Өнімдер

Кремний карбиді жабыны

VeTek Semiconductor компаниясы ультра таза кремний карбиді жабыны өнімдерін өндіруге маманданған, бұл жабындар тазартылған графитке, керамикаға және отқа төзімді металл компоненттеріне жағуға арналған.


Біздің жоғары тазалық жабындары бірінші кезекте жартылай өткізгіштер мен электроника өнеркәсібінде пайдалануға арналған. Олар MOCVD және EPI сияқты процестерде кездесетін коррозиялық және реактивті орталардан қорғайтын пластинаны тасымалдаушылар, қабылдағыштар және қыздыру элементтері үшін қорғаныс қабаты ретінде қызмет етеді. Бұл процестер пластинаны өңдеу мен құрылғыларды өндірудің ажырамас бөлігі болып табылады. Сонымен қатар, біздің жабындар вакуумды пештерде және жоғары вакуумдық, реактивті және оттегі орталары кездесетін үлгіні қыздыру үшін өте қолайлы.


VeTek Semiconductor компаниясында біз машина цехының жетілдірілген мүмкіндіктерімен кешенді шешімді ұсынамыз. Бұл бізге графит, керамика немесе отқа төзімді металдарды пайдаланып негізгі компоненттерді өндіруге және SiC немесе TaC керамикалық жабындарын өзімізде қолдануға мүмкіндік береді. Біз сондай-ақ әр түрлі қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін икемділікті қамтамасыз ете отырып, тұтынушы жеткізетін бөлшектерді жабу қызметтерін ұсынамыз.


Біздің кремний карбиді жабыны өнімдері Si эпитаксиясында, SiC эпитаксисінде, MOCVD жүйесінде, RTP/RTA процесінде, оюлау процесінде, ICP/PSS өңдеу процесінде, әртүрлі жарықдиодты түрлерінде, соның ішінде көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең УК-да кеңінен қолданылады. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI және жабдықтарына бейімделген жарықдиодты т.б. т.б.


Біз жасай алатын реактор бөліктері:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Кремний карбиді жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek жартылай өткізгіш кремний карбиді жабынының параметрі

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері
Меншік Типтік мән
Кристалл құрылымы FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
SiC жабынының тығыздығы 3,21 г/см³
SiC жабыныҚаттылық 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме)
Астық өлшемі 2~10мкм
Химиялық тазалық 99,99995%
Жылу сыйымдылығы 640 Дж·кг-1· Қ-1
Сублимация температурасы 2700℃
Иілу күші 415 МПа RT 4-нүкте
Жас модулі 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
Жылу өткізгіштік 300Вт·м-1· Қ-1
Термиялық кеңею (CTE) 4,5×10-6К-1

CVD SIC ПЛОНКА КРИСТАЛДЫҚ ҚҰРЫЛЫМЫ

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
SiC жабыны монокристалды кремний эпитаксиалды науа

SiC жабыны монокристалды кремний эпитаксиалды науа

SiC жабыны монокристалды кремний эпитаксиалды науасы - ең аз ластануды және тұрақты эпитаксиалды өсу ортасын қамтамасыз ететін монокристалды кремний эпитаксиалды өсу пеші үшін маңызды қосалқы құрал. VeTek Semiconductor компаниясының SiC жабыны монокристалды кремний эпитаксиалды науасы өте ұзақ қызмет ету мерзіміне ие және әртүрлі теңшеу опцияларын ұсынады. VeTek Semiconductor сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді.
Қатты SIC вафли тасымалы

Қатты SIC вафли тасымалы

Ветек жартылай өткізгіштің қатты СИК вафли-тасымалдаушысы жартылай өткізгіш эпитакситтік процестердегі жоғары температура мен коррозияға төзімді орталарға арналған және жоғары тазалыққа қатысты вафли шығаратын процестердің барлық түрлеріне арналған. Ветек жартылайдюсторы - Қытайда жетекші вафлиді жеткізуші және жартылай өткізгіш өнеркәсіп саласындағы ұзақ мерзімді серіктес болуға үміттенеді.
Mocvd үшін SIC жабылған жерсеріктік қақпағы

Mocvd үшін SIC жабылған жерсеріктік қақпағы

MOCVD-ге арналған SIC жабылған жерсеріктік қақпағы вафлидің жоғары температураға төзімділігі, тамаша коррозияға төзімділігі мен көрнекті тотығу кедергісіне байланысты жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз етуде алмастырылмайтын рөл атқарады.
Қатты SIC Диск тәрізді душ

Қатты SIC Диск тәрізді душ

Ветек жартылайдюсторы - бұл Қытайдағы жетекші жартылай өткізгіш жабдық өндірушісі және қатты душ тәрізді қатты душ тәрізді жетекші. Диск пішінді душтың бастығы біздің реакция газының біркелкі таралуын қамтамасыз ету және CVD пештің негізгі компоненттерінің бірі болып табылатын CVD процесі сияқты жіңішке пленкалық тұндыру өндірісінде кеңінен қолданылады.
CVD SIC вафли баррель ұстағыш

CVD SIC вафли баррель ұстағыш

CVD-дің жабылған вафли баррель ұстағыш - бұл Эпитаксиальды өсу пешінің негізгі құрамдас бөлігі, бұл Эпитаксиальды өсу пешінің негізгі құрамдас бөлігі, бұл Эпитакситтік өсу пештерінде кеңінен қолданылады. Ветек жартылайдюстор сізге жоғары бейімделген өнімдерді ұсынады. CVD-дің қандай қажеттіліктері үшін қандай қажеттіліктер үшін болмасын, вафли баррельді ұстаушыға арналған, бізбен кеңес алуға қош келдіңіз.
CVD SIC жабыны баррель Сусептор

CVD SIC жабыны баррель Сусептор

Vetek жартылай өткізгіш CVD баррелі баррельді сорғыш болып табылады, баррельдің баррельдік пештің негізгі компоненті, баррельдің өсуі үшін баррельдік сықырлық, эпитаксиальды өсімдіктердің сапасы едәуір жақсартылған. Жартылай өткізгіш сіздермен жартылай өткізгіш өнеркәсіпте тығыз кооперативті байланыс орнатуды асыға күтеді.
Кәсіби Кремний карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept