Өнеркәсіп жаңалықтары

Жартылай өткізгішті өндіруде Химиялық механикалық планаризация (CMP) процесі пластинаның бетінің планаризациясына қол жеткізудің негізгі кезеңі болып табылады, келесі литография қадамдарының сәтті немесе сәтсіздігін тікелей анықтайды. CMP-дегі маңызды шығын материалы ретінде жылтырату суспензиясының өнімділігі Жою жылдамдығын (RR) бақылаудың, ақауларды азайтудың және жалпы өнімділікті арттырудың соңғы факторы болып табылады.

Дәлдік пен экстремалды орта қатар өмір сүретін жартылай өткізгіштерді өндірудің жоғары үлесі бар әлемде кремний карбиді (SiC) фокус сақиналары өте қажет. Ерекше термиялық төзімділігімен, химиялық тұрақтылығымен және механикалық беріктігімен белгілі, бұл компоненттер плазманы өңдеудің озық процестері үшін өте маңызды. Олардың жоғары өнімділігінің құпиясы Solid CVD (химиялық буларды тұндыру) технологиясында жатыр. Бүгін біз сізді графит шикізатынан бастап фабтың жоғары дәлдіктегі «көрінбейтін қаһарманына» дейінгі күрделі өндірістік саяхатты зерттеу үшін сахнаның артына апарамыз.

Жоғары таза кварц материалдары жартылай өткізгіш өнеркәсібінде маңызды рөл атқарады. Олардың жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі, термиялық тұрақтылығы және жарық өткізгіштік қасиеттері оларды маңызды шығын материалдарына айналдырады. Кварц өнімдері өндіріс процесінің тұрақтылығы мен тазалығын қамтамасыз ете отырып, вафли өндірісінің жоғары температуралы және төмен температуралы аймақтарында компоненттер үшін қолданылады.