Кеуекті тантал карбиді (TaC) қапталған графит сақинасы

Өнім ерекшеліктері

• Негізгі жабдық:PVT технологиясымен жұмыс істейтін SiC монокристалды өсіретін пештерге арналған.
• Негізгі қолдану:Үшінші буындағы жартылай өткізгіш SiC кристалының өсуіндегі жылу өрісі жүйелері үшін қолайлы.
• Жоғары температура тұрақтылығы:TaC жабыны ультра жоғары температура кезінде құрылымдық тұтастықты сақтайды, бұл талап етілетін жылу орталарында ұзартылған жұмысты қолдайды.
• Коррозиядан қорғау:Тығыз CVD TaC қабаты графит субстратын кремний буларынан, көміртегі бар газдардан және SiC өсуі кезінде кездесетін басқа коррозиялық түрлерден қорғайды.
• Жылу өрісінің өнімділігі:Кеуекті графит негізі жылуды таратуға және бу тасымалдауға көмектеседі, бұл тұрақты өсу жағдайларын сақтауға көмектеседі.
• Төмен ластану:Тазалығы жоғары бастапқы материалдар мен тығыз жабын қоспаның бөлінуін және бөлшектердің төгілуін шектеп, кристалл сапасына пайда әкеледі.
• Ұзартылған қызмет мерзімі:TaC қабаты тотығуға төзімділікті, бетінің қаттылығын және жоғары температурада жалпы төзімділікті жақсартады.
• Қаптаманың адгезиясы:CVD процесі TaC пленкасы мен графит субстраты арасында күшті байланыс береді.
• Арнаулы опциялар:Өлшемдерін, құрылымдық бөлшектерін және жабынның техникалық сипаттамаларын SiC өсу пешінің әртүрлі талаптарына сәйкес келтіруге болады.

Техникалық сипаттамалар

Қолданбалар

VETEK кеуекті TaC қапталған графит сақинасы негізінен мына жағдайларда қолданылады:

• PVT арқылы SiC монокристалының өсуі
• Үшінші буындағы жартылай өткізгіштер өндірісі
• SiC субстрат өндіру
• Кристаллды өсіретін пештердегі термиялық өріс жүйелері
• Жоғары температуралы жартылай өткізгішті өңдеу
• Жетілдірілген графит ыстық аймақ құрамдастары

Жиі қойылатын сұрақтар

1. Кеуекті TaC қапталған графит сақинасы дегеніміз не?

Бұл SiC кристалын өсіретін пештер үшін жылу өрісінің құрамдас бөлігі. Ол жылуды басқаруды және жоғары температуралық коррозиядан қорғауды қамтамасыз ету үшін кеуекті графит құрылымын CVD TaC жабынымен біріктіреді.

2. Неліктен SiC кристалының өсуі үшін TaC жабыны қолданылады?

TaC жоғары температура тұрақтылығын және химиялық төзімділікті қамтамасыз етеді. Ол графитті кремний буының шабуылынан қорғайды және таза, тұрақты өсу ортасын сақтауға көмектеседі.

3. Кеуекті графит құрылымы нені ұсынады?

Кеуекті конструкция пеш ішінде жылуды бөлуді және газ тасымалдауды қолдайды, бұл SiC кристалының тұрақты өсу жағдайларына ықпал етеді.

4. VETEK тапсырыс бойынша TaC қапталған графит сақиналарын шығара ала ма?

Иә. VETEK тұтынушы сызбаларына, пеш конструкцияларына және технологиялық қажеттіліктерге, соның ішінде өлшемдерге, негіз конфигурациясына және жабын параметрлеріне негізделген теңшеуді ұсынады.