TAC қапталған графитке арналған бағыттаушы сақина

TAC (Tantalum Carbide) қапталған графит бағыттаушы сақинасы - жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын сыни компонент, нақты процестерде эпитаксиалды тұндыру және плазмалық игеру сияқты сыни компонент. Бұл сақиналар кремнийді мықтап ұстауға және орналастыруға арналған, жоғары температуралы және қатал химиялық орталарда дәл туралау мен тұрақтылықты қамтамасыз етуге арналған. Біздің бағыттаушы сақиналарымыз заманауи жартылай өткізгішті дайындаудың қатаң талаптарына сай, технологиялық өнімді және вафлиді жақсартуға көмектеседі.

Материалдың құрамы және физикалық қасиеттері

Біздің TAC қапталған графиттік бағыттаушы сақинаның өзегі - бұл жоғары тазартылған графит сақинасы, ол содан кейін танталға (TAC) қабатымен қапталған.

Графит субстраты:

Графит бірнеше негізгі артықшылықтарды ұсынады. Бұл өте жақсы термиялық тұрақтылыққа ие, жартылай өткізгіштерді өңдеудегі жоғары температурада деформацияға қарсы тұрақтылыққа ие. Оның жеңіл табиғаты термиялық массаны азайтады, тез қыздыруға және салқындатуға мүмкіндік береді. Жоғары тазалық графиті технологиялық камераның ластануын болдырмайды.

CVD TAC жабыны:

Тантал карбидінің жабыны - бұл сақинаның ең жақсы жұмысының кілті. TAC - бұл өте қатты керамикалық материал, ерекше тозуға қарсы және химиялық инертті ұсынады. Ол базалық графитті агрессивті плазмалық және коррозиялық газдардан қорғайды, бұл сақинаның қызмет ету мерзімін едәуір ұзартады. Бұл жабын сонымен қатар бөлшектердің төгілуіне жол бермейді, бұл таза технологиялық ортаға ие болу және вафли бетіне ақаулардың алдын алу үшін маңызды.

Вафлиді өңдеудегі бағыттау сақиналарының рөлі

Біздің TAC жабдығы бағытталған бағыттаушы семинирустық өндірістің сапасы мен тиімділігін қамтамасыз етуде маңызды рөл атқарады.

● вафлиді туралау және тұрақтылық: Эпитаксиальды өсу немесе игеру кезінде бағыттау сақинасы вафлиді дәл ұстанымға итермелейді. Бұл вафлидің ауысуына жол бермейді, бұл біркелкі қабатты тұндыру және бүкіл вафли бетіне дәлірек ауысу үшін қажет.

● термиялық басқару: Графиттің және тантал көмірсуларының жылу қасиеттері жылу тарату мен басқаруды тиімді етеді. Бұл вафли арқылы бірыңғай температура профилін сақтау үшін өте маңызды, ол дәйекті кинофильмдер мен материалдық қасиеттерге қажет.

● Ластануды бақылау: Жоғары тазалық материалдары және берік TAC жабыны бөлшектерді өндіруді және одан тыс жерлерді азайтады. Бұл вафлидің ластану қаупін азайтады, жоғары құрылғының шығымдылығы мен сенімділігіне әкеледі.

● кеңейтілген құрамдас бөлік: Тантал көмірсуларының беріктігі плазмалық эрозияға және химиялық шабуылға өте жақсы қарсылық береді. Бұл бағыттаушы сақинаның операциялық өмірін кеңейтеді, техникалық қызмет көрсету уақытын қысқартады және меншіктің жалпы құнын төмендетуге мүмкіндік береді.