CVD TAC жабыны вафли

Жартылай өткізгіштер кезінде Ветек жартылай өткізгіштеріCVD TAC жабыны вафлиВафлиді алып жүретін науа. Бұл өнім химиялық будың тұндыруын (CVD) қолданады (CVD) процесі TAC қабатын қаптауға арналғанВафли тасымалдаушы субстрат. Бұл жабын вафлиді тасымалдаушының тотығуы мен коррозияға төзімділігін едәуір жақсарта алады, ал өңдеу кезінде бөлшектердің ластануын азайту. Бұл жартылай өткізгіштерді өңдеудің маңызды құрамдас бөлігі.

Жартылай өткізгішті айналдырадыCVD TAC жабыны вафлисубстраттан тұрады және aТантал Карбид (TAC) жабыны.

Тантал көлігінің қалыңдығы, әдетте, 30 микрон диапазонында, ал TAC-тің еріген нүктесі, ал 3 880 ° C-тан жоғары, ал басқа қасиеттердің арасында өте жақсы коррозия мен тозуға төзімді.

Тасымалдаушының негізгі материалы жоғары тазалық графиттен жасалған немесеКремний карбид (SIC), содан кейін TAC қабаты (роғаның қаттылығы 2000 жж.) Бетіне коррозияға төзімділігі мен механикалық беріктігін жақсарту үшін квдтік процесс арқылы қапталған.

Вафли процесінде Ветек жартылайдеттеморыCVD TAC жабыны вафлиКелесі маңызды рөлдерді ойнатуы мүмкін:

1. Вафлиді қорғау

Физикалық қорғау Тасымалдаушы вафли және сыртқы механикалық зақымдану көздері арасындағы физикалық тосқауыл болып табылады. Вафли әр түрлі технологиялық жабдықтар арасында ауысқан кезде, мысалы химиялық - будың тұндыру камерасы (CVD) камерасы мен сызу құралы, олар сызаттар мен әсерге бейім. CVD TAC жабыны вафли тасымалы салыстырмалы түрде қатты және тегіс бетке ие, олар қарапайым және тегіс, вафли немесе өткір заттардың арасында тікелей тиіп кетеді, осылайша вафлиге зақым келу қаупін азайтады.

Химиялық қорғаныс TAC өте жақсы химиялық тұрақтылыққа ие. Әр түрлі химиялық тазарту кезінде вафли процесінде, мысалы дымқыл иттер немесе химиялық тазарту, CVD TAC жабыны химиялық заттардың тасымалдаушы материалмен тікелей байланысқа шығуына жол бермейді. Бұл вафлиді вафлиді коррозиядан және химиялық шабуылдан қорғайды, ластаушы заттарды вафлиден вафлиге бермейді, осылайша вафлидің вафли-вафли-вафлидің вафли-химиясының тұтастығын сақтайды.

2. қолдау және туралау

Тұрақты қолдау Вафлиді тасымалдаушы вафли үшін тұрақты платформа ұсынады. Вафтерлер жоғары температуралы өңдеуге немесе жоғары қысымды ортаға ұшырайтын процестерде, мысалы, емделуге арналған жоғары температура пешінде, тасымалдаушы вафлидің бұралуын немесе крекингтің алдын алу үшін вафлиді біркелкі қолдай алуы керек. Тасымалдаушының тиісті дизайны және жоғары сапалы жабыны вафлиге біркелкі стрессті таратуды қамтамасыз етеді, оның тегістігі мен құрылымдық тұтастығын сақтайды.

Нақты туралаудың дәл туралау әр түрлі литографиялық және тұндыру процестері үшін өте маңызды. Вафли тасымалдаушы дәл туралау ерекшеліктерімен жасалған. TAC жабыны бірнеше рет қолданғаннан кейін де, әр түрлі өңдеу жағдайларынан кейін де, уақыт өте келе бұл туралау мүмкіндіктерінің өлшемді дәлдігін сақтауға көмектеседі. Бұл вафлиді өңдеу жабдықтарында дәл орналастырылғанын қамтамасыз етеді, вафли бетіне жартылай өткізгіш материалдарды дәлдеуге және қабатты қоюға мүмкіндік береді.

3. Жылу беру

Көптеген вафли процестерінде жылуды біркелкі жылу бөлу, мысалы, жылу тотығу және CVD, температураны бақылау өте маңызды. CVD TAC жабыны вафли тасымалы жақсы жылу өткізгіштік қасиеттерге ие. Ол жылу жұмыстары кезінде ыстықты вафлиге біркелкі тасымалдай алады және салқындату процестері кезінде жылуды кетіреді. Бұл біркелкі жылу беріліс вафлиді вафлиді азайтуға, жылу кернеулерін азайтуға көмектеседі, бұл вафлиде жасалған жартылай өткізгіш құрылғылардың ақауларын тудыруы мүмкін.

Жақсартылған жылу беру тиімділігі The TAC жабыны вафли тасымалдаушының жалпы жылу беру сипаттамаларын жақсарта алады. Шығылмаған тасымалдаушылармен немесе тасымалдаушылармен салыстырғанда, басқа жабындары бар, TAC жабыны беті неғұрлым қолайлы беткейге ие болуы мүмкін - қоршаған ортаға және вафлидің өзін-өзі жылу алмасуға арналған қуат және құрылымы. Бұл өңдеу уақытын қысқартуға және вафли өндіріс процесінің өндірістік тиімділігін арттыруға болатын тиімді жылу берудің тиімділігін арттырады.

4. Ластануды бақылау

Төмен - шығыс қасиеттері, әдетте, TAC жабыны вафлидің таза ортасында өте маңызды, бұл өте маңызды. Вафли тасымалыдан ұшпа заттарды игеру вафли бетін және өңдеу ортасын ластайды, құрылғының істен шығуы және төмендетілген өнімділікке әкелуі мүмкін. CVD TAC жабынының төмен-шығыс табиғаты тасымалдаушының қажетсіз ластаушы заттарды процеске енгізбейді, жартылай өткізгіш өндірісінің жоғары сапалы талаптарын сақтай алмайтынын қамтамасыз етеді.

Бөлшектер - бос беті CVD TAC жабынының тегіс және біркелкі сипаты Тасымалдаушы бетіне бөлшектердің ұрпақтарының ықтималдығын азайтады. Бөлшектер өңдеу кезінде вафлиді ұстана алады және жартылай өткізгіш құрылғыларда ақауларды тудыруы мүмкін. Бөлшектердің ұрпағын азайту арқылы TAC жабыны вафли тасымалы вафлиді өндіріс процесінің тазалығын жақсартуға және өнімнің шығымдылығын арттыруға көмектеседі.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбид (TAC) жабыны:

CVD TAC жабынының негізгі физикалық қасиеттері：

Ол жартылай өткізгішCVD TAC жабыны вафли Тасымалдаушы өндіріс дүкендері: