SIC шеткі сақина

Жартылай өткізгіш өндірісі саласында, SIC Edge сақиналары, вафлиді өңдеудің негізгі компоненттері ретінде өндірістік ландшафтқа өздерінің материалдық қасиеттерімен айналып отырады. Кремний карбидінен жасалған осы дәл компоненттің мәні біртұтас кристалдардан жасалған, сонымен қатар оның жоғары технологиялық мазмұнымен ғана емес, сонымен қатар ол чип өндірушілерге әкелуі мүмкін, сонымен қатар кірістілік пен кірістіліктің едәуір жақсаруында.

SIC шеткі қоңыраудың құрылымдық сипаттамалары

Силикон карбидінің жиек сақиналары жартылай өткізгіштің негізгі тұтынушы компоненттері болып табылады және химиялық будың тұндыру әдісімен (CVD) дайындалған жоғары тазалыққа арналған кальцийлі материалдардан жасалған. Оның диаметрі әдетте 200-450 мм, ал қалыңдығы келесі сипаттамалары бар 5-15 мм ішінде басқарылады:

1.Extreme Төзімділігі: жоғары температуралы ортаға 1500 ℃-ны төтеп бере алады

2. Плазмалық тұрақтылық: диэлектрлік тұрақты 9.7, бұзылу кернеуі 3MV / см

3

Өндірістік процестегі серпіліс

Қазіргі заманғы дайындық процесі үш сатылы әдісті қолданады:

1. Матрица қалыптастыру: Изостатикалық басу құрастыру біркелкі тығыздықты қамтамасыз етеді

2. Жоғары температуралы спутник: 2100-де инертті атмосферада тығыздатуды емдеу

3. Жер үсті модификациясы: Наноскаледен қорғайтын қабаттар реактивті ионмен (RIE) арқылы құрылады. Соңғы зерттеулер көрсеткендей, кремний карбидінің екі есе, 3% бормен қапталған, алайда 3% -ға артты, ал вафли ластану деңгейі 0,01-ге дейін төмендейді

Қолдану сценарийлері

Бұл 5NM-ден төмен процестердегі ирепарлылық көрсетеді:

2

3. Ластануды бақылау: Бұл дәстүрлі кварц материалдарымен салыстырғанда металды ластануды 92% -ға азайтады

4. Техникалық қызмет көрсету циклы: ол CF4 / O2 плазмасындағы 1500 сағат бойы үздіксіз жұмыс істей алады

Ветексемикон шығындарды отандық өндірістегі отандық өндірісте үлкен жетістіктерге жетті, бұл шығындар көп шығындарды үнемдеуге мүмкіндік береді. Кез-келген уақытта бізбен хабарласыңыз!