Өнімдер

Кремний карбиді жабыны

VeTek Semiconductor компаниясы ультра таза кремний карбиді жабыны өнімдерін өндіруге маманданған, бұл жабындар тазартылған графитке, керамикаға және отқа төзімді металл компоненттеріне жағуға арналған.


Біздің жоғары тазалық жабындары бірінші кезекте жартылай өткізгіштер мен электроника өнеркәсібінде пайдалануға арналған. Олар MOCVD және EPI сияқты процестерде кездесетін коррозиялық және реактивті орталардан қорғайтын пластинаны тасымалдаушылар, қабылдағыштар және қыздыру элементтері үшін қорғаныс қабаты ретінде қызмет етеді. Бұл процестер пластинаны өңдеу мен құрылғыларды өндірудің ажырамас бөлігі болып табылады. Сонымен қатар, біздің жабындар вакуумды пештерде және жоғары вакуумдық, реактивті және оттегі орталары кездесетін үлгіні қыздыру үшін өте қолайлы.


VeTek Semiconductor компаниясында біз машина цехының жетілдірілген мүмкіндіктерімен кешенді шешімді ұсынамыз. Бұл бізге графит, керамика немесе отқа төзімді металдарды пайдаланып негізгі компоненттерді өндіруге және SiC немесе TaC керамикалық жабындарын өзімізде қолдануға мүмкіндік береді. Біз сондай-ақ әр түрлі қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін икемділікті қамтамасыз ете отырып, тұтынушы жеткізетін бөлшектерді жабу қызметтерін ұсынамыз.


Біздің кремний карбиді жабыны өнімдері Si эпитаксиясында, SiC эпитаксисінде, MOCVD жүйесінде, RTP/RTA процесінде, оюлау процесінде, ICP/PSS өңдеу процесінде, әртүрлі жарықдиодты түрлерінде, соның ішінде көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең УК-да кеңінен қолданылады. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI және жабдықтарына бейімделген жарықдиодты т.б. т.б.


Біз жасай алатын реактор бөліктері:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Кремний карбиді жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek жартылай өткізгіш кремний карбиді жабынының параметрі

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік Типтік мән
Кристалл құрылымы FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
SiC жабынының тығыздығы 3,21 г/см³
SiC жабыныҚаттылық 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі 2~10мкм
Химиялық тазалық 99,99995%
Жылу сыйымдылығы 640 Дж·кг-1· Қ-1
Сублимация температурасы 2700℃
Иілу күші 415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік 300Вт·м-1· Қ-1
Термиялық кеңею (CTE) 4,5×10-6К-1

CVD SIC ПЛОНКА КРИСТАЛДЫҚ ҚҰРЫЛЫМЫ

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
CVD SIC жабыны саптамасы

CVD SIC жабыны саптамасы

CVD SIC жабыны саптамалары LPE SIC Epitaxy процесінде қолданылатын өте маңызды компоненттер, жартылай өткізгіш өндіріс кезінде кремний карбид материалдарын салуға арналған. Бұл саңылаулар әдетте қатал өңдейтін ортадағы тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін жоғары температуралы және химиялық тұрақты кремний карбидінен жасалған. Біркелкі тұндыруға арналған, олар жартылай өткізгіш қосымшаларда өсірілген эпитаксиальды қабаттардың сапасы мен біркелкілігін бақылауда шешуші рөл атқарады. Әрі қарай сұрағыңыз келеді.
CVD SIC жабыны қорғаушысы

CVD SIC жабыны қорғаушысы

Ветек Жартылай өткізгіштің CVD-дегі CVD-дегі Protecter - LPE SIC Epitaxy, «LPE» термині әдетте төмен қысымды химиялық бумен (LPCVD) төмен қысымды эпитакссияға (LPE) қатысты. Жартылай өткізгішті өндірісте, LPE кремсоның эпитаксиалды қабаттарын немесе басқа жартылай өткізгіштің эпитаксилі қабаттарын өсіру үшін жиі қолданылатын жалғыз кристалды жұқа қабықшаларды өсірудің маңызды процесінің технологиясы болып табылады.
Sic жабылған тұғыр

Sic жабылған тұғыр

Ветек жартылайдюсторы CVD CIC жабыны, графит және кремний карбид материалында TAC жабынымен кәсіби маман. Біз OEM және ODM өнімдерін SIM және ODM өнімдерін, вафли, вафли-вафли, вафли-вафли-вафли және т.б., планетарлық диск және т.ғ.д. 1000-ге дейін тазарту құрылғысы және тазарту құрылғысы, біз сізге 5ppm-дан төмен, ал алға ұмтыламыз. жақын арада.
SiC жабынының кіріс сақинасы

SiC жабынының кіріс сақинасы

Ветек жартылай өткізгіш өз клиенттерімен бірлесіп, белгілі қажеттіліктерге бейімделген SIC жабыны үшін қолөнер бомбалау конструкцияларына жақындасады. Бұл SIC жабыны қалтас сақинасы CVD SIC жабдықтары және кремний карбидінің эпитакси сияқты әр түрлі қосымшалар үшін мұқият жобаланған. Тіркелген SIC жабыны үшін құйылған сақина шешімдері үшін, жеке көмек алу үшін Ветек жартылайдюсторына шығудан тартынбаңыз.
SiC қапталған тірек сақинасы

SiC қапталған тірек сақинасы

Ветек жартылайдоморы, негізінен, негізінен SIC жабылған сақиналар, CVD кремний карбиді (SIC) жабындары, тантал карбиді (TAC) жабындары шығаратын кәсіби компания өндірушісі және жеткізушісі. Біз бізбен байланысуға қош келдіңіздер, бізде жақсы техникалық қолдау және түпкілікті техникалық қолдауды және түпкілікті техникалық қолдауды ұсынамыз.
Вафель Чак

Вафель Чак

Вафлидің вафли-қысқыш құралын жартылай өткізгіштермен қысқыш құралы және PVD, CVD, ETCH және басқа процестерде кеңінен қолданылады. Үйдегі өндірістік, бәсекеге қабілетті баға, және сенімді ғылыми-зерттеу жұмыстарымен, R & D қолдауымен, Ветек жартылай өткізгішті дәл компоненттерге арналған OEM / ODM қызметтеріндегі OEM / ODM қызметтеріне қосады.
Кәсіби Кремний карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept