Тік пештің SIC қапталған сақинасы

Тік пештерде SIC жабылған сақиналарды қолдану негізінен температуралы термиялық өңдеу процесінде қолданылатын жалпы шешім болып табыладыжартылай өткізгіш пластиналар. Тік пештің SiC қапталған сақиналары - бұл процестің тұрақтылығы мен сенімділігін қамтамасыз ету үшін пластиналарды қолдау немесе қорғау үшін қолданылатын жоғары өнімділік, жоғары температураға төзімді компоненттер.

Тік пештің функциялары SIC жабынды сақинасы

● Функциялар

Көмекші рөл. Жоғары температуралы пештерде олардың тұрақтылығын және дәл орналасуын қамтамасыз ету үшін пластиналарды қолдау үшін қолданылады.

●  Коррозиядан қорғау

Коррозиялық газдар немесе химиялық заттардың негізгі материалды корродтауға жол бермеңіз.

●  Ластануды азайтыңыз

Жоғары тазалыққа арналған кәрмені процесті тазалықты қамтамасыз ету үшін бөлшектердің төгілуін және ластануын тиімді болдырмауға болады.

●  Жоғары температураға төзімділік

Жоғары температуралы ортадағы керемет механикалық қасиеттер мен өлшемді тұрақтылықты сақтау (әдетте 1000 ° C-тан асады).

Тік пештің ерекшеліктері SiC қапталған сақина

●  Жоғары қаттылық пен күш

SIC материалдарында керемет механикалық беріктік бар және пештегі жоғары температуралы стресстен төтеп бере алады.

●  Жақсы термиялық тұрақтылық

SiC жоғары жылу өткізгіштігі және төмен жылу кеңею коэффициенті жылу кернеуін азайтуға көмектеседі.

●  Күшті химиялық тұрақтылық

SIC жабындары тотықтырғыш, қышқыл немесе сілтілік ортада коррозияға қарсы тұра алады.

●  Бөлшектердің төмен ластануы

Тегіс бет бөлшектердің пайда болу мүмкіндігін азайтады, бұл әсіресе жартылай өткізгіш өндірісінің ультра таза ортасы үшін қолайлы.

Кремний пластинкаларын қолдау және термиялық өңдеу кезінде бөлшектердің ластануын болдырмау үшін тік пештерде диффузия, тотығу, күйдіру және басқа процестер үшін қолданылады.

Өндірістік материалдар мен процестер

● Субстрат: жоғары сапалы SGL графиттен жасалған, сапасына кепілдік беріледі.

●  Қаптау: кремний карбиді жабыны графит бетіне химиялық бу тұндыру (CVD) арқылы қолданылады.

●  Жабынның қалыңдығы әдетте 50~500мкм аралығында болады, ол пайдалану талаптарына сәйкес реттеледі.

● Химиялық будың тұндыруы SIC жабыны жоғары тазалық пен тығыздыққа ие және беріктікке ие.

Тиісті таңдаңызSiC жабыныпештегі кремний пластинкасының диаметріне және тасымалдаушының сипаттамаларына сәйкес сақина. Біз оны сіз үшін теңшей аламыз. Тазалығы жоғары, тығыз жабын ұзаққа созылады және ластануы аз болады. Ластануды немесе жабынның ескіруіне байланысты қолдаудың бұзылуын болдырмау үшін пайдалану жиілігіне және технологиялық талаптарға сәйкес жүйелі түрде ауыстырыңыз.

Қытайдағы кәсіпқой тік пештің SiC жабыны бар сақина жеткізушісі және өндірушісі ретінде VeTek Semiconductor ұзақ уақыт бойы жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тік пештің озық технологиясы мен өнім шешімдерін ұсынуға міндеттелді. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды шын жүректен күтеміз.

CVD SIC Film Crystal құрылымы

CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері

Ол жартылай өткізгішSiC жабыны бар тік пештер сақина цехтары: