EPI жақтаушысы

Ветек Жартылай өткізгіш - Қытай ЭПИ кәсіби лидері, ALD Planetary Tugor және TAC жабылған графитті қолдау өндірушісі. жіне Біздің EPI қолдауы маңызды құрамдас бөлігі болып табыладыЭпитаксиалды өсуЖартылай өткізгішті өндіріс процесінде. Оның негізгі функциясы - вафлиді қолдау және жылыту - жоғары сапалы эпитаксиалды қабат вафли бетіне біркелкі өсетін етіп.

Vetek жартылай өткізгіштерінің эпи сезімталды сорттары, әдетте, жоғары тазалық графиттен жасалған және кремний карбидінің қабаты бар (SIC).Бұл дизайн келесі негізгі артықшылықтарға ие:

● Жоғары температура тұрақтылығы: Эпи сезімтеті эпитаксиальды қабаттың біркелкі өсуін қамтамасыз ететін жоғары температуралық ортада тұрақты болып қалуы мүмкін.

● Коррозияға төзімділік: SIC жабыны өте жақсы коррозияға төзімділігі бар және науаның қызмет ету мерзімін ұзартуға, химиялық газдардың эрозиясына қарсы тұра алады.

● Жылу өткізгіштік: SIC материалының жоғары жылу өткізгіштігі ыстықта вафлидің біркелкі таралуын қамтамасыз етеді, осылайша эпитаксиальды қабаттың сапасын жақсартады.

● Жылуларды кеңейту коэффициенті: SIC жылу кеңею коэффициенті графитке ұқсас, жылу кеңеюі мен жиырылуына байланысты жабын төгуге кедергі келтірмейді.

Негізгі физикалық қасиеттеріCVD SIC жабыны:

CVD SIC жабыны өндірісі дүкені:

Жартылай өткізгіш чипке шолу Epitaxy Industry Желілік: