Өнеркәсіп жаңалықтары

Үйде және ас үй құрылғыларында үнемі дамып келе жатқан әлемде бір өнім өзінің инновациялары мен практикалық қолданылуына - кварц термос-шелегіне айтарлықтай назар аударды

Кварц өнімдері жартылай өткізгішті өндіретін процесте олардың жоғары тазалығына, температураға төзімділігіне және күшті химиялық тұрақтылықтан кеңінен қолданылады.

Кремний карбиді (SIC) кристалды өсу пеші келесі буындық жартылай өткізгіш құрылғыларға арналған жоғары сапалы ӘЖ-нің вафли өндірісінде маңызды рөл атқарады. Алайда, жоғары сапалы SIC кристалдарын өсіру процесі айтарлықтай қиындықтарды ұсынады. Термиялық градиенттерді басқарудан бастап кристалды ақауларды азайту, біркелкі өсуді қамтамасыз ету және өндіріс шығындарын бақылау және әр қадам, әр қадам озық инженерлік шешімдерді қажет етеді. Бұл мақалада SIC Crystal өсу пешінің техникалық мәселелерін бірнеше перспективалардан талдайды.

Smart Cut - ультра жұқа және жоғары біртекті және жоғары біркелкі 3С-секті (кубикалық кремний карбиді) ультрадыбыспен және вафлиге негізделген жартылай өткізгішті шығару процесі. Ол ультра жұқа кристалды материалдарды бір субстраттан екінші субстраттан екіншісіне жеткізе алады, осылайша бастапқы физикалық шектеулерді бұзады және бүкіл субстрат саласын өзгертуі мүмкін.

Жоғары сапалы және жоғары өнімді кремний карбидінің субстраттарын дайындауда, ядро ​​өндіріс температурасын жақсы жылулық дала материалдарымен нақты бақылауды қажет етеді. Қазіргі уақытта жылтылдық өрістері негізінен жоғары сапалы топтар - бұл жоғары тазалық графитті құрылымдық компоненттер, олардың функциялары балқытылған көміртегі ұнтағы мен кремний ұнтағын жылу, сондай-ақ жылуды сақтау.

Үшінші буын жартылай өткізгіштерін көргенде, сіз бірінші және екінші буынның не екенін білесіз. Мұндағы «ұрпақ» жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын материалдар негізінде жіктеледі.

Электростатикалық Чак (ESC), сонымен қатар электростатикалық Чак (ESC, e-Chuck) деп аталады, бұл электростатикалық адсорбция принципін қолданып, адсорбцияланған материалдарды ұстау қағидасын қолданады. Ол вакуумдық және плазмалық орталарға жарамды.

SIC вафли тасымалы, үшінші буын жартылай өткізгіштер тізбегіндегі негізгі шығын материалдары ретінде олардың техникалық сипаттамалары эпитаксиальды өсу мен құрылғыны өндірудің кірістілігіне тікелей әсер етеді. 5G базалық станциялары мен жаңа энергетикалық көліктер сияқты жоғары вольтты және жоғары температуралы құрылғыларға сұраныспен, мысалы, 5G базалық станциялары, ӘЖК вафли-вафлиді зерттеу және қолдану қазір даму мүмкіндіктеріне тап болды.

Алюминий керамикасы - керамикалық компоненттерді шығаратын «WORDHORSE». Олар керемет механикалық қасиеттер, ультра жоғары балқыту, ультра жоғары балқыту, коррозияға төзімділік, күшті химиялық тұрақтылық, жоғары төзімділік және жоғары электр оқшаулау. Олар көбінесе жылтыратқыштар, вакуумдық чактар, керамикалық қару және ұқсас бөліктер үшін қолданылады.

Жартылай өткізгіш материалдарды үш ұрпаққа хронологиялық тәртіпте жіктеуге болады. Бірінші буын германий және кремний сияқты жалпы элементарлық материалдардан тұрады, олар ыңғайлы коммутациямен сипатталады және әдетте интегралды схемаларда қолданылады. Екінші буындық қосалқы жартылай өткізгіштер галлий арсениді және индий фосфиді, негізінен люминесцентті және байланыс материалдарында қолданылады.

Кварц құрылғылары күншаяу өндірісінде маңызды рөл атқарады, бұл жылудың ерекше, химиялық тазалық және жоғары температуралы процестерде қажетті құрылымдық тұрақтылықты ұсынады. Кварц диффузиялық түтіктерінен және крестуздардан кварциялық қайықтар мен пештің құрамдас бөліктеріне, бұл жоғары тазалық материалдары диффузияның, CVD-дің оңтайлы тиімділігі мен дымқыл лақтырудың оңтайлы тиімділігіне қол жеткізу үшін қажет.

TAC жабыны көмірқышқыл газының капсуласын толығымен толығымен жояды

Sic Ceram Ceram - бұл кремний (Si) және көміртегі (C) элементтерінің реакциясы арқылы шығарылған керамикалық материал, бұл өте жоғары қаттылық, жылу кедергісі және химиялық тұрақтылық

Жартылай өткізгіштердің дүниетанымы әлемдегідей, дәлдіктер, дәлдік және тұрақтылық - бұл электростатикалық Чак (ESC). Бірақ бұл қалай жұмыс істейді? Неліктен бұл дәстүрлі механикалық қысылудан жоғары? Наноскале нақтылығы мен өткізу қабілеттілігінің тиімділігі қандай рөл атқарады? Оқуға қош келдіңіз.

Электростатикалық Чактың декрчкстегі принципі оның жұмыс процесінің негізгі бөлігі болып табылады, ол электростатикалық күштерді жою және вафлиді босату тетіктерін қамтиды.

Шыны көміртегі - бұл әйнек пен керамиканың қасиеттерін біріктіретін графикалық емес көміртек. Оның жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділік, жақсы электр өткізгіштік және т.б. сияқты қасиеттері бар