Өнеркәсіп жаңалықтары

CVD SiC жабынының жартылай өткізгіш процестерде, оның ішінде оның құрылымын, өнімділік сипаттамаларын және типтік қолданбаларын, сонымен қатар жоғары температуралық қолданбалардағы өзектілігін зерттеңіз.

CVD Solid SiC инвестициялауға тұрарлық па? Монолитті SiC ROI мен дәстүрлі графит жабындарын салыстырыңыз. Жоғары плазмалық төзімділік пен ұзартылған MTBC 12 дюймдік HVM желілері үшін пластинаның қалдықтарының төмен жылдамдығына және жабдықтың жоғары жұмыс уақытына қалай ауысатынын біліңіз.

Жоғары таза материалдар жартылай өткізгіштерді өндіру үшін өте қажет. Бұл процестерге қатты қызу және коррозиялық химиялық заттар кіреді. CVD-SiC (Химиялық бумен тұндыру кремний карбиді) қажетті тұрақтылық пен беріктікті қамтамасыз етеді. Қазір ол жоғары тазалығы мен тығыздығына байланысты жетілдірілген жабдық бөлшектері үшін негізгі таңдау болып табылады.