VEECO MOCVD үшін вафельді тасымалдаушы (LED эпитаксисі)

Өнім ерекшеліктері:

1. Тығыз CVD SiC қабаты бар жоғары таза графит негізі
2. Тұрақты жарықдиодты эпитаксия үшін жақсы жылу біркелкілігі
3. Процессте қолданылатын NH₃, HCl және басқа коррозиялық газдарға төзімді
4. Бөлшектердің аз төгілуі және ұзақ қызмет ету мерзімі
5. Қалта конструкцияларын әртүрлі вафли өлшемдері мен реактор платформалары үшін теңшеуге болады
6. Ұзақ мерзімді, жоғары температурада MOCVD жұмысы үшін жақсы жұмыс істейді

Қолданбалар:
Бұл пластинкалы тасымалдаушылар жарықдиодты және құрама жартылай өткізгіш эпитаксияда кеңінен қолданылады, соның ішінде:

• GaN LED эпитаксисі
• Көк-жасыл жарықдиодты эпитаксия
• Терең ультракүлгін жарықдиодты өсу
• Si негізіндегі GaN эпитаксисі
• Жалпы құрама жартылай өткізгіштерді өндіру

Жеке тасымалдаушы шешімдері бірнеше LED MOCVD платформаларына сәйкес келеді, мысалы:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixron G4/G5
• A7/Unimax

Техникалық артықшылықтар:

1. CVD SiC жабыныжақсы тығыздық пен тазалық беретін технология
2. ±10 мкм шегінде жабын қалыңдығының ауытқуы – термиялық өнімділіктің тұрақты болуына көмектеседі
3. Вафлиді жақсы орналастыру және айналу тұрақтылығы үшін 3 мкм дәлдікке дейін CNC өңдеу
4. Жабын жақсы жабысады және қайталанатын жоғары температура MOCVD циклдарынан кейін крекингке қарсы тұрады
5. NH₃, HCl және басқа да ауыр эпитаксистік орталарды қиындықсыз өңдейді
6. Төмен бөлшектердің пайда болуы және жоғары өнімділікті қолдау үшін таза бетЖарықдиодты эпитаксия
7. Әр түрлі реактор платформалары мен вафли макеттері үшін үлкен немесе реттелетін өлшемдерді қаптай алады
8. Ұзақ тәжірибетапсырыс бойынша графит және SiC қапталған бөлшектерЖарықдиодты және құрама жартылай өткізгіш эпитаксияға арналған

ЖИІ ҚОЙЫЛАТЫН СҰРАҚТАР:
1. Вафельді тасымалдаушы не істейдіMOCVDЖарықдиодты эпитаксия?

A: Ол MOCVD реакторының ішіндегі пластиналарды ұстап тұрады және айналдырады және эпитаксиалды өсу кезінде температураны тұрақты ұстауға көмектеседі.

2. MOCVD үшін SiC жабыны бар графит пластинкаларын не үшін пайдалану керек?

A: TheCVD SiC жабыныжақсы коррозияға төзімділік, термиялық тұрақтылық және төзімділік береді. Ол сондай-ақ жоғары температурадағы эпитаксияда бөлшектердің ластануын азайтуға көмектеседі.

3. Vetek Semiconductor тапсырыс бойынша вафельді тасымалдаушылар жасайды ма?
A: Иә. Біз реактор платформасына, пластинаның өлшеміне, қалта орналасуына және басқа да технологиялық қажеттіліктерге негізделген пайдаланушы тасымалдаушыларын жасай аламыз.