Жартылай өткізгіш класты кварц қоңырауы

Жартылай өткізгіш класстағы кварц қоңырауы құмырасы жоғары таза кварц материалынан жасалған. Ол тамаша термиялық тұрақтылыққа және күшті коррозияға төзімділікке ие және көптеген салаларда қолданылады. Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде: Жартылайөткізгіш сортты кварц қоңырауы банкі химиялық буларды тұндыру (CVD) кезінде пластиналардағы жұқа қабықшаны тұндыру үшін бақыланатын ортаны қамтамасыз етеді. Жартылай өткізгіш класстағы кварц қоңырауы банкі оптикалық жабындарды, металл жабындарды және жұқа үлбірлі материалдардың басқа түрлерін өндіру сияқты вакуумдық технологияны қажет ететін процестерде де қолданылады. Жартылай өткізгішті классикалық кварц қоңырауы құмырасы жоғары тазалықты, вакууммен жабылған ортаны қажет ететін көптеген физикалық және материалтану эксперименттерінде қажет.

Жартылай өткізгішті өнеркәсіпті пайдалану сценарийлері:

Полисилиций - интегралды схемаларда, күн батареяларында және басқа салаларда кеңінен қолданылатын көптеген ұсақ түйіршіктерден тұратын кремний материалы. Химиялық буларды тұндыру (CVD) поликристалды кремнийді дайындаудың негізгі әдістерінің бірі болып табылады. Негізгі принцип SiH4 сияқты кремний көзінің газы жоғары температурада ыдырап, поликристалды кремнийді қалыптастыру үшін субстратқа қойылады:

SiHCl3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

Жоғары температура және вакуум жағдайында кремний көзі газы химиялық будың тұнбасына жіберілді. Соңында поликристалды кремний алынды. Жартылай өткізгіш классты кварц қоңырауы банкі поликристалды кремний CVD реакторының маңызды бөлігі болып табылады.

Поликристалды кремнийлі CVD реакторы

CVD жоғары температуралық реакциясы кезінде жартылай өткізгіш класстағы кварц қоңырау банкасы біркелкі жылу ортасын қамтамасыз ете алады. Жоғары тазалықтағы кварц материалының жоғары температураға төзімділігі (шамамен 1100°C дейінгі температураға төтеп бере алады) оның CVD реакцияларында тұрақты жұмыс істеуіне және реакция аймағында температураның біркелкі таралуын қамтамасыз етуге мүмкіндік береді. CVD процесінде PH3 және т.б. сияқты көптеген улы газ құрамдастары бар. Жартылай өткізгіш класстағы кварц қоңырауы банкі зиянды газдың ағып кетуіне жол бермеу үшін реакция камерасындағы химиялық газдарды сыртқы ортадан тиімді түрде оқшаулай алады. Жоғары тазалықтағы кварц материалының коррозияға төзімділігі басқа материалдарға CVD процесінде ұзақ уақыт тұрақты жұмыс істеуге мүмкіндік береді және оңай тот баспайды немесе зақымдалмайды.

Кварц Bell JAR кварцты жылуды сақтау түтігімен және тік кварцтық қайықпен бірге қолданылады және көбінесе жартылай өткізгішті интеграцияланған схемамен жабдықталған эпитаксиальды процесінде қолданылады. Эпитаксилі пеш, әдетте, тік кварц қайықының сыртында тік құрылымды, Quartz Bell JAR және Quartz жылуды сақтау түтігін қолдау ретінде қабылдайды.

Жартылай өткізгішті жоғары температуралы ортадағы кварц қоңырауының тағы бір әдеттегі қолданылуы: ортодонтиялық бөліктер партиясын дәнекерлеуге арналған инертті атмосферада 1 секунд ішінде 704 ℃ дейін қыздыру:

Ветек жартылайдюсторының жетілген техникалық тобы бар. Қандай пішінді немесе жоғары тазалық кварцтың материалы сізге қажет болса, сізге қажет болса, біз сізге оны сізге бейімдей аламыз.

Ветек Жартылай өткізгіш өнімдері дүкендері: