Жартылай өткізгішті термиялық бүрку технологиясы

Жартылай өткізгіш жылу бүрку технологиясы - бұл балқытылған немесе жартылай балқытылған күйдегі материалдарды жабын қалыптастыру үшін субстралды немесе жартылай балқытылған күйдегі материалдарды субстрат бетіне шашырататын жетілдірілген процесс. Бұл технология жартылай өткізгіш өндірісі саласында кеңінен қолданылады, негізінен, негізінен, субстраттың бетіндегі белгілі бір функциялары бар, мысалы, өткізгіштік, оқшаулау, коррозияға төзімділік және тотығу кедергісі. Жылу бүріккіш технологиясының негізгі артықшылықтары жоғары тиімділікті, бақыланатын жабынның қалыңдығына және жақсы жабынға адгезияны қамтиды, оны жартылай өткізгішті өндіріс процесінде, бұл өте маңызды және сенімділікті қажет етеді.

Жартылай өткізгіштерде жылу бүрку технологиясын қолдану

Плазмалық сәулелік ою (құрғақ ою)

Әдетте, плазма және электрондар және химиялық белсенді бейтарап атомдар мен молекулалар мен молекулалар мен молекулалар мен молекулалар мен еркін радикалдар мен еркін радикалдар бар плазмалық разрядты жасау үшін жарқыл шығаруды қолдануды білдіреді. Өнімдер және алынып тасталады және олар үшін үлгіні ауыстыру технологиясын аяқтайды. Бұл флотолықтағы ұсақ үлгілерді фотолитография шаблондарынан ультра кең ауқымды интегралды схемалар өндірісіндегі вафлиге беруді жүзеге асыру үшін алмастырылмайтын процесс.

Cl және F сияқты белсенді бос радикалдардың көп саны түзіледі. Олар жартылай өткізгішті құрылғыларды өңдегенде, олар жабдықтың басқа бөліктерінің, соның ішінде алюминий қорытпалары мен керамикалық құрылымдық бөлшектердің ішкі беттерін коррозияға ұшыратады. Бұл күшті эрозия бөлшектердің көп мөлшерін тудырады, бұл өндірістік жабдыққа жиі техникалық қызмет көрсетуді талап етіп қана қоймайды, сонымен қатар штамптау процесі камерасының істен шығуына және ауыр жағдайларда құрылғының зақымдалуына әкеледі.

Y2O3 - бұл өте тұрақты химиялық және жылу қасиеттері бар материал. Оның балқу нүктесі 2400-ден жоғары. Ол қатты коррозиялық ортада тұрақты бола алады. Оның плазмалық бомбалауға төзімділігі компоненттердің қызмет ету мерзімін едәуір кеңейтіп, кейіннен бөлшектерді азайтады.

Негізгі шешім - тазарту камерасын және басқа негізгі компоненттерді қорғау үшін жоғары таза Y2O3 жабынын бүрку.