Өнеркәсіп жаңалықтары

Бірыңғай кристалдарды өсірудің негізгі әдістері: физикалық бу көлігі (PVT), жоғары температуралы химиялық будың тұндыруы (HTCVD) және жоғары температура ерітіндісінің өсуі (HTSG).

Күн фотоэлектрлік өнеркәсібінің, диффузиялық пештер мен LPCVD пештерінің дамуымен күн батареяларының өндірісіне арналған негізгі жабдық, бұл күн батареяларының тиімді жұмысына тікелей әсер етеді. Өнімнің жан-жақты өнімділігі мен пайдалану құны негізінде кремний карбидті керамикалық материалдар кварц материалдарынан гөрі күн жасушалары саласында артықшылықтарға ие. Карбидтік карбидтік карбидтік материалдарды фотоэлектрлік салада қолдану фотоэлектрлік өнеркәсіпке фотоэлектрлік кәсіпорындарға айтарлықтай көмектеседі, сонымен қатар материалдық материалдық шығындарды азайтуға, өнімнің сапасы мен бәсекеге қабілеттілігін арттырады. Фотоэлектрлік өрістегі кремний карбидті керамикалық материалдардың болашақ тенденциясы негізінен жоғары тазалыққа, берік жүктеме сыйымдылығына, тиеу қабілетіне және төмен құны аз.

Мақалада SIC TRIC-тің квдометрлік өсуі үшін CVD TAC жабынды процесі, мысалы, материалдық және тазалық, технологиялық параметрлерді оңтайландыру, жабуға арналған жабдықтарды және технологиялық тұрақтылық, қоршаған ортаны қорғау және шығындарды бақылау сондай-ақ тиісті салалық шешімдер.

SiC монокристалының өсуін қолдану тұрғысынан бұл мақала TaC жабыны мен SIC жабынының негізгі физикалық параметрлерін салыстырады және жоғары температураға төзімділік, күшті химиялық тұрақтылық, төмендетілген қоспалар және төмен шығындар.

FAB зауытында өлшеу жабдықтарының көптеген түрлері бар. Жалпы жабдыққа литографиялық процесті өлшеу жабдықтары, процестің өлшеу жабдықтарын, жіңішке пленкамен тұндыру технологиялық жабдықтар, допинг процесін өлшеу жабдықтары, CMP процесін өлшеу жабдықтары, вафлиді өлшеу жабдықтары, вафлиді өлшеу жабдықтары және басқа да өлшеу жабдықтары.

Тантал карбиді (TaC) жабыны жоғары температураға төзімділікті, коррозияға төзімділікті, механикалық қасиеттерді және жылуды басқару мүмкіндіктерін жақсарту арқылы графит бөліктерінің қызмет ету мерзімін едәуір ұзарта алады. Оның жоғары тазалық сипаттамалары қоспаның ластануын азайтады, кристалдардың өсу сапасын жақсартады және энергия тиімділігін арттырады. Ол жартылай өткізгіштерді өндіруге және жоғары температурада, жоғары коррозиялық ортада кристалдарды өсіруге арналған.