Өнімдер

Тантал карбиді жабыны

VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксия процесі кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.


Негізгі өнімдер болып табыладыTaC қапталған бағыттаушы сақина, CVD TaC қапталған үш жапырақты бағыттаушы сақина, Тантал карбиді TaC қапталған жарты ай, CVD TaC жабыны планеталық SiC эпитаксиалды сезімтал, Тантал карбиді қаптама сақинасы, Тантал карбидімен қапталған кеуекті графит, TaC жабынының айналу сенсоры, Тантал карбиді сақинасы, TaC жабынының айналмалы тақтасы, TaC қапталған вафельді сенсор, TaC қапталған дефлектор сақинасы, CVD TaC жабыны, TaC қапталған патронт.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.


TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:


Excellent properties of TaC coating graphite


Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.


Негізгі мүмкіндіктер:

 ●Температураның тұрақтылығы

 ●Ультра жоғары тазалық

 ●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі

 ●Жылу қорына төзімділік

 ●Графитке күшті адгезия

 ●Конформды жабу

 Диаметрі 750 мм-ге дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)


Қолданбалар:

 ●Вафельді тасымалдаушы

 ● Индуктивті қыздыру қабылдағыш

 ● Резистивті қыздыру элементі

 ●Спутниктік диск

 ●Душ басы

 ●Бағыттаушы сақина

 ●LED Epi қабылдағыш

 ●Инъекцияға арналған саптама

 ●Маска сақинасы

 ● Жылу қалқаны


Микроскопиялық көлденең қимадағы тантал карбиді (TaC) жабыны:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы 14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия 0.3
Термиялық кеңею коэффициенті 6.3 10-6
Қаттылық (HK) 2000 HK
Қарсылық 1×10-5Ом*см
Термиялық тұрақтылық <2500℃
Графит өлшемі өзгереді -10~-20ум
Қаптау қалыңдығы ≥20um типтік мән (35um±10um)


TaC жабыны EDX деректері

EDX data of TaC coating


TaC жабынының кристалдық құрылымының деректері:

Элемент Атомдық пайыз
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Орташа
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Тантал көмірсутегі қапталған сақина

Тантал көмірсутегі қапталған сақина

Қытайда кәрiкпен күрделі инноватор және көмірсутегі көлігінің көшбасшысы ретінде, Ветек жартылай өткізгіш тантал көмірсуларымен қапталған сақинасы SIC Crystal өсуінде өте жоғары температуралық тұрақтылығымен, төзімділігі мен керемет термиялық өткізгіштікпен алмастырылмайтын рөл атқарады. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.
Кеуекті танталға арналған карбид

Кеуекті танталға арналған карбид

Ветек жартылайдюсторы - бұл кәсіби өндіруші және Қытайда кеуекті танталға арналған карбид өнімдерінің жетекшісі. Кеуекті тантал карбиді әдетте химиялық будың тұндыру әдісі (CVD) әдісімен, оның тегінің мөлшерін және таралуын дәл бақылаудан және жоғары температуралы экстремалды ортаға арналған материалдық құрал болып табылады. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.
TaC жабынының бағыттаушы сақинасы

TaC жабынының бағыттаушы сақинасы

Vetek жартылай өткізгіштің TAC жабыны сақинасы графикалық карбид жабынын графикалық бөліктерге графит бөліктеріне қолданып, химиялық будың тұндыру (CVD) көмегімен жоғары жетілдірілген әдісті қолдану арқылы жасалады. Бұл әдіс жақсы құрылған және ерекше жабын қасиеттерін ұсынады. TAC жабыны бағыттаушы сақинасын пайдалану арқылы графит компоненттерінің қызмет ету мерзімі едәуір ұзартылуы мүмкін, графиттік қоспалардың қозғалысын басуға болады, ал SIC және AIN бірыңғай кристалды сапасы сенімді бола алады. Бізді сұрауға қош келдіңіз.
Карбид-сақина тантал

Карбид-сақина тантал

Қытайда дамыған өндіруші және тантал карбидінің сақинасы ретінде, Ветек Жартылай өткізгіш тантал көмірсуларымен тантал сақинасы өте жоғары қаттылыққа, тозуға төзімділікке, жоғары температураға төзімділікке және химиялық тұрақтылыққа ие және жартылай өткізгіш өндіріс алаңында кеңінен қолданылады. Әсіресе, CVD, PVD, Ион имплантация процесінде, процессте және вафлиді өңдеу және вафлиді өңдеу және тасымалдау, бұл жартылай өткізгіштерді өңдеу және өндіріске арналған ажырамас өнім. Сіздің одан әрі кеңесіңізді күтеміз.
Тантал карбидінің қаптамасы

Тантал карбидінің қаптамасы

Қытайдағы кәсіби тантал карбиді жабындысын қолдау өнімінің өндірушісі және зауыты ретінде VeTek жартылай өткізгішті тантал карбиді жабыны қолдауы әдетте құрылымдық компоненттердің немесе жартылай өткізгіш жабдықтағы тірек компоненттерінің бетін жабу үшін, әсіресе жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріндегі негізгі жабдық компоненттерінің бетін қорғау үшін қолданылады. CVD және PVD. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.
Тантал Карбид-бағыттағыш сақина

Тантал Карбид-бағыттағыш сақина

Ветек жартылайдюсторы - бұл Қытайда кәсіби өндіруші және тантал көлігінің бағыттаушы ринг өнімдерінің жетекшісі. Біздің тантал карбиді (TAC) бағыттаушы сақинасы - бұл көбінесе жартылай өткізгіш технологиялық қондырғыларда, әсіресе CVD, PVD, игеру және диффузия сияқты жоғары температуралы және жоғары коррозиялық ортада қолданылатын танталға арналған карбидден жасалған. Ветек Жартылай өткізгіш жартылай өткізгіш өнеркәсіптің озық технологиялары мен шешімдерін ұсынуға, сонымен қатар сіздің қосымша сұрақтарыңызды қолдайды.
Кәсіби Тантал карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept