Өнімдер

Кремний карбиді жабыны

VeTek Semiconductor компаниясы ультра таза кремний карбиді жабыны өнімдерін өндіруге маманданған, бұл жабындар тазартылған графитке, керамикаға және отқа төзімді металл компоненттеріне жағуға арналған.


Біздің жоғары тазалық жабындары бірінші кезекте жартылай өткізгіштер мен электроника өнеркәсібінде пайдалануға арналған. Олар MOCVD және EPI сияқты процестерде кездесетін коррозиялық және реактивті орталардан қорғайтын пластинаны тасымалдаушылар, қабылдағыштар және қыздыру элементтері үшін қорғаныс қабаты ретінде қызмет етеді. Бұл процестер пластинаны өңдеу мен құрылғыларды өндірудің ажырамас бөлігі болып табылады. Сонымен қатар, біздің жабындар вакуумды пештерде және жоғары вакуумдық, реактивті және оттегі орталары кездесетін үлгіні қыздыру үшін өте қолайлы.


VeTek Semiconductor компаниясында біз машина цехының жетілдірілген мүмкіндіктерімен кешенді шешімді ұсынамыз. Бұл бізге графит, керамика немесе отқа төзімді металдарды пайдаланып негізгі компоненттерді өндіруге және SiC немесе TaC керамикалық жабындарын өзімізде қолдануға мүмкіндік береді. Біз сондай-ақ әр түрлі қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін икемділікті қамтамасыз ете отырып, тұтынушы жеткізетін бөлшектерді жабу қызметтерін ұсынамыз.


Біздің кремний карбиді жабыны өнімдері Si эпитаксиясында, SiC эпитаксисінде, MOCVD жүйесінде, RTP/RTA процесінде, оюлау процесінде, ICP/PSS өңдеу процесінде, әртүрлі жарықдиодты түрлерінде, соның ішінде көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең УК-да кеңінен қолданылады. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI және жабдықтарына бейімделген жарықдиодты т.б. т.б.


Біз жасай алатын реактор бөліктері:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Кремний карбиді жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek жартылай өткізгіш кремний карбиді жабынының параметрі

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік Типтік мән
Кристалл құрылымы FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
SiC жабынының тығыздығы 3,21 г/см³
SiC жабыныҚаттылық 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі 2~10мкм
Химиялық тазалық 99,99995%
Жылу сыйымдылығы 640 Дж·кг-1· Қ-1
Сублимация температурасы 2700℃
Иілу күші 415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік 300Вт·м-1· Қ-1
Термиялық кеңею (CTE) 4,5×10-6К-1

CVD SIC ПЛОНКА КРИСТАЛДЫҚ ҚҰРЫЛЫМЫ

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Кремний карбидінің тығыздағыш сақинасы

Кремний карбидінің тығыздағыш сақинасы

Карбидтің кәсіби серіппесі ретінде Қытайдағы ветек пен зауыт ретінде, Ветек жартылай өткізгішті кремнистөрорлық семинирлік плиткон көміртегі сақинасы өте ыстық, коррозияға төзімділігі, механикалық беріктігі, механикалық беріктігі мен жылу өткізгіштікке байланысты. Бұл әсіресе температура мен реактивті газдарды, мысалы, CVD, PVD және плазмалық өңдеу сияқты процестерге жарамды және жартылай өткізгіш өндіріс процесінде негізгі материалдық таңдау болып табылады. Сіздің одан әрі сұраныстарыңыз құпталады.
SIC жабылған вафли ұстағыш

SIC жабылған вафли ұстағыш

Ветек жартылайдюсторы - бұл кәсіби өндіруші және SIC жабылған вафлидің вафли өнімдерінің жетекшісі. SIC жабылған вафли ұстаушы - бұл жартылай өткізгіштерді өңдеудегі эпитакси процесі үшін вафли ұстаушы. Бұл вафлиді тұрақтандыратын және эпитаксиальды қабаттың біркелкі өсуін қамтамасыз ететін алмастырылмайтын құрылғы. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.
EPI вафли ұстағышы

EPI вафли ұстағышы

Ветек жартылайдюсторы - бұл кәсіби EPI вафли иесі иесі өндірушісі және Қытайда зауыт. EPI вафли ұстаушысы - жартылай өткізгіштерді өңдеудегі эпитакси процесі үшін вафли ұстаушы. Бұл вафлиді тұрақтандырудың және эпитаксиальды қабаттың біркелкі өсуін қамтамасыз ететін негізгі құрал. Ол Epitaxy жабдықтарында, мысалы, MOCVD және LPCVD кеңінен қолданылады. Бұл эпитакси процесінде алмастырылмайтын құрылғы. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.
Aixtron спутниктік вафли-тасымалдаушысы

Aixtron спутниктік вафли-тасымалдаушысы

Vetek жартылай өткізгіштің Aixtron спутниктік вафли-тасымалдаушысы - бұл негізінен Mocvd процестерінде қолданылатын AIXTron жабдықтарында қолданылатын вафли тасымалдаушы, және әсіресе жоғары температуралы және жоғары дәлдікті жартылай өткізгішті өңдеу процестеріне сәйкес келеді. Тасымалдаушы Mocvd Epitaxial өсуі кезінде тұрақты вафлиді және бірыңғай пленка тұндыруын қамтамасыз ете алады, бұл қабатты тұндыру процесі үшін қажет. Әрі қарайғы кеңес беріңіз.
LPE жартыжылдық-эпи реакторы

LPE жартыжылдық-эпи реакторы

Ветек жартылайдюсторы - бұл кәсіби LPE жарты жылдық SIC EPI реакторлары өндірушісі, инноватор және Қытайда көшбасшы. LPE HAPTMON SIC EPI реакторы - бұл жоғары сапалы кремний карбидін (SIC) өндіруге арналған, негізінен жартылай өткізгіш өнеркәсіпте қолданылады. Әрі қарайғы сұрауларыңызға қош келдіңіз.
SiC Coating Epi қабылдағышы

SiC Coating Epi қабылдағышы

VeTek Semiconductor - Қытайдағы SiC Coating Epi Susceptor өнімдерінің жетекші өндірушісі, инноваторы. Көптеген жылдар бойы біз SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating ALD сенсоры және т.
Кәсіби Кремний карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept