Жаңалықтар

Бұл мақала негізінен кремний карбиді керамикасының кең қолдану перспективаларын сипаттайды. Ол сондай-ақ кремний карбидті керамикадағы агломерациялық сызаттардың пайда болу себептерін және сәйкес шешімдерді талдауға бағытталған.

Жартылай өткізгішті өндірудегі ою технологиясы көбінесе өнім сапасына әсер ететін жүктеу эффектісі, микро ойық эффекті және зарядтау эффектісі сияқты мәселелерге тап болады. Жақсарту шешімдері плазма тығыздығын оңтайландыруды, реакция газының құрамын реттеуді, вакуумдық жүйенің тиімділігін арттыруды, литографияның ақылға қонымды орналасуын жобалауды, сондай-ақ штамптау маскасының тиісті материалдары мен процесс шарттарын таңдауды қамтиды.

Ыстық қысылу - жоғары сапалы SIC керамикасын дайындаудың негізгі әдісі. Ыстық басу процесі мыналарды қамтиды: жоғары температураны таңдау, жоғары температура және жоғары температура мен жоғары қысымды, содан кейін қысылып, ішу. Осы әдіспен дайындалған SIC керамикасы жоғары тазалық пен тығыздықтың артықшылығы бар және оларды ұнтақтау үшін дискілер мен жылу өңдеу жабдықтарында кеңінен қолданылады.