Карбид-сақина тантал

Ветек Жартылай өткізгіштің таңқаларлық карбид (TAC) сақинасы жоғары сапалы графитті негізгі материал ретінде пайдаланады және оның ерекше құрылымы арқасында, кристалды өсу пешінің төтенше жағдайларында оның пішінді және механикалық қасиеттерін сақтай алады. Графиттің жоғары ыстыққа төзімділігі оған бүкіл бойынша керемет тұрақтылық бередіКристалл өсу процесі.

Tac сақинасының сыртқы қабаты аТантал көмірсутегі жабыны, Өте қатты қаттылығымен, еріген нүктелерімен, еру және химиялық коррозияға жақсы төзімділікпен, оны әсіресе, оны әсіресе жоғары температуралы жұмыс ортасына қолайлы етеді. Тантал карбидінің жабыны күшті химиялық реакциялардың алдын алуға және графит өзегін жоғары температуралы пеш газдарымен бүлінбейді.

ІшіндеКремний карбид (SIC) кристалды өсу, тұрақты және біркелкі өсу шарттары жоғары сапалы кристалдарды қамтамасыз етудің кілті болып табылады. Тантал көмірсутек жабыны сақинасы газ ағынын реттеуде және пештің температурасын оңтайландыруда маңызды рөл атқарады. Газ бағыттаушы сақинасы ретінде TAC RINE жылу энергиясы мен реакция газдарын біркелкі таратып, SIC кристалдарының біркелкі өсуін және тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

Сонымен қатар, графиттің жоғары жылу өткізгіштігі тантал карбидінің қорғаныс әсерімен үйлесімділігі TAC Guide сақинасына SIC Crystal өсуіне қажетті жоғары температуралық ортада тұрақты жұмыс істеуге мүмкіндік береді. Оның құрылымдық беріктігі мен өлшемді тұрақтылығы пештегі жағдайды сақтау үшін өте маңызды, ол өндірілген кристалдардың сапасына тікелей әсер етеді. Пештегі жылу тербелістері мен химиялық реакцияларды азайту арқылы, TAC жабыны сақинасы жоғары өнімділігі жоғары жартылай өткізгіш қосымшаларға арналған керемет электронды қасиеттері бар кристалдарды құруға көмектеседі.

Ветек жартылай өткізгіштің көмірсутегі сақинасы - бұл негізгі компоненткремний карбидінің кристалды пештеріжәне оның керемет беріктігі, жылу тұрақтылығы және химиялық тұрақтылықты білдіреді. Оның графиттік ядро ​​мен TAC жабынының ерекше үйлесімі оған құрылымдық тұтастық пен қатал жағдайда жұмыс істеуге мүмкіндік береді. Пеш ішіндегі температура мен газ ағынын дәл басқару арқылы, TAC жабыны сақинасы жоғары сапалы SIC кристалдарын өндіруге қажетті жағдайларды қамтамасыз етеді, бұл жартылай өткізгіш құрамдас бөліктері үшін өте маңызды.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбид (TAC) жабыны：