Кремний карбиді жабыны

Ветексемиконның душқа арналған душ қабылдаған CVD-дің душ қабылдаған басы - жартылай өткізгіш химиялық бумен тұндыру (CVD) процестеріне арналған жоғары өнімді компонент. Жоғары тазалық графиттен жасалған және химиялық бумен тұндыру (CVD) (CVD) кремний карбидімен (SIC) жабынымен қорғалған, бұл душтың басы төзімділігі, жылу тұрақтылығы және коррозиялық өңделген газдармен қарсылық береді. Сіздің одан әрі кеңесіңізді күтеміз.

Ветексемиконның вафлиді иесі кремний карбидінің вафли ұстаушысы, мысалы, MOCVD, LPCVD және жоғары температуралы тазарту сияқты жартылай өткізгіш процестердегі дәл және өнімділік үшін жобаланған. Бірыңғай CVD CIT жабынымен, бұл вафлидің иесі ерекше жылу өткізгіштік, химиялық инерстік және механикалық беріктігін қамтамасыз етеді - ластану, ақысыз, жоғары өнімді вафлиді өңдеу үшін қажет.

Ветексемикон, жартылай өткізгіштер үшін арнайы жасалған, арнайы жабдықталған жабдықтар, ерекше коррозияға қарсы тұрақтылық пен жылу тұрақтылығы үшін арнайы жасалған жоғары тазалық

Жетекші Қытай өндірушісі және кремний карбидінің жабыны жеткізушісі ретінде Ветексемиконның SIC қапталған, SIC жабылған SIC қапталған вафли-вафли өзінің жоғары температуралы тұрақтылығымен, ерекше коррозияға төзімділігі және жоғары жылу өткізгіштікпен айналысатын негізгі рөл атқарады.

Ветексемиконның CVD-дің вафли-экспенкцепторы - бұл ультра жоғары тазалық (≤100ppb, ICP-e10 сертификатталған) және ган, СИК, силиконға негізделген эпи-қабаттардың ластануына төзімді жылу / химиялық тұрақтылықты және ерекше жылу / химиялық тұрақтылықты білдіреді. Дәлдік CVD технологиясымен жобаланған, ол 6 «/ 8» / 12 »вафлиді қолдайды, минималды термиялық стрессті қамтамасыз етеді және 1600 ° C-қа дейін температураға төтеп береді.

Біздің SIC жабылған планетарлық сезімталдық - жартылай өткізгіш өндірісінің жоғары температуралы процесінде негізгі компонент. Оның дизайны графит субстратын жылу менеджменті, химиялық тұрақтылық және механикалық беріктікті жан-жақты оңтайландыруға қол жеткізу үшін кремнитті карбид жабынымен үйлеседі.