Жаңалықтар

Жартылай өткізгішті жоғары температуралық процестерде пластиналарды өңдеу, тіреу және термиялық өңдеу арнайы тірек құрамдас бөлікке - вафельді қайыққа сүйенеді. Процесс температурасы көтеріліп, тазалық пен бөлшектерді бақылау талаптары артқан сайын, дәстүрлі кварц пластинкалы қайықтар бірте-бірте қысқа қызмет ету мерзімі, жоғары деформация жылдамдығы және нашар коррозияға төзімділік сияқты мәселелерді анықтайды.

Кремний карбиді субстраттарын өнеркәсіптік ауқымда өндіру үшін бір реттік өсудің сәттілігі түпкілікті мақсат емес. Нақты қиындық әртүрлі партияларда, құралдарда және уақыт кезеңдерінде өсірілген кристалдардың жоғары тұрақтылық пен сапада қайталану деңгейін сақтауды қамтамасыз етуде жатыр. Бұл контекстте тантал карбидінің (TaC) жабынының рөлі негізгі қорғаныстан асып түседі — ол процесс терезесін тұрақтандырудың және өнімнің шығымдылығын сақтаудың негізгі факторына айналады.

​Кремний карбиді (SiC) PVT өсуі қатты термиялық циклді қамтиды (бөлме температурасы 2200 ℃ жоғары). Термиялық кеңею коэффициенттерінің (CTE) сәйкес келмеуіне байланысты жабын мен графит астары арасында пайда болатын орасан зор термиялық кернеу жабынның қызмет ету мерзімі мен қолдану сенімділігін анықтайтын негізгі мәселе болып табылады.

​Кремний карбиді (SiC) PVT кристалының өсу процесінде жылу өрісінің тұрақтылығы мен біркелкілігі кристалдың өсу жылдамдығын, ақау тығыздығын және материалдың біркелкілігін тікелей анықтайды. Жүйе шекарасы ретінде жылу өрісінің құрамдас бөліктері беттік термофизикалық қасиеттерді көрсетеді, олардың шамалы ауытқулары жоғары температура жағдайында күрт күшейеді, сайып келгенде өсу интерфейсінде тұрақсыздыққа әкеледі.

Физикалық буларды тасымалдау (PVT) әдісі арқылы кремний карбидінің (SiC) кристалдарын өсіру процесінде 2000–2500 °C шектен тыс жоғары температура «екі қырлы қылыш» болып табылады — ол бастапқы материалдарды сублимациялауды және тасымалдауды жүргізе отырып, сонымен қатар барлық кен орындарындағы металдар жүйесіндегі қоспалардың бөлінуін күрт күшейтеді. кәдімгі графит ыстық аймақ компоненттері. Бұл қоспалар өсу интерфейсіне енгеннен кейін олар кристалдың негізгі сапасына тікелей зиян келтіреді. Бұл тантал карбидінің (TaC) жабындарының PVT кристалының өсуі үшін «қосымша таңдау» емес, «міндетті нұсқаға» айналуының негізгі себебі.

Ветексемиконда біз күнделікті, алюминий оксидінің оксидтерін керамиканы өзгертетін осы сын-қатерлерді шарлаймыз, алюминий оксиді керамикасын нақты сипаттамаларға сәйкес келетін шешімдерге сәйкес келеміз. Дұрыс өңдеу және өңдеу әдістерін түсіну өте маңызды, өйткені дұрыс емес тәсіл қымбат қалдықтар мен компоненттердің жеткіліксіздігіне әкелуі мүмкін. Мүмкін болатын кәсіби әдістерді зерттейік.