Өнеркәсіп жаңалықтары

MEMS (микро-электромеханикалық жүйелер) жылдам эволюциясы дәуірінде дұрыс пьезоэлектрлік материалды таңдау құрылғы өнімділігі үшін жасау немесе бұзу шешімі болып табылады. PZT (Қорғасын Цирконат Титанаты) жұқа қабықшалы пластиналар AlN (алюминий нитриді) сияқты балама нұсқаларға қарағанда алдыңғы қатарлы датчиктер мен жетектер үшін жоғары электромеханикалық муфтаны ұсынатын таңдаулы таңдау ретінде пайда болды.

Жартылай өткізгіштер өндірісі жетілдірілген технологиялық түйіндерге, жоғары интеграцияға және күрделі архитектураға қарай дамитындықтан, пластинаның шығымдылығының шешуші факторлары нәзік ығысуда. Жартылайөткізгіш пластинаны теңшеу үшін кірістілік бұдан былай тек литография немесе оюлау сияқты негізгі процестерде ғана емес; жоғары тазалықтағы сенсорлар процестің тұрақтылығы мен дәйектілігіне әсер ететін негізгі айнымалыға айналуда.

Кең диапазонды (WBG) жартылай өткізгіштер әлемінде, егер жетілдірілген өндіріс процесі «жан» болса, графит қабылдағыш «арқа» болып табылады, ал оның беткі қабаты маңызды «тері» болып табылады.

Күшті электроника әлемінде кремний карбиді (SiC) және галий нитриді (GaN) электрлі көліктерден (ЭВ) жаңартылатын энергия инфрақұрылымына дейін революцияға мұрындық болуда. Дегенмен, бұл материалдардың аңызға айналған қаттылығы мен химиялық инерттілігі өндірісте үлкен кедергі тудырады.

Жартылай өткізгішті өндіруде Химиялық механикалық планаризация (CMP) процесі пластинаның бетінің планаризациясына қол жеткізудің негізгі кезеңі болып табылады, келесі литография қадамдарының сәтті немесе сәтсіздігін тікелей анықтайды. CMP-дегі маңызды шығын материалы ретінде жылтырату суспензиясының өнімділігі Жою жылдамдығын (RR) бақылаудың, ақауларды азайтудың және жалпы өнімділікті арттырудың соңғы факторы болып табылады.

Дәлдік пен экстремалды орта қатар өмір сүретін жартылай өткізгіштерді өндірудің жоғары үлесі бар әлемде кремний карбиді (SiC) фокус сақиналары өте қажет. Ерекше термиялық төзімділігімен, химиялық тұрақтылығымен және механикалық беріктігімен белгілі, бұл компоненттер плазманы өңдеудің озық процестері үшін өте маңызды. Олардың жоғары өнімділігінің құпиясы Solid CVD (химиялық буларды тұндыру) технологиясында жатыр. Бүгін біз сізді графит шикізатынан бастап фабтың жоғары дәлдіктегі «көрінбейтін қаһарманына» дейінгі күрделі өндірістік саяхатты зерттеу үшін сахнаның артына апарамыз.