Жаңалықтар

CVD SIC - бұл химиялық будың тұндыру арқылы шығарылған жоғары сапалы кремний карбиді материалы. Ол негізінен жартылай өткізгіш қондырғылардағы түрлі компоненттер мен жабындар үшін қолданылады. Төмендегі мазмұн - бұл өнімнің жіктемесіне және CVD CIC негізгі функцияларына кіріспе

Бұл мақала негізінен жартылай өткізгіштерді өңдеудегі TAC жабынының өнім түрлерін, өнім сипаттамаларын және негізгі функцияларын енгізеді және TAC жабыны өнімдерін кешенді талдау және түсіндіру жұмыстарын жасайды.

Бұл мақала негізінен жартылай өткізгішті өңдеуде MOCVD сезімталдық өнімдерінің, өнімнің сипаттамаларын, өнім сипаттамаларын және негізгі функцияларын енгізеді және тұтастай алғанда MOCVD сезімталдық өнімдерін кешенді талдау және түсіндіру жұмыстарын жасайды.

SiC кристалды өсіретін пеште PVT қалай жұмыс істейтінін табыңыз. WuYi TianYao New Material Tech.Co.,Ltd компаниясынан сублимация, массалық тасымалдау және кристалдардың өсуінің техникалық талдауы.

Кеуекті тантал карбиді (TaC) қапталған графит сақинасы – SiC монокристалының физикалық буының тасымалдануы (PVT) үшін әзірленген арнайы термиялық өріс компоненті. Жоғары тазалықтағы кеуекті графитті тығыз CVD тантал карбиді жабынымен біріктіре отырып, ол жоғары температура тұрақтылығын, коррозиядан қорғауды, бақыланатын жылу бөлуді және төмен ластануды қамтамасыз етеді. Бұл мақалада оның құрылымы, техникалық артықшылықтары, қолданбалары, спецификациялары және жартылай өткізгішті және SiC кристалды өсіретін жабдықты таңдау мәселелері түсіндіріледі.

GTMS/CTMS герметикалық тығыздау процестеріне бағытталған VeTek 0,01 ㎡ үшін 1500 тығыз орналасқан микро тесігі бар арнайы графит бекіткіш шешімдерін ұсынады. Ковар қорытпасы CTE-ге дәл сәйкес келеді, 10 ай ішінде көп саңылауларды микроөңдеу қиындықтарын жеңіп, микрон деңгейіндегі нөлдік ақауларды бақылауға және инженерлік технологияны бір терезе арқылы жеткізуге қол жеткізді.

Қарқынды дамып келе жатқан жартылай өткізгіш өнеркәсібінде дәл материалдар пластинаны өңдеу сапасын және өндіріс тиімділігін тікелей анықтайды. VETEK жартылай өткізгішті өндірудің озық процестеріне арналған, жоғары өнімділігі жоғары таза кварцты вафлиді қайықпен қамтамасыз етеді, вафельді өндірудің күрделі орталары үшін тамаша термиялық тұрақтылықты, химиялық төзімділікті және ластануды бақылауды ұсынады.

Шыны тәрізді көміртекті графитпен қапталған тигель – жартылай өткізгіштерді өндіру, кристалдардың өсуі, вакуумды термиялық өңдеу және жоғары температурада материалды зерттеу сияқты талап етілетін қолданбаларға арналған озық термиялық өңдеу компоненті. Бұл мақала оның құрылымын, артықшылықтарын, қолданбаларын және таңдау мәселелерін түсіндіреді. VeTek Semiconductor заманауи өндірістердің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін шыны тәрізді көміртекті жабын технологиясын дәл графит өндірумен біріктіретін жоғары өнімді тигель шешімдерін ұсынады.

Жартылай өткізгіштер өндірісі барған сайын жетілдірілген технологиялық түйіндерге қарай жылжыған сайын, материал тазалығы мен термиялық тұрақтылық бұрынғыдан да маңыздырақ болды. Гипертаза графитті қатты киіз кристалды өсіретін пештер, эпитаксиалды реакторлар, кремний карбиді өндіру жүйелері және басқа да жоғары температура қолданбалары үшін ең сенімді оқшаулағыш материалдардың бірі ретінде пайда болды.

SiC диффузиялық пеш түтігі ерекше термиялық тұрақтылығының, химиялық төзімділігінің және ұзақ қызмет ету мерзімінің арқасында заманауи жартылай өткізгіштер өндірісінің маңызды құрамдас бөлігі болды. Бұл мақала VeTek диффузиялық пештің өнімділігін арттыратын, пластинаның сапасын жақсартатын және жалпы өндіріс шығындарын азайтатын кеңейтілген SiC шешімдерін қалай беретінін зерттейді. Сіз оның құрылымын, артықшылықтарын, қолданбаларын, техникалық сипаттамаларын және неліктен дәстүрлі кварц пен алюминий оксиді түтіктерін көбірек ауыстыратынын білесіз.

Жартылай өткізгішті өндіру, кристалды өсіру технологиясы және алдыңғы қатарлы материалды өңдеу дамып келе жатқандықтан, өте таза және термиялық тұрақты компоненттерге сұраныс айтарлықтай өсті. Осы маңызды компоненттердің ішінде шыны тәрізді көміртегімен қапталған графит тигелі жоғары температура және жоғары тазалық орталары үшін ең сенімді шешімдердің бірі ретінде пайда болды.

Жартылай өткізгіштер өндірісі жоғары дәлдікке, тазалыққа және термиялық тұрақтылыққа қарай дамитындықтан, жетілдірілген жабын материалдары технологиялық жабдықтың маңызды компоненттеріне айналды. Олардың ішінде тантал карбиді жабын сақинасы жоғары температураға, коррозияға, плазмалық эрозияға және бөлшектердің ластануына ерекше төзімділігімен ерекшеленеді.

Қолжетімді технологиялардың ішінде үлкен өлшемді қарсылық қыздыратын SiC кристалды өсіретін пеш консистенциясы мен тиімділігі жоғарылаған үлкен диаметрлі, аз ақаулы SiC кристалдарын өндіру үшін маңызды шешім ретінде пайда болды. Бұл мақала осы технологияның қалай жұмыс істейтінін, оның артықшылықтарын, қолданбаларын және сала көшбасшыларының Veteksemi инновациялық шешімдеріне неге сенетінін зерттейді.

ASM үшін SiC жабынымен қапталған графит сенсоры эпитаксистік жүйенің ішіндегі ауыстыру бөлігі ғана емес. Бұл жылу біркелкілігіне, пластинаның тазалығына, жабынның беріктігіне, камераның тұрақтылығына және ұзақ мерзімді өндіріс құнына әсер ететін процесс үшін маңызды тасымалдаушы.

CVD TaC жабыны тек қорғаныс қақпағы немесе қапталған графит құрамдас бөлігі емес. Жоғары температурадағы жартылай өткізгіш процестерде ол камера тазалығына, термиялық тұрақтылыққа, бөліктің қызмет ету мерзіміне және процестің консистенциясына әсер етуі мүмкін.

PECVD өндірісінде көптеген жабу және тұндыру мәселелері плазма қуатымен немесе газ химиясынан басталмайды. Олар пластиналарды ұстайтын тасымалдаушыдан басталады.