созылған сезімтал өмірді қамтамасыз ету үшін таңдалады, сонымен қатар қосымша сұрағыңыз келеді.
Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>
TAC жабыны сақиналары

TAC жабыны сақиналары

Қытайда ұсынылған TAC жабынының жетекші өндірушісі ретінде Ветек Жартылай өткізгіш TAC SEMINISTORT TAC Қойылған бағыттаушы сақиналарда эпитаксиальды өсу кезінде газ жеткізілімінің нақты және тұрақты жеткізілімін қамтамасыз етеді және жартылай өткізгіштің эпитаксилі өсуіне арналған маңызды материал болып табылады. Бізбен кеңес алуға қош келдіңіз.
Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>
Кәсіби Тантал карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
Жаңалықтар бойынша ұсыныстар
Чипті өндірістік процестің толық түсіндірмесі (2/2): вафалаудан орау және сынау
Чипті өндірістік процестің толық түсіндірмесі (2/2): вафалаудан орау және сынауҚосымша көру >>
SIC Epitaxial өсу пешінің әртүрлі техникалық бағыттары
SIC Epitaxial өсу пешінің әртүрлі техникалық бағыттарыҚосымша көру >>
Тантал көмірсутегі технологиясы, SIC Epitaxial ластануы 75% төмендеді ме?
Тантал көмірсутегі технологиясы, SIC Epitaxial ластануы 75% төмендеді ме?Қосымша көру >>
Ветексемикон 2025 жылғы Шанхай жартылай халықаралық көрмесінде жарқырайды
Ветексемикон 2025 жылғы Шанхай жартылай халықаралық көрмесінде жарқырайдыҚосымша көру >>
Тайко процесін қаншалықты жұқа етуі кремнийді вафли жасай алады?
Тайко процесін қаншалықты жұқа етуі кремнийді вафли жасай алады?Қосымша көру >>
Жартылай өткізгішті өңдеуде SiC монокристалының өсуіне арналған CVD TaC жабу процесі қандай қиындықтарға тап болады?
Жартылай өткізгішті өңдеуде SiC монокристалының өсуіне арналған CVD TaC жабу процесі қандай қиындықтарға тап болады?Қосымша көру >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept