Өнімдер

Ветексемиконның CVD-дің вафли-экспенкцепторы - бұл ультра жоғары тазалық (≤100ppb, ICP-e10 сертификатталған) және ган, СИК, силиконға негізделген эпи-қабаттардың ластануына төзімді жылу / химиялық тұрақтылықты және ерекше жылу / химиялық тұрақтылықты білдіреді. Дәлдік CVD технологиясымен жобаланған, ол 6 «/ 8» / 12 »вафлиді қолдайды, минималды термиялық стрессті қамтамасыз етеді және 1600 ° C-қа дейін температураға төтеп береді.

Біздің SIC жабылған планетарлық сезімталдық - жартылай өткізгіш өндірісінің жоғары температуралы процесінде негізгі компонент. Оның дизайны графит субстратын жылу менеджменті, химиялық тұрақтылық және механикалық беріктікті жан-жақты оңтайландыруға қол жеткізу үшін кремнитті карбид жабынымен үйлеседі.

Біздің кеуекті Sic Cericals - бұл арнайы компонент ретінде кремний карбидінен жасалған кеуекті керамикалық материалдар, арнайы процестермен өңделген. Олар жартылай өткізгіштерді, химиялық бумен тұндыру (CVD) және басқа процестердегі бөлшектелген материалдар.

Эпитаксиге арналған SIC жабылған герметикалық сақинасы графитке немесе көміртекті композиттерге негізделген, ол графиттің термиялық тұрақтылығымен (CIT) негізіндегі герметикалық композиттер (CIT), ол графиттің термиялық тұрақтылығымен (SIC) және жартылай өткізгіштің эпитаксикалық жабдықтарына арналған (мысалы, моквд, Мбе).

Біздің биік тазалығы кварцтық қайық Quartz-тен жасалған (SiO₂ content ≥ 99,99%). Экстремалды ортаға өте жақсы қарсылық, жылу кеңею коэффициенті және ұзақ өмірлік цикл, ол жартылай өткізгіштер мен жаңа энергетикалық салаларда алынатын маңызды болып табылады.

Покустық сақина процесті дәлдік пен тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін негізгі компонент болып табылады. Бұл компоненттер вакуумдық бөлмесінде вакуумдық құрылыстарда вафли-бетіне наноскале конструкцияларын біркелкі өңдеу үшін, плазмалық үлестірме, жиек температурасы және электр өрісінің біркелкілігін нақты бақылау.