Pecvd үшін графит қайық

Қолдану: Ветексемикон Пеквд үшін графиттік қайық - бұл плазмалық жақсартылған химиялық будың корпусы бар негізгі компонент. Ол жоғары сапалы кремнийді нитрид, кремний оксидін және кремний вафлиіндегі басқа жұқа қабықшаларды, құрама жартылай өткізгіштер мен дисплей панелінің субстраттарына сақтауға арналған. Оның өнімділігі фильмнің біркелкілігін, тұрақтылықты және өндіріс құнын тікелей анықтайды.

Ұсынылатын қызметтер: Клиенттерді қолдану сценарийін талдау, сәйкес материалдар, техникалық мәселелерді шешу.

Компанияның профилі: Ветексемиконның 2 зертханасы, 20 жылдық материалдық тәжірибесі бар сарапшылар тобы, ғылыми-зерттеу және өндірістік, тестілеу және тексеру мүмкіндіктері бар.

Жалпы өнім туралы ақпарат

Өнімдегі бизнес шарттары

Негізгі бағдарлама өрістері

Ветексемиконның графиттік қайықтары Pecvd негізгі артықшылықтары

1. Жоғары сапалы субстраттар, көзден ластануды бақылау

Біз жоғары тазалық графитті қолдануды талап етеміз. Бұл қатаң материалдық талаптар тасымалдаушының ластануынан туындаған вафлидің деградациясынан аулақ бола алады, бұл жоғары сапалы кремний нитридін немесе кремний оксиді қабықтарын сақтауға ең негізгі кепілдік береді.

2. Процесс біркелкілігін қамтамасыз ететін нақты жылу өрісі және құрылымдық дизайн

Сұйықтықты модельдеу және процестерді өлшеу туралы мәліметтер арқылы біз қайықтың ұясының бұрышын, гидтің тереңдігін және газ ағынын оңтайландырдық. Бұл мұқият құрылымдық қарау вафли арасында реактивті газдарды біркелкі таратуға мүмкіндік береді. Нақты өлшеулер көрсеткендей, толық жүктеме кезінде вафлидің қалыңдығының біркелкілік ауытқуы бірдей партиядағы, өнімнің өнімділігін едәуір жақсартатын, ± 1,5% шегінде тұрақты түрде бақылауға болады.

3. Технологиялық коррозияға бағытталған арнайы жабын шешімдері

Әр түрлі технологиялық газ орталықтарымен танысу үшін біз әр түрлі клиенттердің екіге дейін екі әдісін ұсынамыз: пиролитикалық көміртегі мен кремний карбиді. Егер сіз негізінен кремний нитридін салсаңыз және сутегі тазалағышты қолдансаңыз, тығыз пиролитикалық көміртекті көміртекті көміртегі қабаты сутегі плазмалық эрозияға жақсы қарсылық бере алады. Егер сіздің процестеріңізде бар тазалағыш газдар бар болса, онда сұйылтылған тазартқыш газдар, содан кейін кремний карбид жабыны жақсы таңдау болып табылады. Ол графиттік қайықтың қызмет ету мерзімін жоғары коррозиялық ортада екі еседен үш еседен артық тарата алады.

4. Температураға бейімделетін керемет термиялық соққы тұрақтылығы

Біздің бірегей графиттік формула мен ішкі арматуралық қабырғаларымыздың арқасында біздің графиттік қайықтар біздің графиттік қайықтарымызда бірнеше рет жылдам салқындату және PECVD процесінің қыздыру күйзелістеріне төтеп бере алады. Зертханалық зерттеулерде, бөлме температурасынан 800 ° C-тан 800 ° C-ға дейінгі жылдам термиялық зерттеулерде, кеменің икемді күш-қуатының сақталуы 90% -дан асты, жылу күйзелісінен және өндірістің үздіксіздігі мен қауіпсіздігін қамтамасыз етуден тиімді.

5. Экологиялық тізбекті тексеруді растау

Ветексемиконның графиттік қайықтары «Экологиялық тізбекті» тексеру үшін графит қайық, өндіріске шикізат жабады, халықаралық стандартты сертификаттаудан өтті, сонымен қатар жартылай өткізгіштер мен жаңа энергетикалық алқаптардағы сенімділігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін бірқатар патенттелген технологиялар бар.

Техникалық сипаттамалар, ақ қағаздар немесе сынама тексерулер үшін ветексемиконның сіздің процессіңіздің тиімділігін арттыру үшін техникалық қолдау тобына хабарласыңыз.