SIC жабыны коллекторлар орталығы

Ветек жартылай өткізгіш SIC жабыны коллекторлық орталығы жартылайонкордың ЭПИ процесін өндіруде маңызды рөл атқарады. Бұл газ тарату және эпитаксиальды реакция камерасында бақылау үшін қолданылатын негізгі компоненттердің бірі, бізді сұрау үшінSic жабыныжінеTAC жабыныБіздің зауытта.

СИК жабын коллекторлық орталығының рөлі:

● Газ тарату: SIC жабын коллекторлық орталығы эпитаксиальды реакция камерасына әртүрлі газдарды енгізу үшін қолданылады. Онда әртүрлі газдарды эпитаксиальды өсудің белгілі бір қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін әр түрлі газдарды тарататын бірнеше кіретін және бөлшектер бар.

● Газды бақылау: SIC жабыны коллекторлар орталығы клапандар мен ағындарды бақылау құрылғылары арқылы әр газды нақты бақылауға қол жеткізеді. Газды бақылау эпитаксиальды өсу процесінің сәттілігі үшін, бұл газдың қажетті газ концентрациясы мен ағынының, пленканың сапасы мен дәйектілігін қамтамасыз ету үшін қажет.

● біркелкілік: Орталық газ жинайтын сақинаның дизайны мен орналасуы газдың біркелкі таралуына қол жеткізуге көмектеседі. Газ ағындары мен таратудың ақылға қонымды жолы арқылы газ фильмнің біркелкі өсуіне қол жеткізу үшін Газ эпитаксиальды реакция камерасында біркелкі араласады.

Эпитаксиалды өнімдер өндірісінде SIC жабын коллекторлар орталығы фильмнің сапасы, қалыңдығы және біркелкілігінде басты рөл атқарады. Газ тарату және бақылау арқылы SIC жабыны коллекторлар орталығы тұрақтылық пен дәйектілікті қамтамасыз ете аладыЭпитаксиалды өсу процесі, сапалы эпитаксиалды қабықшаларды алу үшін.

Графитті коллекторлар орталығымен салыстырғанда, SIC жабылған коллекторлық орталық жылу өткізгіштік, жетілдірілген химиялық инерстер және жоғары коррозияға қарсы тұрақтылықты жақсартады. Силикон карбидейтін жабын графит материалының жылу басқару қабілетін айтарлықтай жақсартады, бұл температуралық біркелкілікке және эпитаксиальды процестердің дәйекті түрде өсуіне әкеледі. Сонымен қатар, жабын графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзартатын химиялық коррозияға қарсы болатын қорғаныс қабатын ұсынады. Жалпы,Кремний карбиди-қапталғанГрафит материалы жоғары жылу өткізгіштік, химиялық инерстер мен коррозияға төзімділікті ұсынады, жетілдірілген тұрақтылықты және эпитаксиальды процестердегі жоғары сапалы кино өсіруді қамтамасыз етеді.

CVD SIC Film Crystal құрылымы:

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері

Ол жартылай өткізгішSIC жабыны коллекторлар орталығыӨндіріс дүкені