Өнімдер
CMP жылтыратқыш шламы
  • CMP жылтыратқыш шламыCMP жылтыратқыш шламы

CMP жылтыратқыш шламы

CMP жылтыратқыш шламы (химиялық механикалық жылтыратқыш сырғанау) - бұл жартылай өткізгіштер өндірісі мен дәл материалдарды өңдеуде қолданылатын жоғары өнімді материал. Оның негізгі функциясы - бұл химиялық коррозия мен механикалық тегістеу және механикалық тегістеу әсерімен материалдық бетті жылтырату және материалдық бетті жылтырату және нано деңгейіндегі жер бетіндегі сапа талаптарын қанағаттандыру. Сіздің одан әрі кеңесіңізді күтеміз.

Ветексемиконның CMP жылтыратқышы негізінен жартылай өткізгіш материалдарды планаризациялау үшін CMP химиялық механикалық жылтыратқыштарында жылтыратқыш абразивті ретінде қолданылады. Оның келесі артықшылықтары бар:

Бөлшектердің диаметрі мен бөлшектер қауымдастығы еркін бақылауға алынды;
Бөлшектер монодизделенген және бөлшектердің мөлшерін бөлу біркелкі болып табылады;
Дисперсиялық жүйесі тұрақты;
Жаппай өндіріс масштабы үлкен және партиялардың арасындағы айырмашылық аз;
Конспект және шешу оңай емес.


Ультра жоғары тазалық сериялы өнімдерге арналған өнімділік көрсеткіштері

Параметр
Бірлік
Ультра жоғары тазалық сериялы өнімдерге арналған өнімділік көрсеткіштері

Епископ
Епископ2
Епископ3
Епископ4
Епископ-5
Епископ6
Епископ7
Орташа кремний бөлшектерінің мөлшері
л
35 ± 5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
Nanoparticle мөлшерін бөлу (PDI)
1 <0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
Шешім рН
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
Қатты мазмұн
% 20.5 ± 0,5
20.5 ± 0,5
20.5 ± 0,5
20.5 ± 0,5
20.5 ± 0,5
20.5 ± 0,5
20.5 ± 0,5
Көрінос
-
Ашық көк
Көк
Ақ
Ақ шулан
Ақ шулан
Ақ шулан
Ақ шулан
Бөлшектердің морфологиясы x
X: цертикасы; B- қисық; пішінді пішінді;
Тұрақтандыратын иондар
Органикалық / бейорганикалық аминдер
Шикізат құрамы y
Және: m-tmos; e-e-сіз; мен-тамос + Таза; Em-Ezos + TMO
Металл қоспасы
≤ 300ppb


CMP жылтырату шламы өнімдері Өтініштер:


● Интегралды схема жеңілдетілген материалдар CMP

● CMP интеграцияланған поли-си материалдары

● Жартылай өткізгіш жалғыз кристалды кристалды кристалды кристалды вафли материалдары CMP

● жартылай өткізгіш кремний карбид материалдары CMP

● CMP интеграцияланған Sti материалдары

● CMP интеграцияланған металл және металл тосқауыл қабаты


Hot Tags: CMP жылтыратқыш шламы
Сұрау жіберу
Байланыс ақпараты
  • Мекенжай

    Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

  • Электрондық пошта

    anny@veteksemi.com

Кремний карбиді жабыны, тантал карбиді жабыны, арнайы графит немесе бағалар тізімі туралы сұраулар үшін бізге электрондық поштаңызды қалдырыңыз, біз 24 сағат ішінде байланысамыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept