SiC жабыны жарты ай графит бөліктері

SIC Epitaxial өсу пешігінің реакциялық камерасында SIC жабыны жарты қыс графит бөліктері газ ағынын таратуды, жылу өрісін басқаруды және реакцияның атмосферасын оңтайландырудың негізгі компоненттері болып табылады. Олар әдетте SIC жабынынан жасаладыграфит,жарты ай пішінінде жобаланған, субстрат аймағын қоршап тұрған реакциялық камераның жоғарғы және төменгі графит бөліктерінде орналасқан.

    •Жоғарғы жарты графит бөлігі: реакциялық камераның жоғарғы бөлігінде, газ кірісінің жанында орнатылған, реакция газының субстрат бетіне қарай ағуын бағыттауға жауапты.

    •Төменгі жарты ай графит бөлігі: Реакция камерасының төменгі жағында орналасқан, әдетте, субстрат ұстағыштан төмен, газ ағынының бағытын бақылау және субстраттың түбіндегі жылу өрісі мен газ таратуды оңтайландыру үшін қолданылады.

кезіндеSiC эпитаксия процесі, Жоғарғы айдың графиті бөлігі газ ағынын субстратқа біркелкі бөлуге көмектеседі, бұл субстратқа біркелкі бөлінеді, газдың субстрат бетіне тікелей әсер етуі және ауа ағынының немесе ауа ағынының алқабын тудыруы мүмкін. Төменгі жарты айдың графиті бөлігі газға субстрат арқылы біртіндеп ағып кетуге, содан кейін ағып кетуге мүмкіндік береді, содан кейін турбуленттілік эпитаксиальды қабаттың біркелкілігіне әсер етуі мүмкін.

Термиялық өрісті реттеу тұрғысынан SIC жабыны жарты қыс графит бөліктері реакция камерасындағы қызуды пішіні мен позициясы арқылы біркелкі таратуға көмектеседі. Жоғарғы жарты графит бөлігі субстраттың үстіндегі температураның тұрақты болуын қамтамасыз ету үшін жылытқыштың жарқын жылуын тиімді көрсетеді. Төменгі жарты айдың графиті бөлігінде де осындай рөлге ие, сонымен қатар температураның шамадан тыс айырмашылықтарын болдырмас үшін субстраттың астындағы жылуды біркелкі таратуға көмектеседі.

SIC жабыны компоненттерді жоғары температураға және термиялық өткізгіштерге төзімді етеді, сондықтан ветек жартылай өткізгіштің жарты қыста бөлшектері ұзақ қызмет ету мерзімі бар. Мұқият жобаланған, SIC Epitaxy үшін жарты айлық графиттік бөліктеріміздің жартылай өткізгішті өндіріс процесінің жалпы тиімділігі мен сенімділігін арттыруға көмектеседі. SIC жабынының жартысында графит бөліктері қажет болса да, Vetek жартылай өткізгішке хабарласыңыз.

СусемиSiC жабыны жарты ай графит бөлшектер дүкендері: