Aixtron MOCVD рецепторы

Сусанургиясы шығарадыОл жартылай өткізгішграфит субстратынан және кремний карбидінен (SiC) жабын материалынан жасалған. SiC материалының жоғары тозуға төзімділігін, коррозияға төзімділігін және өте жоғары қаттылығын ескере отырып, ол қатал технологиялық орталарда пайдалану үшін әсіресе қолайлы. Сондықтан, Vetek Semiconductor шығарған Сусцепторларды қосымша бет өңдеусіз жоғары температуралы MOCVD процестерінде тікелей қолдануға болады.

Суцепторлар жартылай өткізгіштер өндірісіндегі, әсіресе жұқа қабықшаларды тұндыру процестеріне арналған MOCVD жабдығында негізгі компоненттер болып табылады. басты рөліAIXTRON: сондықтан қолдауMocvd процесінде жартылай өткізгіштік вафлиді алып жүр, жұқа қабықшалардың біркелкі және сапалы тұндыруын қамтамасыз етеді, сонымен қатар біркелкі жылу бөлу мен реакция ортасын қамтамасыз етеді, осылайша жоғары сапалы жұқа қабық өндірісіне қол жеткізіңіз.

Aixtron Mocvd Sopportslyәдетте тұндыру процесінде пластинаның тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін жартылай өткізгіш пластиналар негізін қолдау және бекіту үшін қолданылады. Сонымен қатар, Aixtron MOCVD Susceptor бетінің жабыны жоғары жылу өткізгіш материал болып табылатын кремний карбидінен (SiC) жасалған. SiC жабыны пластинаның бетінде біркелкі температураны қамтамасыз етеді және біркелкі қыздыру жоғары сапалы пленкаларды алу үшін өте маңызды.

Оның үстіне,Aixtron Mocvd SopportslyБіз материалдардың оңтайландырылған дизайны арқылы реактивті газдардың ағынын және таралуын бақылауда үлкен рөл атқы шығарамыз. Фильмдердің біркелкі тұндыруына қол жеткізу үшін EDDY токтарынан және температуралық градиенттерден аулақ болыңыз.

Ең бастысы, MOCVD процесінде кремний карбиді (SiC) жабын материалы коррозияға төзімділікке ие, сондықтанОл жартылай өткізгішныңAixtron Mocvd Sopportslyжоғары температура мен коррозиялық газдарға да төтеп бере алады.

Негізгі физикалық қасиеттеріSIC жабыны:

Ветек жартылайдюсторы вафли Кофер дүкендері:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу: