Тантал көмірсулар жабыны

Ветек жартылайдюсторының негізгі функциясыТантал Карбид (TAC) жабыныҚолдау - жақсартуЖылуға төзімділік, тозуға төзімділік және коррозияға төзімділіксубстратқа процестің дұрыстығы мен сенімділігін арттыру және компоненттердің қызмет ету мерзімін ұзарту үшін тантал көмірсуларының қабатын жабу арқылы субстрат кіреді. Бұл жартылай өткізгіштерді өңдеу саласында қолданылатын жоғары өнімді жабыны өнім.

Ветек Жартылай өткізгіштің көмірсулы жабыны Суппороспордың қаттылығы 9 ~ 10-дың қаттылығы, тек гауһарға дейін. Бұл өте күшті тозуға төзімділігі бар және өңдеу кезінде бетінің тозуы мен әсеріне әсер етеді, осылайша жабдық компоненттерінің қызмет ету мерзімін тиімді түрде ұзартады. 3880 ° C-қа жуық балқыту нүктесімен біріктіріледі, ол көбінесе жартылай өткізгіш жабдықтардың негізгі компоненттерін, мысалы, тірек құрылымдарының, термиялық жабдықтардың, жылу өңдеу қондырғыларының, щеткамен жабдықтау, камералар немесе тығыздағыш жабдықтар, оның тозуы және жоғары температуралық тұрақтылықты арттыру үшін қолданылады.

3880 ° C болатын тантал көлігінің өте жоғары балқуының арқасында, мысалы, жартылай өткізгішті өңдеу процестеріндеХимиялық будың тұнбасы (CVD)жінеФизикалық будың тұнбасы (PVD), TAC жабыны жоғары температуралы және химиялық коррозияға қарсы тұрақтылықпен жабдықталған компоненттерді тиімді қорғайды және вафли өндірісінде жоғары температуралық ортада тиімді қорғауды қамтамасыз етеді. Бұл мүмкіндік сонымен қатар Ветек жартылай өткізгіштің тантал көмірсутегі жабынының қолдауы көбінесе дәнекерлеу және коррозиялық процестерде қолданылатынын анықтайды.

Тантал карбидінің жабын қолдауы бөлшектердің ластануын азайту функциясы бар. Вафлиді өңдеу кезінде, беттік тозу әдетте бөлшектердің ластануын шығарады, бұл вафлидің өнімінің сапасына әсер етеді. TAC жабынының экстремалды өнімі 9-10 жас аралығындағы тығыздағыштың қаттылығы бұл тозуды тиімді түрде азайта алады, осылайша бөлшектердің пайда болуын азайтады. TAC жабынының тамаша жылу өткізгіштігімен (шамамен 21 Вт / м / м.), Ол жоғары температуралы өткізгіштікті жоғары температуралы өткізгіштік сақтай алады, осылайша вафли өндірісінің кірістілігі мен дәйектілігін едәуір жақсартады.

Vetek жартылай өткізгіштің негізгі TAC жабыныTAC жабыны жылытқышы, CVD TAC жабыны, TAC жабыны ротациясы СусепторжінеTAC жабыны қосалқы бөліктіжәне т.с.с., және теңшелген өнім қызметтерін қолдайды. Ветек жартылай өткізгіш жартылай өткізгіш өнеркәсіпке арналған тамаша өнімдер мен техникалық шешімдерді ұсынуға дайын. Біз Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуға шын жүректен үміттенеміз.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбид (TAC) жабыны:

CVD TAC жабынының негізгі физикалық қасиеттері：