Өнеркәсіп жаңалықтары

Жоғары таза кварц материалдары жартылай өткізгіш өнеркәсібінде маңызды рөл атқарады. Олардың жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі, термиялық тұрақтылығы және жарық өткізгіштік қасиеттері оларды маңызды шығын материалдарына айналдырады. Кварц өнімдері өндіріс процесінің тұрақтылығы мен тазалығын қамтамасыз ете отырып, вафли өндірісінің жоғары температуралы және төмен температуралы аймақтарында компоненттер үшін қолданылады.

Жаһандық энергетикалық ауысумен, AI төңкерісімен және жаңа буын ақпараттық технологиялар толқынымен кремний карбиді (SiC) өзінің ерекше физикалық қасиеттерінің арқасында «әлеуетті материалдан» «стратегиялық негізгі материалға» жылдам дамыды.

Жартылай өткізгішті жоғары температуралық процестерде пластиналарды өңдеу, тіреу және термиялық өңдеу арнайы тірек құрамдас бөлікке - вафельді қайыққа сүйенеді. Процесс температурасы көтеріліп, тазалық пен бөлшектерді бақылау талаптары артқан сайын, дәстүрлі кварц пластинкалы қайықтар бірте-бірте қысқа қызмет ету мерзімі, жоғары деформация жылдамдығы және нашар коррозияға төзімділік сияқты мәселелерді анықтайды.

Кремний карбиді субстраттарын өнеркәсіптік ауқымда өндіру үшін бір реттік өсудің сәттілігі түпкілікті мақсат емес. Нақты қиындық әртүрлі партияларда, құралдарда және уақыт кезеңдерінде өсірілген кристалдардың жоғары тұрақтылық пен сапада қайталану деңгейін сақтауды қамтамасыз етуде жатыр. Бұл контекстте тантал карбидінің (TaC) жабынының рөлі негізгі қорғаныстан асып түседі — ол процесс терезесін тұрақтандырудың және өнімнің шығымдылығын сақтаудың негізгі факторына айналады.

​Кремний карбиді (SiC) PVT өсуі қатты термиялық циклді қамтиды (бөлме температурасы 2200 ℃ жоғары). Термиялық кеңею коэффициенттерінің (CTE) сәйкес келмеуіне байланысты жабын мен графит астары арасында пайда болатын орасан зор термиялық кернеу жабынның қызмет ету мерзімі мен қолдану сенімділігін анықтайтын негізгі мәселе болып табылады.

​Кремний карбиді (SiC) PVT кристалының өсу процесінде жылу өрісінің тұрақтылығы мен біркелкілігі кристалдың өсу жылдамдығын, ақау тығыздығын және материалдың біркелкілігін тікелей анықтайды. Жүйе шекарасы ретінде жылу өрісінің құрамдас бөліктері беттік термофизикалық қасиеттерді көрсетеді, олардың шамалы ауытқулары жоғары температура жағдайында күрт күшейеді, сайып келгенде өсу интерфейсінде тұрақсыздыққа әкеледі.