CVD SIC жабыны графиті

CVD SIC жабыны графигі Сусепторы жартылай өткізгіш өнеркәсіпте жоғары дәлдікті өндіріс үшін арнайы жасалған. Графит субстраты температурасы жоғары, бұл жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі және тотығу кедергісі бар, жоғары температура мен вакуумдық ортада тұрақты жұмыс істей алады. Бұл тұғыр, ВАФВД, PECVD, PVD және басқа да жабдықтарда вафли және басқа да жоғары дәлдіктегі материалдарды өңдеуге және өңдеуге арналған басқа да жабдықтар бар.

Негізгі артықшылықтары:

● Жоғары температура тұрақтылығы: Жоғары тазалық графиттің өзі керемет термиялық тұрақтылыққа ие. SIC жабынымен қапталғаннан кейін, ол температураның жоғары экстремалды орталарына төтеп бере алады және жартылай өткізгіштерді өңдеудегі жоғары температура процестеріне жарамды.

● Бұрышиондық қарсылық: CVD SIC жабыны қышқыл және сілтілі коррозияға төзімді және CVD процесінде ұзақ қызмет ету мерзімі болуы мүмкін.

● Биік hТұрақты және тотығу кедергісі: CVD SIC жабыны материалдың тұрақтылығын сақтау үшін жоғары температураға төзімділігі, скратч қарсылығы және тотығуға төзімділігі жоғары.

● Жақсы жылу өткізгіштік: Графиттік субстрат пен CVD-дің CIT-пен үйлесімі базаны ыстықты тиімді жүргізуге және өндіріс тиімділігін арттыруға мүмкіндік беретін керемет жылу өткізгіштікке ие етеді.

Өнім сипаттамалары:

● Материал: Графит субстраты + CVD дискісі

● Қаптау қалыңдығы: Клиенттердің қажеттіліктеріне сәйкес реттелуі мүмкін

● Қолданылатын орта: жоғары температура, вакуумдық, коррозиялық газ ортасы

Реттелген қызмет:

Біз клиенттердің әртүрлі жабдықтары мен процестерінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін жоғары бейімделген қызметтерді ұсынамыз. Тапсырыс берушінің нақты өтініші бойынша, әр түрлі жабыны бар графит негіздері, беткі процедуралар және дәлдік деңгейлері қамтамасыз етілуі мүмкін.

Ветексеми әрқашан CVD кремний карбид-жабыны индустриясында жұмыс істеп, өнеркәсіптік жетекші CVD-ді графиттік-графиттік-графитті өндіріс деңгейі мен өндіріс деңгейі бар. Егер сізге көбірек өнім туралы ақпарат немесе теңшелген қызметтер қажет болса, Ветек Жартылай өткізгішке хабарласыңыз, біз сізге шын жүректен кәсіби қолдау көрсетуге кеңес береміз.

SIC SIC Chinc Crystal құрылымының SEM деректері:

Ол жартылай өткізгішCVD-дің графиті графигін сорғыш дүкендері: