SIC жабыны коллексаторлары

Ветек жартылай өткізгіш - өндіруші - өндіруші - жоғары сапалы қамтамасыз етуCVD TAC жабыныжәне CVD-дің жабыны коллекторының түбі және Aixtron жабдықтарымен бірге жұмыс істейді. Процесті оңтайландыруда немесе жаңа өнімді әзірлеуде болсын, біз сізге техникалық қолдау көрсетуге және кез-келген сұрақтарға жауап беруге дайынбыз.

Өнімнің негізгі функциясы

Технологиялық тұрақтылық кепілдігі

Температура градиенті: ±1.5℃/cm@1200℃

Ағынды өрісті оңтайландыру: Арнайы арна дизайны 92,6% -ға дейін газды бөлуді реакция жасайды

Жабдықты қорғау механизмі

Қос қорғау:

Термиялық соққы буфері: жылдам температураны 10 ℃ / S

Бөлшектердің алынуы: Тұтқалар> 0,3 мкм тұнбалары

Кесу технологиясы саласында

Барлық процестердің сапасын бақылау

Өндірістік бақылау жүйесі

Шикізат көзі: Жапониядан келген Токай / Тойо графиті, Германиядан келгенше

Сандық егіз бақылау: әр компонент процессордың тәуелсіз параметрлер базасына сәйкес келеді

Қолдану сценарийі:

Үшінші буын жартылай өткізгішті өндірісі

Сценарий: 6 дюймдік SIC Epitaxial өсуі (қалыңдығы 100-150 мкм бақылау)

Үйлесімді модель: Aixtron G5 WW / CRIUS II

AIxron-ды қолдану арқылы SIC жабылған коллекторы, Коллекторлық орталық және SIC жабылған коллектор және жартылай өткізгіш өндіріс процестеріндегі химиялық қорғау және химиялық қорғауға қол жеткізуге болады, фильмнің өсу ортасы оңтайландыруға болады, ал пленканың сапасы мен дәйектілігін жақсартуға болады. Aixtron жабдықтарындағы осы компоненттердің үйлесуі тұрақты технологиялық жағдайларды және тиімді жартылай өткізгіш өндірісті қамтамасыз етеді.

SIC CMD фильмдерінің SEM деректері