Өнімдер

Тантал карбиді жабыны

VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксия процесі кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.


Негізгі өнімдер болып табыладыTaC қапталған бағыттаушы сақина, CVD TaC қапталған үш жапырақты бағыттаушы сақина, Тантал карбиді TaC қапталған жарты ай, CVD TaC жабыны планеталық SiC эпитаксиалды сезімтал, Тантал карбиді қаптама сақинасы, Тантал карбидімен қапталған кеуекті графит, TaC жабынының айналу сенсоры, Тантал карбиді сақинасы, TaC жабынының айналмалы тақтасы, TaC қапталған вафельді сенсор, TaC қапталған дефлектор сақинасы, CVD TaC жабыны, TaC қапталған патронт.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.


TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:


Excellent properties of TaC coating graphite


Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.


Негізгі мүмкіндіктер:

 ●Температураның тұрақтылығы

 ●Ультра жоғары тазалық

 ●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі

 ●Жылу қорына төзімділік

 ●Графитке күшті адгезия

 ●Конформды жабу

 Диаметрі 750 мм-ге дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)


Қолданбалар:

 ●Вафельді тасымалдаушы

 ● Индуктивті қыздыру қабылдағыш

 ● Резистивті қыздыру элементі

 ●Спутниктік диск

 ●Душ басы

 ●Бағыттаушы сақина

 ●LED Epi қабылдағыш

 ●Инъекцияға арналған саптама

 ●Маска сақинасы

 ● Жылу қалқаны


Микроскопиялық көлденең қимадағы тантал карбиді (TaC) жабыны:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы 14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия 0.3
Термиялық кеңею коэффициенті 6.3 10-6
Қаттылық (HK) 2000 HK
Қарсылық 1×10-5Ом*см
Термиялық тұрақтылық <2500℃
Графит өлшемі өзгереді -10~-20ум
Қаптау қалыңдығы ≥20um типтік мән (35um±10um)


TaC жабыны EDX деректері

EDX data of TaC coating


TaC жабынының кристалдық құрылымының деректері:

Элемент Атомдық пайыз
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Орташа
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Тантал көмірсутегі қапталған түтікті кристалды өсу үшін

Тантал көмірсутегі қапталған түтікті кристалды өсу үшін

Тантал көмірсутегі қапталған түтікті кристаллдың өсуіне арналған түтік негізінен SIC Crystal өсу процесінде қолданады. Ветек жартылай өткізгіш көптеген жылдар бойы кристалды өсу үшін тантал көмірсутегі түтігін жеткізіп, көптеген жылдар бойы TAC жабынында жұмыс істейді. Біздің өнімдеріміздің тазалығы жоғары және жоғары температураға төзімділігі бар. Біз Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды күтеміз. Бізді сұрауға еркін сезініңіз.
SiC эпитаксиалды реакторына арналған TaC қапталған сақина

SiC эпитаксиалды реакторына арналған TaC қапталған сақина

VeTek Semiconductor - Қытайдағы SiC эпитаксиалды реакторларына арналған TaC қапталған сақинасының жетекші өндірушісі және технологиялық инноваторы, ол SiC эпитаксиалды реакторлары үшін жоғары өнімді шешімдерді ұсынуға бағытталған. Бізде TaC жабу технологиясында көп жылдық тәжірибеміз бар. TaC қапталған сақина жоғары тазалық, жоғары тұрақтылық, тамаша коррозияға төзімділік және т.б. сипаттамаларына ие және эпитаксиалды реакторлардың қатал жұмыс ортасында ұзақ мерзімді тұрақты өнімділікті қамтамасыз ете алады. Біз сіздермен ұзақ мерзімді стратегиялық серіктестік орнатуды асыға күтеміз.
LPE үшін тантал карбидімен қапталған жарты ай бөлігі

LPE үшін тантал карбидімен қапталған жарты ай бөлігі

VeTek Semiconductor - Қытайдағы LPE үшін тантал карбидімен қапталған жарты ай бөлігінің жетекші жеткізушісі, көптеген жылдар бойы TaC жабу технологиясына назар аударады. LPE-ге арналған тантал карбидімен қапталған жарты ай бөлігі сұйық фазалық эпитаксистік процеске арналған және 2000 градус Цельсийден жоғары жоғары температураға төтеп бере алады. Тамаша материал өнімділігімен және технологиялық инновациялармен біздің өнімнің қызмет ету мерзімі саладағы жетекші деңгейде. VeTek Semiconductor сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді.
TAC жабдығы

TAC жабдығы

TAC қапталған бағытталған сақина жоғары сапалы графит пен TAC жабынынан жасалған. PVT әдісімен SIC кристалдарын дайындау кезінде VETEK жартылай өткізгіштерінің TAC жабдығы сақинасы, негізінен ауа ағынын басқаруға және басқаруға, бірыңғай кристалды өсу процесін оңтайландырады және жалғыз кристалды өнімділікті жақсартады. ТАС ТАК жабыны бар технологиямен біздің өнімдеріміз жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі және жақсы механикалық қасиеттері бар.
Тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискі

Тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискі

VeTek Semiconductor - Қытайдағы тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискінің жетекші өндірушісі және жеткізушісі, ол көптеген жылдар бойы TaC жабу технологиясына назар аударады. Біздің өнімдеріміз жартылай өткізгіш өндірушілермен кеңінен танылған жоғары тазалық пен тамаша жоғары температураға төзімділікке ие. VeTek жартылай өткізгіш тантал карбидімен қапталған планеталық айналу дискісі вафельді эпитаксистік индустрияның негізі болды. Біз сіздермен технологиялық прогресті және өндірісті оңтайландыруды бірлесіп ілгерілету үшін ұзақ мерзімді серіктестік орнатуды асыға күтеміз.
TaC қапталған графит пластинасы

TaC қапталған графит пластинасы

VeTek Semiconductor компаниясы тұтынушылар үшін TaC қапталған графит пластинасын мұқият жобалаған. Ол әртүрлі вафельді эпитаксиалды пластинаны өңдеуге жарамды жоғары таза графит пен TaC жабынынан тұрады. Біз көптеген жылдар бойы SiC және TaC жабындарына мамандандық. SiC жабынымен салыстырғанда, біздің TaC қапталған графит пластинасы жоғары температураға төзімді және тозуға төзімді. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Кәсіби Тантал карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept