Sic қапталған эпитаксиальды реактор камерасы

Жалпы өнім туралы ақпарат

Өнімдегі бизнес шарттары

Қолдану: Veteksemicon SIC APitaxial Reacher камерасы жартылай өткізгіштің эпитакситтік процестерін талап етуге арналған. Өте таза және тұрақты жоғары температуралы ортаға ие болу арқылы ол SIC және GAN эпитакситтік вафлидің сапасын едәуір жақсартады, бұл оны жоғары өнімді қуат чиптері мен RF құрылғыларын шығарудың негізгі негізін құрайды.

Ұсынылатын қызметтер: Клиенттерді қолдану сценарийін талдау, сәйкес материалдар, техникалық мәселелерді шешу.

Компанияның профилі: Ветексемиконның 2 зертханасы, 20 жылдық материалдық тәжірибесі бар сарапшылар тобы, ғылыми-зерттеу және өндірістік, тестілеу және тексеру мүмкіндіктері бар.

Менің қарсыласым SIC APitaxial Reactor Reactor Came Corem негізгі артықшылықтары

1. Супер коррозияға төзімділік

Ветексемиконның реакциясы камерасы субстрат бетіне өте тығыз, жоғары тазартылған кремний карбидінің жабынын қою үшін меншікті CVD процесін қолданады. Бұл жабық HCL және H2 сияқты жоғары температуралы коррозиялық газдардың эрозиясының эрозиясына, әдетте, эпитаксиальды процестерде кездеседі, бұл ұзақ мерзімді қолданылғаннан кейін дәстүрлі графикалық компоненттерде болуы мүмкін беттік кеуектілік және бөлшектердің төгілуі мәселелерін түбегейлі шешеді. Бұл сипаттама реакция камерасының ішкі қабырғасының жүздеген сағаттық үздіксіз жұмыс істегеннен кейін, камералық ластанудан туындаған вафли ақауларын едәуір азайтады.

2. Жоғары температура тұрақтылығы

Кремний карбидінің керемет жылу қасиеттерінің арқасында, бұл реакция камерасы 1600 ° C-қа дейін үздіксіз жұмыс істейтін температураға оңай түсуі мүмкін. Оның жылу кеңеюінің өте төмен коэффициенті компоненттері жылу шаршап, салқындату кезінде термиялық стресстің жинақталуын азайтуға мүмкіндік береді, бұл жылу шаршауынан туындаған микрокректер мен құрылымдық зақымдануды болдырмайды. Бұл керемет жылу тұрақтылығы эпитаксиальды процестерге, әсіресе, жоғары температуралы орталарды қажет ететін эпитаксиальды процестерге, әсіресе SIC Homoepitaxy үшін маңызды процесс бар терезе мен сенімділікке кепілдік береді.

3. Жоғары тазалық және ластану

Біз эпитаксиальды қабаттың сапасының күрделі әсерін құрылғының соңғы өнімділігіне жақсы білеміз. Сондықтан Ветексемиконның ең жоғары ықтимал тазалыққа ұмтылады, бұл оның 99,9995% -дан астамына жетеді. Мұндай жоғары тазалық металл қоспалардың (мысалы, FE, CR, NI және т.б.) жоғары температурадағы технологиялық атмосфераға көшіп, бұл қоспалардың эпитаксиальды қабатының сапасына әсерін болдырмайды. Бұл жоғары өнімді, жоғары сапалы, сенімділігі жоғары, жоғары деңгейдегі өткізгіштер мен радио жиіліктік құрылғыларды жасау үшін қатты материалдық негіз қалайды.

4. Ұзақ өмірлік дизайн

Кесілген немесе кәдімгі графит компоненттерімен салыстырғанда, SIC жабындыларымен қорғалған реакция камералары бірнеше есе ұзақ қызмет ету мерзімін ұсынады. Бұл, ең алдымен, корпусты жан-жақты қорғауға байланысты, коррозиялық технологиялық газдармен тікелей байланыстың алдын алу. Бұл ұзақ қызмет өтетін қызмет өзекті кепілдікке тікелей тиімділікке аударылады, клиенттер жабдықты тоқтап, қосалқы бөлшектерді сатып алуды және пайдалану шығындарын азайтып, жұмысқа орналасу шығындарын, мысалы, өндірістің жалпы шығындарын тиімді түрде төмендетеді.

5. Экологиялық тізбекті тексеруді растау

Менің қарсыласым SIC EPitaxial Reviever «Экологиялық тізбекті тексеру» экологиялық тізбегі Өнімге шикізат жабады, халықаралық стандартты сертификаттаудан өтті және оның жартылай өткізгіштерінде және жаңа энергетикалық алқаптарда сенімділігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін бірқатар патенттелген технологиялар бар.

Техникалық сипаттамалар, ақ қағаздар немесе сынама тексерулер үшін ветексемиконның сіздің процессіңіздің тиімділігін арттыру үшін техникалық қолдау тобына хабарласыңыз.