Жаңалықтар

Вафли CMP жылтыратқышы - бұл жартылай өткізгіш өндірісінің CMP процесінде қолданылатын арнайы тұжырымдалған сұйық материал. Ол су, химиялық этчерс, абразивті және беттік белсенді заттар, химиялық игеру және механикалық жылтыратуға мүмкіндік береді.

Силикон Карбидке Абразивтер, әдетте, кварц пен мұнай кокс көмегімен бастапқы шикізат ретінде өндіріледі. Дайындық кезеңінде бұл материалдар химиялық тұрғыдан пештің зарядталуына дейін бөлшектердің қажетті мөлшеріне жету үшін механикалық өңдеуден өтеді.

Соңғы бірнеше жыл ішінде орау технологиясының орталық кезеңі біртіндеп «ескі технология» болып көрінді - CMP (химиялық механикалық жылтыратқыш). Гибридті байланыс жаңа қаптаманың жаңа буынының жетекші рөліне айналса, CMP сахна артында біртіндеп артқа қарай жылжуда.

Үйде және ас үй құрылғыларында үнемі дамып келе жатқан әлемде бір өнім өзінің инновациялары мен практикалық қолданылуына - кварц термос-шелегіне айтарлықтай назар аударды

Кварц өнімдері жартылай өткізгішті өндіретін процесте олардың жоғары тазалығына, температураға төзімділігіне және күшті химиялық тұрақтылықтан кеңінен қолданылады.

Кремний карбиді (SIC) кристалды өсу пеші келесі буындық жартылай өткізгіш құрылғыларға арналған жоғары сапалы ӘЖ-нің вафли өндірісінде маңызды рөл атқарады. Алайда, жоғары сапалы SIC кристалдарын өсіру процесі айтарлықтай қиындықтарды ұсынады. Термиялық градиенттерді басқарудан бастап кристалды ақауларды азайту, біркелкі өсуді қамтамасыз ету және өндіріс шығындарын бақылау және әр қадам, әр қадам озық инженерлік шешімдерді қажет етеді. Бұл мақалада SIC Crystal өсу пешінің техникалық мәселелерін бірнеше перспективалардан талдайды.