Өнімдер

Кремний карбиді жабыны

VeTek Semiconductor компаниясы ультра таза кремний карбиді жабыны өнімдерін өндіруге маманданған, бұл жабындар тазартылған графитке, керамикаға және отқа төзімді металл компоненттеріне жағуға арналған.


Біздің жоғары тазалық жабындары бірінші кезекте жартылай өткізгіштер мен электроника өнеркәсібінде пайдалануға арналған. Олар MOCVD және EPI сияқты процестерде кездесетін коррозиялық және реактивті орталардан қорғайтын пластинаны тасымалдаушылар, қабылдағыштар және қыздыру элементтері үшін қорғаныс қабаты ретінде қызмет етеді. Бұл процестер пластинаны өңдеу мен құрылғыларды өндірудің ажырамас бөлігі болып табылады. Сонымен қатар, біздің жабындар вакуумды пештерде және жоғары вакуумдық, реактивті және оттегі орталары кездесетін үлгіні қыздыру үшін өте қолайлы.


VeTek Semiconductor компаниясында біз машина цехының жетілдірілген мүмкіндіктерімен кешенді шешімді ұсынамыз. Бұл бізге графит, керамика немесе отқа төзімді металдарды пайдаланып негізгі компоненттерді өндіруге және SiC немесе TaC керамикалық жабындарын өзімізде қолдануға мүмкіндік береді. Біз сондай-ақ әр түрлі қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін икемділікті қамтамасыз ете отырып, тұтынушы жеткізетін бөлшектерді жабу қызметтерін ұсынамыз.


Біздің кремний карбиді жабыны өнімдері Si эпитаксиясында, SiC эпитаксисінде, MOCVD жүйесінде, RTP/RTA процесінде, оюлау процесінде, ICP/PSS өңдеу процесінде, әртүрлі жарықдиодты түрлерінде, соның ішінде көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең УК-да кеңінен қолданылады. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI және жабдықтарына бейімделген жарықдиодты т.б. т.б.


Біз жасай алатын реактор бөліктері:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Кремний карбиді жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek жартылай өткізгіш кремний карбиді жабынының параметрі

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік Типтік мән
Кристалл құрылымы FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
SiC жабынының тығыздығы 3,21 г/см³
SiC жабыныҚаттылық 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі 2~10мкм
Химиялық тазалық 99,99995%
Жылу сыйымдылығы 640 Дж·кг-1· Қ-1
Сублимация температурасы 2700℃
Иілу күші 415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік 300Вт·м-1· Қ-1
Термиялық кеңею (CTE) 4,5×10-6К-1

CVD SIC ПЛОНКА КРИСТАЛДЫҚ ҚҰРЫЛЫМЫ

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Аль-жоғары

Аль-жоғары

Ветек жартылайдюсторы - Қытайдың кәсіби ALD сезімтrer өндірушісі. Ветек бірлесіп ALD процесінің жоғары талаптарын қанағаттандыру үшін ALD жүйесін өндірушілермен бірге SIC жабылған ALD планетарлық негіздерін жасады және өндірді. Консультацияңызды қарсы алыңыз.
CVD SIC CELIVE

CVD SIC CELIVE

Ветек Жартылай өткізгіштің CWD CWD Ceic Ceible-де жоғары температураға төзімділік, коррозияға төзімділік, жоғары қаттылық, жоғары қаттылық және жылу кеңейту коэффициенті, оны жартылай өткізгіш өндірісінде тамаша материалдық таңдау жасайды. Қытай жетекші CVD-ді жетекші CEIM жабылған төбе өндірушісі және жеткізушісі ретінде Ветек жартылайдақтары сіздің кеңесіңізді күтеді.
MOCVD EPI Сусчефтер

MOCVD EPI Сусчефтер

Ветек Жартылай өткізгіш - бұл Қытайдағы Mocvd Leed EPI Succeptor компаниясының кәсіби өндірушісі. Біздің MOCVD LED EPI Succeptor Epitaxial жабдықтарын талап етуге арналған. Оның жоғары жылу өткізгіштігі, химиялық тұрақтылық пен беріктік эпитаксиальды өсудің тұрақты процесі мен жартылай өткізгіш кино өндірісінің негізгі факторлары болып табылады.
SIC жабыны аль-сезімтал

SIC жабыны аль-сезімтал

SIC жабыны ALD Susceptor - бұл атомдық қабаттардың тұндыруында (ALD) қолданылатын қолдау компоненті. Ол ALD жабдықтарында шешуші процестің біркелкілігі мен дәлдігін қамтамасыз ете отырып, басты рөл атқарады. Біздің ALD Planetary сезімталды өнімдеріміз сізге сапалы өнімнің жоғары сапалы шешімдерін әкелуі мүмкін деп санаймыз.
CVD SIC жабыны

CVD SIC жабыны

Vetek CVD-дің квдақ, негізінен SI эпитаксиінде қолданылады. Ол әдетте кремнийді ұзартқыш баррельдермен бірге қолданылады. Ол жартылай өткізгіштік өндіріске ауа ағынының біркелкі таралуын едәуір жақсартатын, CVD SIC жабынының ерекше жоғары температурасы мен тұрақтылығын біріктіреді. Біздің өнімдеріміз сізге озық технологиялар мен жоғары сапалы өнімнің шешімдерін әкелуі мүмкін деп санаймыз.
CVD SIC графиті цилиндрі

CVD SIC графиті цилиндрі

Ветек жартылай өткізгіштің CVD CIT SIC графит цилиндрі жоғары температура мен қысым параметрлерінде ішкі бөліктерді қорғау үшін реакторлардағы қорғаныс қалқаны ретінде қызмет етеді. Ол химиялық заттардан және қатты жылудан, жабдықтың тұтастығын сақтайды. Ерекше тозу мен коррозияға қарсы тұрақтылықпен бұл қиын ортада ұзақ өмір сүруді және тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Осы қақпақтарды пайдалану жартылай өткізгіш құрылғының жұмысын жақсартады, қызмет ету мерзімін ұзартады және техникалық қызмет көрсетуге қойылатын талаптар мен зақымдану қаупін тудырады.
Кәсіби Кремний карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept